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化学气相沉积CVD技术

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16、薄膜淀积与外延技术,超薄膜: 10nm薄膜: 50nm10mm典型薄膜: 50nm 1mm厚膜: 10mm 100mm,单晶薄膜多晶薄膜无序薄膜,5.1 概述,采用一定方法,使处于某种状态的一种或几种物质原材料的基团以物理或化学方式附着于衬。

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