BST铁电薄膜的制备

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3、t课件PPT课件,1,第 十章 多晶硅薄膜,多晶硅薄膜材料：指在玻璃陶瓷廉价硅等低成本衬底上，通过化学气相沉积等技术，制备成一定厚度的多晶硅薄膜。根据多晶硅晶粒的大小，部分多晶硅薄膜又可称为微晶硅薄膜ucSi，其晶粒大小在1030nm左右或。

4、铁电及介电薄膜材料在电调谐微波器件上的应用,余汉祥,微波可调谐器件,工作频率或带宽阻抗等参数可受外界因素,比如机械力场,电场磁场等,调控的微波器件,包括可变电容谐振器滤波器,移相器,延迟线,压控振荡器,阻抗匹配网络等,铁电薄膜材料,BST。

5、二氧化硅薄膜的制备及应用,班级,08微电子一班姓名,袁峰学号,087305136,摘要,二氧化硅薄膜具有良好的硬度,光学,介电性质及耐磨,抗蚀等特性,在光学,微电子等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上广泛关注的功能材料,论述了有关二氧化硅。

6、第十二章薄膜制备技术,气相沉积技术就是通过气相材料或使材料气化后,沉积于固体材料或制品,基片,表面并形成薄膜,从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术,12,1薄膜的特征与分类,概念,薄膜是一类用特殊方法获得的,依靠基体支撑并具有与基体不同的。

7、第十二章薄膜制备技术,12,1薄膜的特征与分类,概念,薄膜是一类用特殊方法获得的,依靠基体支撑并具有与基体不同的结构和性能的二维材料,薄膜特征,1,厚度,纳米,微米,毫米,2,有基体支撑,不是单独存在的,3,特殊的结构和性能,与块体材料相区。

8、薄膜技术与材料ThinFilmMaterials,参考书,薄膜材料制备原理,技术及应用冶金出版社2003年1月第二版,问邹胀幂恩冰衬绝丈易八雁奄鼓蝎嘶搔甘杉蜒巳绎镊植痉仍肛途腔铱躬笑设备工艺,薄膜技术与材料,PPT77页,设备工艺,薄膜技术。

9、平均自由程的定义及公式,物理含义三种常见的真空泵,它们的特点及具体应用,常见真空计的类型及使用范围现有机械泵,分子泵,请将他们按适当的顺序连接到真空制膜腔体上,画图,并说明理由,第一章薄膜技术基础作业,第二章,真空蒸发镀膜,1,真空蒸发原理。

10、第三章,溅射镀膜,本章重点溅射的定义及原理溅射的特性及机理溅射与蒸发的比较溅射技术性问题,转漠宇澎霞舔状殷眠讲怕衷斑萄混伤撕入霉绚翠异箍稻障堑帖帝蝶刀础摹第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术,第一节,基本概念,1,溅射镀膜的定义,高。

11、第三章,溅射镀膜,本章重点溅射的定义及原理溅射的特性及机理溅射与蒸发的比较溅射技术性问题,第一节,基本概念,1,溅射镀膜的定义,高能离子在电场作用下高速轰击阴极,靶,经过能量交换与转移,靶材粒子飞离出来,淀积在基板上形成薄膜,溅,射,离子轰。

12、3.1 溅射基本原理3.2溅射主要参数3.3 溅射沉积装置及工艺3.4 离子成膜技术3.5 溅射技术的应用,第三章 薄膜制备技术溅射法,溅射：荷能粒子轰击固体表面，固体表面原子或分 子获得入射粒子所携带的部分能量，从而使其射出的现象。185。

13、第十二章薄膜制备技术,气相沉积技术就是通过气相材料或使材料气化后,沉积于固体材料或制品,基片,表面并形成薄膜,从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术,12,1薄膜的特征与分类,概念,薄膜是一类用特殊方法获得的,依靠基体支撑并具有与基体不同的。

14、薄膜制备的真空技术基础,1,1薄膜制备的真空技术基础,1,1气体分子运动论的基本概念1,2气体的流动状态和真空抽速1,3真空泵简介1,4真空的测量,薄膜制备的真空技术基础,2,1,1气体分子运动论的基本概念,固体,液体,气体,薄膜制备的真空。

15、20238813,22,05,材料合成与制备,李亚伟赵雷无机非金属材料系,13,22,05,第四章薄膜的制备,薄膜制备是一门迅速发展的材料技术,薄膜的制备方法综合了物理,化学,材料科学以及高技术手段,薄膜的应用前景十分广泛,半导体器件,电路。

16、铁电薄膜的制备,责传烬篆徘玖域群颅屠豆怒蓖嚣伯李颅歌晴便网盲浪丈翔燃洒禽积搀筏材铁电薄膜的制备铁电薄膜的制备,主要内容,绪论铁电薄膜,法制备及性能研究掺杂铁电薄膜的制备及性能研究铁电薄膜的制备及性能研究总结,捏窟骂懊嵌观赃烦踢匠砚些涵谴走摹。

17、第1章薄膜制备的真空技术基础,检位院棕达宛敢稽填闯唉烂阐虎挽童蹋甘侮侠苯汝米社介滴肪鸥科跟做咏第一章薄膜制备的真空技术基础第一章薄膜制备的真空技术基础,1,真空的定义,真空泛指压力低于一个大气压的任何气态空间,1,1真空的基本知识,2,真空。

18、第八章纳米薄膜,nanofilm,的制备,纳米薄膜分两类,一是由纳米粒子组成的,或堆砌而成的薄膜,另一类薄膜是指纳米粒子镶嵌,embedded,在另一种基体材料中的颗粒膜,即在纳米粒子间有较多的孔隙或无序原子或其它类材料纳米薄膜在光学,电学。

19、铁电薄膜的制备,主要内容,绪论铁电薄膜,法制备及性能研究掺杂铁电薄膜的制备及性能研究铁电薄膜的制备及性能研究总结,绪论,铁电材料概述,铁电材料是指存在自发极化,且自发极化有两个或多个可能的取向,在电场的作用下,其取向可改变的一类材料,铁电材。