微机电系统-MEMS简介

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14、微型计算机的维护与故障排除,第章,主要内容,4,1微型计算机维护知识4,2微机系统故障产生的原因和分类4,3微机系统故障的检查步骤和原则4,4常用的维修设备4,5微机系统故障的维修方法4,6微机系统常见故障及其处理4,7微机系统常见故障实例。

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17、第六届电工电子基础课程实验教学案例设计竞赛参会须知及复赛分组报到时间：2019年5月10B10:0020:00报到地点：华南理工大学五山校区逸夫科学馆一楼大厅注意：5月10日晚上20:00之后到的老师，请在11日上午8:0010：00在34。

18、主要内容,1微机电系统概论2微机电系统功能材料3微机械加工制造技术4微机械执行器5微机械传感器6微机械弱信号检测与处理7微机电系统设计技术8微封装微构件及微尺寸效应,参考书,莫锦秋 梁庆华等，微机电系统设计与制造，化学工业出版社，2004.。

19、微机电系统,MicroElectroMechanical Systems,.,引 言,信息系统微型化系统体积大大减小性能可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标：微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步。

20、182023,1,微机电系统,MEMS简介,1,182023,2,早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件,如微传感器,微执行器等,如果把微电子器件同微机械部件。