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13、第二章 氧 化,2.1SiO2的结构及性质2.2SiO2的作用2.3硅的热氧化生长动力学2.4决定氧化速率常数和影响氧化速率的各种因素2.5热氧化过程中的杂质再分布2.6初始氧化阶段以及薄氧化层的生长2.7SiSiO2界面特性,SiO2具有。
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