PVD基础知识

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18、第二章薄膜制备技术,2,4迪通恒业科技开发的外延制膜技术,2,3富森钛金设备开发的溶液镀膜技术,2,2薄膜的化学气相沉积,2,1薄膜的物理气相沉积,第一节薄膜的物理气相沉积,2,1,1引言,薄膜生长方法是获得薄膜的关键,薄膜材料的质量和性能。

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