GB50724-2011大宗气体纯化及输送系统工程技术规范.docx

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1、UDC中华人民共和国国家标准GB50724-2011大宗气体纯化及输送系统工程技术规范Technicalcodeforbulkgaspurificationanddeliverysystemengineering2011-07-29发布2012-08-01 实施中华人民共和国住房和城乡建设部a中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布中华人民共和国国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范TechnicalCodeforbulkgaspurificationanddeliverysystemengineeringGB50724-2011主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人

2、民共和国住房和城乡建设部施行日期：2012年8月1日中国计划出版社中华人民共和国国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范GB50724-2011中国计划出版社出版她址：北京市西城区木樨地4匕里甲U号国宏大威座4层）（邮编码；IoOO38电话：6390643363906381）新华书店北京发行所发行4晾世知印务有限公司印刷850X1168亳米1/322.75印张67千字2012年2月第1版2012年2月第1次印刷印数14000册统一书号：1580177*761定价：17.00元中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1111号关于发布国家标准大宗气体纯化及输送系统工程技术规范的公告现批准大宗气体纯

3、化及输送系统工程技术规范为国家标准，编号为GB507242011,自2012年8月1日起实施。其中，第3.0.3、3.0.4、5.0.5、6.22、6.23、6.25（1、2）、6.41、6.42、6.43、7.0.1、7.0.3、7.0.4、7.0.6、8.0.1、8.0.4、10.0.3、10.0.5（1、3）、10.0.8、10.0.10、11.3.7（9、10）条徽）为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中民共和国住房和城乡建设部-O一年七月二十九日三*JL.-刖百本规范是根据原建设部关于印发2006年工程建设标准规范制定、修订计划（第二批）

4、的通知（建标2006136号）的要求，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司会同有关单位共同编制而成。本规范在编制过程中，编写组结合我国电子信息产品制造业等工厂大宗气体纯化站及输送系统设计、施工、安装、运行的实际情况，进行了大量的调研，对国内外相关规范、产品进行了深入研讨，先后完成了初稿、征求意见稿、送审稿、报批稿的编写，并以多种方式广泛征求了国内各设计院、工程公司、生产厂商和使用单位的意见，并反复讨论、修改，最后经审查定稿。本规范共分11章和3个附录，主要内容包括：总则、术语、站房布置、工艺系统、设备选择、高纯气体输送系统、建筑结构、采暖通风与空

5、气调节、给水排水及消防、电气及仪表控制、施工及验收等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在本规范执行过程中，请各有关单位结合工程实践，认真总结和积累经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和建议寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司（地址：四川省成都市新华大道双林路251号，邮政编码：610021;传真：028-84333172）,以供今后修订时参考。1,本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人和主

6、要审查人：主编单位：信息产业电子第十一设计研窕院科技工程股份有限公司中国电子系统工程第四建设有限公司.参编单位，中国电子工程设计院上海正帆科技技术有限公司成都爱德工程有限公司上海电子工程设计研究院有限公司参加单位：上海兄弟微电子技术有限公司液化空气（中国）投资有限公司王天龙主要好人:张家红刘序忠万铜良冯卫中申云江薛长立李东杜宝李艾生升强膜珍崔永祥范双王鹏王世陈怀亮成平王金树刘采峰主要审查人：陈霖王宗侯文周礼王开新存川誉源陈艳程1总贝IJ(1)2术语(2)3站房布置(5)4工艺系统(7)5设备选择(9)6高纯气体输送系统(11)6. 1一般规定(11)6.2 管道设计(11)6.3 管材及附件(

7、12)6.4 安全及标志(13)7建筑结构(14)8采暖通风与空气调节(9给水排水及消防(16)10电气及仪表控制(11施工及验收(19)1.1 1一般规定(19)1.2 气体纯化站的施工(20)1.3 高纯气体输送系统的施工(21)1.4 改、扩建工程的施工(25)1.5 工程验收(25)附录A高纯气体用BA、EP不锈钢管道技术要求(30)附录B高纯气体管道氨检漏方法(33)附录C施工验收测试记录表(34)本规范用词说明(40)引用标准名录(41)附：条文说明；(43)Contents1 Generalprovisions(1)2 Terms3 Purificationstationlayo

