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薄膜的制备课件

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12、第 十章 多晶硅薄膜,多晶硅薄膜材料:指在玻璃陶瓷廉价硅等低成本衬底上,通过化学气相沉积等技术,制备成一定厚度的多晶硅薄膜。根据多晶硅晶粒的大小,部分多晶硅薄膜又可称为微晶硅薄膜ucSi,其晶粒大小在1030nm左右或纳米硅ncSi,其晶粒。

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14、3.1 溅射基本原理3.2溅射主要参数3.3 溅射沉积装置及工艺3.4 离子成膜技术3.5 溅射技术的应用,第三章 薄膜制备技术溅射法,溅射:荷能粒子轰击固体表面,固体表面原子或分 子获得入射粒子所携带的部分能量,从而使其射出的现象。185。

15、半导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试,半导体薄膜的制备实验的特殊性及教学尝试,中国科学技术大学物理系邮政编码,许小亮徐军刘洪图,棘犁粪币素卷巾勃乎歼黎眶虽瘸砂缀肿虎瞬敞熟遵诉财听贰世冈逃蔡拆匝半导体薄膜的制备实验的特殊及教学尝试。

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18、聚合反应与聚合物薄膜制备,张伯平4,16,高分子与聚合反应,1920年,德国化学家H,Staudinger首次给出了,大分子,的概念,他认为,天然橡胶,聚苯乙烯,聚甲醛是具有长链结构的大分子,这些长链大分子是由小分子化合物相互之间以共价键重。

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