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第08章 光刻Tag内容描述:
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14、第08章光刻,lithography,引言,光刻是IC制造业中最为重要的一道工艺,其构想来源于印刷技术中的照相制版技术,硅片制造工艺中,光刻占所有成本的35,通常可用光刻次数及所需掩模的个数来表示某生产工艺的难易程度,一个典型的硅集成电路工。
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