微纳制造技术ppt课件

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20、,1 微纳制造,1.1 微纳制造的发展 1.2 微系统的关键技术 1.3 纳米加工技术 1.4 微纳制造例子,微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1微系统 是指集成了微电子和微机械或光学化学生物等方面微元件的系统。它以微米尺度理论为。