薄膜技术PPT课件

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17、薄膜技术与材料ThinFilmMaterials,参考书,薄膜材料制备原理,技术及应用冶金出版社2003年1月第二版,问邹胀幂恩冰衬绝丈易八雁奄鼓蝎嘶搔甘杉蜒巳绎镊植痉仍肛途腔铱躬笑设备工艺,薄膜技术与材料,PPT77页,设备工艺,薄膜技术。

18、薄膜技术,任课教师,刘章生,概述,薄膜与厚膜的区别工艺上,厚膜电路一般采用丝网印刷工艺,薄膜电路采用的是真空蒸发,磁控溅射等工艺,厚度上,厚膜电路的膜厚一般大于10m,薄膜的膜厚小于10m,大多处于小于1m,概述,薄膜技术在电子封装中的应用。

19、第四单元,薄膜技术,第8章,晶体外延生长技术第9章,薄膜物理淀积技术第10章,薄膜化学汽相淀积,第8章,晶体外延生长技术,8,1外延层的生长生长的一般原理和过程SiCl4的氢化还原成核长大,一般认为反应过程是多形式的两步过程如,1,气相中S。

20、绪论,1,电子薄膜技术,主讲教师,徐进办公室,F410电话,83432236邮箱,绪论,2,第一堂课主要内容,课程情况介绍课程考核方式薄膜材料的定义薄膜技术的发展课程教学内容,绪论,3,课程性质,微电子制造方向专业课课程特点,内容丰富,概念。