8、ut(5)4 Processsystem(7)5 Equipmentselection(9)6 Deliverysystemofhighpuritygas(11)6.1 Generalrequirement(U)6.2 Pipingdesign（三）6.3 Pipingmaterialsandaccessories(12)6.4 Safetyandidentification(13)7 Architectureandstructure(14)8 Heating,rentiIationandairconditioning(15).9 Watersupplyanddrainageandfirefi

9、ghting(16)10 Electricalandinstrumentcontrols(17)11 Constructionandacceptance(19)1.1 1Generalrequirement(19)1.2 ConstiTictionofpurificationstation(20)1.3 Constructionofdeliverrsystemofhighpuritygases(21)1.4 ConstructionofrecOTstructionandextensionWOrkS(25)1.5 5Acceptanceofworks(25)Appendix A Technica

10、lspecificationforBA、EPpipe(30)Appendix B Detectionmethodofheliumleakageinhighpuritygaspipes(33)AppendixCRecordsheetsofsystemtestandacceptance(34)Explanationofwordinginthiscode(40)1.istofquotedstandards(41)AdditionjExplanationofprovisions(43).o.为了适应电子工业大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收，正确贯彻国家工程建设的方针政策，确保安全、节约能源、保

11、护环境、满足产品生产要求，制定本规范。1.0.2本规范适用于电子工业新建、改建和扩建工程的电子工业大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收。1.0.3大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收应做到技术先进、经济合理、安全可靠、操作、维修方便。1.0.4大宗气体纯化及输送系统的设计、施工及验收除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。2.0.1大宗气体bulkgas电子工业中使用的氮气、氢气、氧气、氧气、氮气的统称。2.0.2气体纯化站gaspurificationstation设有大宗气体纯化装置、气体过滤器及其输送管道和辅助设施的建筑物、构筑物或房间的总称。2.0.3高纯气体（超高纯

12、气体）输送系统（ultra）highpuritygasdeliverysystems从大宗气体纯化装置至高纯气体（超高纯气体）使用点的输送系统。2.0.4制气站bulkgasgenerationplant采用相关的制气工艺制取气体所需的制气设施、压缩储存设施、灌充设施、辅助设施及其建筑物、构筑物的总称。2.0.5供气站bulkgassupplystation不含气体制取设施，以瓶装或管道供应大宗气体的建筑物、构筑物、储气罐或场所的统称。2.0.6储气罐gasstoragetank用于储存气体的定压变容积或变压定容积的容器的总称。2.0.7明火地点OPenflamesite室内外有外露火焰或赤热

13、表面的固定地点。2.0.8气瓶集装格thebundleofgascylinders由专用框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。2.0.9实瓶fullcylinder具有一定灌充压力的气瓶，水容积为40L、设计压力为212.OMPa20.OMPa的气体钢瓶。2.0.10空瓶emptycylinder无内压或留有残余压力的气体钢瓶。2.0.11气体纯度gaspurity指气体主成分的量占气体总量的比例。2.0.12普通气generalgas气体纯度低于99.99%的气体。2.0.13高纯气体highpuritygas指采用提纯技术达到规定等级纯度的气体。通常指纯度为99.

