直拉单晶炉热

1、1,第二章单晶生长技术,2,由原子,分子或离子等微粒在空间按一定规律,周期性重复排列所构成的长程有序的固体物质,非晶态结构示意图,晶态结构示意图,2,0晶体知识回顾,1,晶体定义,3,2,晶体的特性,1,晶体的均匀性与各向异性,晶体的一些与。

2、1,直拉单晶硅工艺技术,主讲教师,裴迪石油化工学院,第二章直拉单晶炉,直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备,炉子分两部分组成,机械部分和电控系统,炉体为一带水套的不锈钢炉室,其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场,籽晶轴和坩埚轴分别从炉。

3、1,普通降温法生长单晶是溶液法制备单晶中最简单的一种,适合实验室制备单晶,最初用于生长二磷酸腺甙,ADP,1947年英国人托德合成,一种人工生物单晶体,磷酸二氢钾,KDP,磷酸二氘钾,DKDP,等的单晶体,KDP和DKDP晶体均具有光电子性。

4、单晶硅设备培训,1,硅料的提炼2,单晶硅片工艺流程3,单晶炉展示4,产品展示5,单晶炉种类6,单晶炉结构7,各个部件的作用8,单晶工艺流程9,晶升,埚升介绍10,加热部分,目录,硅的提炼,硅,Si,地球上含硅的东西多的很好像90,以上都是晶。

5、第二章单晶材料的制备,第一节单晶材料的发展与概述第二节固相固相平衡的晶体生长第三节从熔体中生长晶体,熔体法,第四节常温溶液法第五节高温溶液法第六节其它晶体生长方法,第一节单晶材料的发展与概述,单晶不仅是人们认识固体的基础,而且,对单晶的研究。

6、第4章硅,锗晶体中的杂质和缺陷,单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法,即在单晶生长过程中加入一定量的杂质,并控制它们在晶体中的分布来解决,本章结合硅,锗单晶生长的实际,介绍掺杂技术,然后介绍硅,锗单晶中缺陷的问题,理想半导体,1,原子严格周期。

7、王峰鲁东大学化学与材料科学学院,材料合成与制备,第一章单晶材料的制备第二章非晶态材料的制备第三章薄膜的制备第四章功能陶瓷的合成与制备第五章结构陶瓷的制备,目录,单晶,singlecrystal,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地,周期性。

8、单晶电子衍射花样的标定,单晶电子衍射花样的标定,PPT32页,单晶电子衍射花样的标定,PPT32页,目录,一,单晶电子衍射花样优缺点,特征及分类,二,单晶电子衍射花样主要标定方法,三,单晶电子衍射花样标定实例,单晶电子衍射花样的标定,PPT。

9、Preface,单晶,singlecrystal,晶体是经过结晶过程而形成的具有规则的几何外形的固体,晶体中原子或分子在空间按一定规律周期性重复的排列,所谓单晶,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地,周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方。

10、第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶，而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法，即在单晶生长过程。

11、第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶，而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法，即在单晶生长过程。

12、1,第六章 塑性变形,2,第六章 塑性变形,Smith W F. Foundations of Materials Science and Engineering. McGRAW.HILL.3E,利用材料的塑性，我们可以对材料进行压力加工如。

13、单晶硅设备工艺流程,目录,1. 硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3. 单晶炉展示4. 产品展示5. 单晶炉种类6. 单晶炉结构7. 各个部件的作用8. 单晶工艺流程9. 晶升， 埚升介绍10.加热部分,硅的提炼：,硅，Si,地球上含硅的东西多。

14、第二章 元素半导体材料,本章介绍以锗硅为代表的元素半导体材料。因目前国内外，各种类型的半导体器件，如晶体管集成电路，大规模集成电路等多采用硅单晶制成。所以这里重点讨论硅单晶材料。至于化合物半导体材料将在后面讲述。,单晶硅棒材料见硅材料图1图。

15、直拉生长工艺,直拉法又称Cz法,目前,98,的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85,是用直拉硅单晶制作的,直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制电子器件过程申不容易形变,由于它的生长是把硅熔融在石英坩埚中,而逐渐拉制。

16、第一章,电子工程系陈曦,硅材料及衬底制备,刘玉岭等编,微电子化学技术基础,化学工业出版社,2005李乃平主编,微电子器件工艺,华中理工大学出版社,1995关旭东编著,硅集成电路工艺基础,北京大学出版社,2008张厥宗编著,硅单晶抛光片的加工。

17、直拉单晶硅工艺技术,主讲教师,裴迪石油化工学院,1,热场,单晶硅是在热场中进行拉制的,热场的优劣对单晶硅质量有很大影响,单晶硅生长过程中,好的热场,能生产出高质量的单晶,不好的热场容易使单晶变成多晶,甚至根本引不出单晶,有的热场虽然能生长单。

18、,直拉单晶硅工艺技术,主讲教师：裴迪石油化工学院,1,直拉单晶炉的热系统,直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统，它包括：加热器保温罩保温盖托碗石墨坩埚电极等部件。它们是由耐高温的高纯石墨和碳毡材料加工。

19、第二节硅片制备中的热工设备,单晶炉和多晶硅铸锭炉,一,单晶炉,目前在所有安装的太阳电池中,超过90,以上的是晶体硅太阳电池,因此位于产业链前端的硅锭片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用,太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭,这两种硅锭。