微细加工-8-光刻胶

1、微细加工工艺方法,重案六组,微细加工技术是精密加工技术的一个分支,面向微细加工的电加工技术,激光微孔加工,水射流微细切割技术等等在发展国民经济,振兴我国国防事业等发面都有非常重要的意义,这一领域的发展对未来的国民经济,科学技术等将产生巨大影。

2、,第 7 章 光学光刻,光刻,曝光刻蚀,光源曝光方式,7.1 光刻概述,评价光刻工艺可用三项主要的标准：分辨率对准精度 和生产效率。,涂光刻胶正,选择曝光,光刻工艺流程,显影第 1 次图形转移,刻蚀第 2 次图形转移,光源,紫外光UV,深紫。

3、微机械及其微细加工技术,3,6微机械及其微细加工技术,微机械是80年代末出现的一门崭新的学科,被誉为21世纪最具代表性的技术之一,微机电系统与微电子学,信息学,材料科学和纳米技术的发展等密切相关,被公认为21世纪的重点发展学科,是国家重点发。

4、第5章微细加工,微机械与微细加工概述硅微细加工技术光刻微细电火花加工微细切削加工技术薄膜气相沉积技术纳米加工技术,5,1微机械与微细加工概述,1,微机械,1,微机械的基本特征体积小,重量轻,结构坚固,精度高,能耗小,响应快,灵敏度高,性能稳。

5、第七章先进制造技术,第七章先进制造技术,第一节快速成形制造技术第二节精密超精密加工技术第三节微机械及其微细加工技术,第三节微机械及其微细加工技术,一,简介微机械在美国常被称作微型机电系统,MicroelectromechanicalSyst。

6、第七章微细加工技术,第七章微细加工技术,微机械与微细加工概述,硅微细加工技术,光刻加工技术,技术和准技术,微细电火花加工,微细切削加工技术,薄膜气相沉积技术,微机械与微细加工概述,微机械微机械或微机电系统,是指具有很小外形轮廓尺度的微型机械。

7、第章机械制造技术的发展,本章要点,制造自动化技术的发展,精密加工与超精密加工,非传统加工方法,先进制造技术,机械制造技术基础,第章制造技术的发展,制造自动化技术的主要形式,制造自动化技术的主要形式,图,汽车后桥齿轮箱加工自动线,制造自动化技。

8、第七章 先进制造技术,第七章 先进制造技术,第一节 快速成形制造技术第二节 精密超精密加工技术第三节 微机械及其微细加工技术,第三节 微机械及其微细加工技术,一 简介 微机械在美国常被称作微型机电系统Microelectromechanic。

9、第章机械制造技术的发展,本章要点,制造自动化技术的发展,精密加工与超精密加工,非传统加工方法,先进制造技术,机械制造技术基础,第章制造技术的发展,制造自动化技术的主要形式,制造自动化技术的主要形式,图,汽车后桥齿轮箱加工自动线,制造自动化技。

10、微细加工技术,1,t课件,一,制造技术自身加工的极限,第1节微细加工技术的出现,现代制造技术的两大发展趋势,1,自动化,柔性化,集成化,智能化等方向发展,制造系统自动化,2,极小尺度,极大尺度和极端功能,微细加工,属于极小尺度的精密加工范畴。

11、第8章光刻胶,一,光刻胶的类型凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶,简称负胶,凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以降解反应为主的光刻胶称为正性光刻胶,简称正胶,8,1光刻胶的类型。

12、精密和超精密加工技术,朱 科 军 罗 斌,第八章 微细加工技术,第一节 微细加工技术的出现,制造技术是直接创造财富的基础，是国民经济得以发展和制造业本身赖以生存的主体技术。,微细加工技术是制造微小尺寸零件的加工技术。,现代制造技术的发展有两。

13、微细加工技术,的应用状况,微细加工技术概述,的发展趋势,的研究领域,的加工技术,是一项国际公认的战略高技术,年,研制的硅静电马达,转子直径微米,电容间隙微米,问世,引起轰动,专家预言,它的意义可与当年晶体管的发明相比,微细加工的概念,微细加。

14、先进制造技术导论,第三章 先进制造工艺技术,学习目标,理解各先进制造工艺方法的内涵熟悉各种先进制造工艺的关键技术了解各先进制造工艺技术的应用及发展趋势,重点：各先进制造工艺方法的内涵及关键技术,学习内容,超高速加工技术,1,超精密加工技术,。

15、现代机械加工新技术第五章精密超精密加工技术,精密加工与超精密加工,微细和超微细加工,纳米加工,一,精密与超精密加工技术,精密加工在一定的发展时期,加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺,超精密加工在一定的发展时期,加工精度和表面质量达到最。

16、先进制造技术导论,第三章先进制造工艺技术,学习目标,理解各先进制造工艺方法的内涵熟悉各种先进制造工艺的关键技术了解各先进制造工艺技术的应用及发展趋势,重点,各先进制造工艺方法的内涵及关键技术,学习内容,超高速加工技术,1,超精密加工技术,2。

17、第8章光刻胶,一,光刻胶的类型凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶,简称负胶,凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以降解反应为主的光刻胶称为正性光刻胶,简称正胶,8,1光刻胶的类型。

18、第8章光刻胶,一,光刻胶的类型凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶,简称负胶,凡是在能量束,光束,电子束,离子束等,的照射下,以降解反应为主的光刻胶称为正性光刻胶,简称正胶,8,1光刻胶的类型。

19、第十章其他加工方法,本章要点,工程塑料成形,快速成形技术,精密加工技术,特种加工技术,表面处理技术,第十章其他加工方法,机械制造基础,10,1工程塑料成形,10,1工程塑料成形,按塑料受热后的性质可将其分为热塑性塑料和热固性塑料,热塑性塑料。