单晶炉热场

1、单晶硅设备工艺流程,目录,1. 硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3. 单晶炉展示4. 产品展示5. 单晶炉种类6. 单晶炉结构7. 各个部件的作用8. 单晶工艺流程9. 晶升， 埚升介绍10.加热部分,硅的提炼：,硅，Si,地球上含硅的东西多。

2、第4章 硅锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响。半导体硅锗器件的制做不仅要求硅锗材料是具有一定晶向的单晶，而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性。 单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法，即在单晶生长过程。

3、第二章 元素半导体材料,本章介绍以锗硅为代表的元素半导体材料。因目前国内外，各种类型的半导体器件，如晶体管集成电路，大规模集成电路等多采用硅单晶制成。所以这里重点讨论硅单晶材料。至于化合物半导体材料将在后面讲述。,单晶硅棒材料见硅材料图1图。

4、直拉生长工艺,直拉法又称Cz法,目前,98,的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85,是用直拉硅单晶制作的,直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制电子器件过程申不容易形变,由于它的生长是把硅熔融在石英坩埚中,而逐渐拉制。

5、第一章,电子工程系陈曦,硅材料及衬底制备,刘玉岭等编,微电子化学技术基础,化学工业出版社,2005李乃平主编,微电子器件工艺,华中理工大学出版社,1995关旭东编著,硅集成电路工艺基础,北京大学出版社,2008张厥宗编著,硅单晶抛光片的加工。

6、介质的磁化,磁介质顺磁质和抗磁质的磁化,传导电流产生,与介质有关的电流产生,顺磁质,抗磁质,铁磁质,锰,铬,铂,氮,水银,铜,硫,氢,金,铁,镍,钴,铁氧体,相对磁导率,顺磁质试件向右摆动,顺磁质试件向右摆动,抗磁质磁化后试件的极性,近代科。

7、第4章硅,锗晶体中的杂质和缺陷,半导体材料中的杂质和缺陷对其性质具有重要的影响,半导体硅,锗器件的制做不仅要求硅,锗材料是具有一定晶向的单晶,而且还要求单晶具有一定的电学参数和晶体的完整性,单晶的电学参数通常是采用掺杂的方法,即在单晶生长过。

8、第3章硅半导体材料基础,3,1半导体材料概述3,1,1半导体材料发展根据物质的导电性质,将它们分为导体,绝缘体和介于两者之间的半导体三大类,1947年锗晶体管的诞生引起了电子工业的革命,打破了电子管一统天下的局面,从此人类从使用电子管的时代。

9、半导体材料,徐桂英材料学院无机非金属材料系,第5章,半导体材料的制备,第5章,半导体材料的制备,为了满足第四章所提出的要求,以保证半导体器件的需要,发展了一系列的半导体材料制备工艺,其中大部分已在工业规模范围内得到实现,这些工艺大体可分为提。

10、1,第二章单晶生长技术,2,由原子,分子或离子等微粒在空间按一定规律,周期性重复排列所构成的长程有序的固体物质,非晶态结构示意图,晶态结构示意图,2,0晶体知识回顾,1,晶体定义,3,2,晶体的特性,1,晶体的均匀性与各向异性,晶体的一些与。

11、1,直拉单晶硅工艺技术,主讲教师,裴迪石油化工学院,第二章直拉单晶炉,直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备,炉子分两部分组成,机械部分和电控系统,炉体为一带水套的不锈钢炉室,其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场,籽晶轴和坩埚轴分别从炉。

12、1,普通降温法生长单晶是溶液法制备单晶中最简单的一种,适合实验室制备单晶,最初用于生长二磷酸腺甙,ADP,1947年英国人托德合成,一种人工生物单晶体,磷酸二氢钾,KDP,磷酸二氘钾,DKDP,等的单晶体,KDP和DKDP晶体均具有光电子性。

13、第二节硅片制备中的热工设备,单晶炉和多晶硅铸锭炉,一,单晶炉,目前在所有安装的太阳电池中,超过90,以上的是晶体硅太阳电池,因此位于产业链前端的硅锭片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用,太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭,这两种硅锭。

14、直拉法晶体硅生长流程与原理,直拉式单晶炉培训,技术工艺部,报告人,丁永生日期,2011,10,21,培训内容,一,直拉法单晶硅生长环境二,直拉式单晶炉基本结构三,直拉法单晶硅生长工艺步骤,一,直拉硅单晶的生长环境,高温环境的形成1,硅的熔点。

15、培训对象,硅单晶制取工培训讲师,詹文平硅单晶分厂,单晶炉热场结构,内容,1,热场结构热场的结构示意图,各部件介绍2,热场的安装和煅烧热场的安装,热场水平与中心调整,热场的煅烧3,热场的温度梯度热场的概念,温度梯度的概念,静态热场的温度分布。

16、培训对象,硅单晶制取工培训讲师,詹文平硅单晶分厂,单晶炉热场结构,内容,1,热场结构热场的结构示意图,各部件介绍2,热场的安装和煅烧热场的安装,热场水平与中心调整,热场的煅烧3,热场的温度梯度热场的概念,温度梯度的概念,静态热场的温度分布。

17、碳碳复合材料在单晶炉热场中的应用碳碳复合材料在单晶炉热场中的应用摘要生产单晶硅主要有法和浮游带区,法,图是单晶硅炉的结构示意图,在氩气保护下,将多晶硅加热到左右,使其熔融,由炉上部旋转垂放晶籽,种,拉线,使其与熔融硅面接触,并使熔融硅面保温。

18、培训对象,硅单晶制取工培训讲师,扈荣硅单晶分厂,单晶炉热场结构,内容,1,热场结构热场的结构示意图,各部件介绍2,热场的安装和煅烧热场的安装,热场水平与中心调整,热场的煅烧3,热场的温度梯度热场的概念,温度梯度的概念,静态热场的温度分布,动。

19、碳碳复合材料在CZ单晶炉热场中的应用摘要生产单晶硅主要有Cz法和浮游带区法。图1是Cz单晶硅炉的结构示意图.在氩气保护下.将多晶硅加热到1500左右.使其熔融：由炉上部旋转垂放晶籽拉线.使其与熔融硅面接触.并使熔融硅面保温在1400左右.向。