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15、目录一等离子体的概述二低温等离子聚合三小结和展望,等离子体聚合,一等离子体的概述,1等离子体的概念,等离子体,即正负电荷数量和密度基本相等的部分电离的气体,是由电子,离子,原子,分子,光子或自由基等粒子组成的集合体,物理学上将等离子体定义为。
16、使蒸发粒子在等离子体,利用辉光放电产生,中运动,通过动量及电荷交换成为高能粒子,在基板表面形成薄膜,第一节薄膜的物理气相沉积,2,1,4离子镀膜法,蒸发溅射相结合,1963年,麦道格斯,Matto,为解决宇航滚动轴承表面镀金问题而提出,第一。
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20、第三章纳米薄膜材料,材料化学系,材料化学系,薄膜材料是相对于体材料而言的,是人们采用特殊的方法,在体材料的表面沉积或制备的一层性质于体材料完全不同的物质层,薄膜材料受到重视的原因在于它往往具有特殊的材料性能或材料组合,返回,材料化学系,薄膜。