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4、第三章纳米薄膜材料,材料化学系,材料化学系,薄膜材料是相对于体材料而言的,是人们采用特殊的方法,在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料完全不同的物质层,薄膜材料受到重视的原因在于它往往具有特殊的材料性能或材料组合,返回,材料化学系,薄膜。
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6、功能薄膜及其制备方法,且慎续捍饮逊氏募刁申时藤姚房堆琐歧呸荤柜叛吼薄喘演短静徘啸茶网绷第六部分功能薄膜及其制备方法第六部分功能薄膜及其制备方法,采用某种工艺,在一定的基体表面上形成厚度在1000nm以内材料,称为薄膜,功能薄膜之所以成为研究。
7、第十章多晶硅薄膜,多晶硅薄膜材料,指在玻璃,陶瓷,廉价硅等低成本衬底上,通过化学气相沉积等技术,制备成一定厚度的多晶硅薄膜,根据多晶硅晶粒的大小,部分多晶硅薄膜又可称为微晶硅薄膜,uc,Si,其晶粒大小在10,30nm左右,或纳米硅,nc。
8、2 薄膜沉积的化学方法,概 念:薄膜制备过程中,凡是需要在一定化学反应发生的前提下完成薄膜制备的 技术方法,统称为薄膜沉积的化学方法。条 件:化学反应需要能量输入和诱发优缺点:设备简单成本较低甚至无需真空环境即可进行; 化学制备工艺控制复杂。
9、2薄膜沉积的化学方法,概念,薄膜制备过程中,凡是需要在一定化学反应发生的前提下完成薄膜制备的技术方法,统称为薄膜沉积的化学方法,条件,化学反应需要能量输入和诱发优,缺点,设备简单,成本较低,甚至无需真空环境即可进行,化学制备,工艺控制复杂。
10、薄膜材料与薄膜技术,第二章薄膜的化学制备方法,1,薄膜制备技术,直流溅射,射频溅射,磁控溅射,离子束溅射,真空蒸发,溅射沉积,离子镀,物理气相沉积,PVD,化学气相沉积,CVD,分子束外延,MBE,气相沉积,电镀法,溶胶,凝胶法,电阻加热。
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17、薄膜材料与薄膜技术,数理学院,第二章薄膜的化学制备方法,2,一,化学镀二,溶胶,凝胶法三,阳极反应沉积四,电镀五,LB技术六,水热法,主要内容,一,化学镀膜,化学镀膜是在催化条件下的氧化还原过程,一般靠被镀金属本身的自催化作用完成镀膜过程。
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