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12、第 十章 多晶硅薄膜,多晶硅薄膜材料:指在玻璃陶瓷廉价硅等低成本衬底上,通过化学气相沉积等技术,制备成一定厚度的多晶硅薄膜。根据多晶硅晶粒的大小,部分多晶硅薄膜又可称为微晶硅薄膜ucSi,其晶粒大小在1030nm左右或纳米硅ncSi,其晶粒。
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14、3.1 溅射基本原理3.2溅射主要参数3.3 溅射沉积装置及工艺3.4 离子成膜技术3.5 溅射技术的应用,第三章 薄膜制备技术溅射法,溅射:荷能粒子轰击固体表面,固体表面原子或分 子获得入射粒子所携带的部分能量,从而使其射出的现象。185。
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