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SS集成版ppt课件修订版孙军浩

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16、工艺集成 Process Integration,大规模集成电路制造工艺,2,知识回顾,3,工艺集成,集成电路的工艺集成: 运用各类单项工艺技术外延氧化气相沉积光刻扩散离子注入刻蚀以及金属化等工艺形成电路结构的制造过程。,薄膜形成,光刻,掺。

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