真空的获得与测量技术

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12、第二章真空的获得与测量技术,2,1气体分子运动论的基本概念2,2气体的流动状态和真空的获得2,3各类真空泵简介2,4真空测量技术2,5几种典型真空系统的建立,JP450磁控溅射镀膜系统,等离子增强CVD和热丝CVD复合系统,一真空沉积系统。

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14、第二章真空技术基础,真空与薄膜材料与技术有何关系,几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行都涉及真空下气相的产生,输运和反应过程了解真空的基本概念和知识,掌握真空的获得和测量技术基础知识是了解薄膜材料制备技术的基础,真空。

15、莱宝真空泵z,cv采用流量计测量复合分子泵抽速装置研制本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置,本装置由测试台车,机柜,计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成,选用3个高精度流量计,满量程分别为1000sccm,100sccm。

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18、4高压,真空技术,近四十年来,真空技术在冶金领域中得到广泛应用,并形成了,真空冶金,这一专门的学术领域,冶金领域中常用低真空和高真空,在冶金中应用的真空技术有真空脱气,真空冶炼,真空浇注等,由于采用真空技术,提高了产品质量,从而提供了优质的。

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