14、99%99.9999%、有害杂质含量小于或等于IXIO-5的气体。2.0.14超高纯气体ultrahighpuritygas指采用提纯技术达到的高等级纯度的气体。通常指纯度等于或高于99.9999%和有害杂质总含量小于或等于1X10-6的气体。2.0.15抛光polishing为了控制储存和输送高纯气体的钢瓶和管线内壁的表面粗糙度，使其不吸附气体、无杂质脱落而进行的抛光处理。2.0.16压缩气体compressedgas指在20C下，绝对压力超过101.325kPa的任何一种或多种气体混合物。2.0.17气体过滤器gasfilter以碰撞、扩散或截获机理将气体中固体粒子去除的装置。2.0.18

15、气体纯化器gaspurifier为提高大宗气体纯度，脱除气体中有害杂质的装置。2.0.19氮质谱检漏仪.heliummassspectrometerleakdetector以氢气为检测气体，对设备、管道进行检漏的质谱仪。2.0.20AP管annealedandpickledpipe真空脱碳制造并经酸洗或钝化的不锈钢管。2.0.21BA管brightannealedpipe在氢气保护气或真空状态下经高温热处理的光亮退火不锈钢管。2.0.22EP管electro-polishedpipe经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面具有细密富含氧化铝氧化膜的不锈钢管。2.0.23VCR连接C

16、onnectionofvacuumcouplingradiusseal密封元件采用金属垫片的金属面密封接头进行的管道连接。2.0.24卡套连接ConnectionofIet-Iok通过本体、母套头、金属箍套圈进行的连接形式。3.站房布置3.0.1大宗气体纯化站的设置应符合下列规定：1纯化站设置在制气站、供气站内时，宜与功能特性相近的装置或房间邻近布置。2纯化站与用气车间毗连布置时，应在建筑物的首层靠外墙或端部布置。3氢气纯化站宜与采用氢气活化的惰性气体纯化站合建。4氧气纯化站宜与非氢气活化的惰性气体纯化站合建。5当用气车间设有大宗气体入口室时，气体纯化站宜与气体入口室合建。6站房内宜留有适当的

17、扩展余地。3.0.2设置在制气站、供气站内的气体纯化站，除应符合本规范的规定外，还应符合现行国家标准氢气站设计规范GB50177和氧气站设计规范GB50030的有关规定。3.0.3氢气纯化站与用气车间毗连布置时，应符合下列规定：1氧气纯化站不得设在人员密集场所和重要部门的邻近位置，以及主要通道、疏散口的两侧。2氢气纯化站不得与相邻房间直接相通，且与氢气纯化站毗连的厂房耐火等级不应低于二级。备相邻的房间，并应采用耐火极限不低于3.OOh的不燃烧体隔墙分隔。3.0.5气体纯化站内的设备布置应符合下列规定：1气体纯化设备之间的净距不宜小于L2m;设备与墙壁之间的净距不宜小于1.0m,并不宜小于更换纯

18、化材料或抽出零部件的长度再加05m,2气体纯化设备与其附属设备之间的净距可比本条第1款的规定缩小O15mO.30m1,3气体纯化设备双排布置时，两排之间的净距不宜小于1.5m。3.0.6有爆炸危险房间的安全出入口不得少于2个，其中1个应直通室外；但建筑面积不超过IOom2时，可只设1个直通室外的出入口。3.0.7气体纯化站内，当设备检修或更换纯化材料需要吊装时，宜设起吊设施，4工艺系统4.0.1气体纯化站原料气的选择应综合下列因素确定：1高纯气体耗气量和气体品质要求。2气体纯化器对原料气体纯度与其杂质含量的要求。3根据现场制气或外购气源的气体品质参数经技术经济分析确定。4.0.2气体纯化系统的

19、设置应综合下列因素确定：1原料气的纯度、杂质含量和压力。2产品气的纯度、杂质含量和压力。3气体使用的连续性、负荷变化状况。4纯化用材料的品种、活化与再生方法等的技术经济性。5用户对系统安全性、可靠性的要求。4.0.3催化吸附型气体纯化系统应设置下列装置：1原料气的气水分离或过滤装置。2纯化反应器及活化、加热设施。3吸附器及控制阀组。4换热、冷却设施。1原料气过滤装置。2纯化反应器及活化、加热设施。3控制阀组。4换热、冷却设施。4.0.5钿膜气体纯化系统应设置下列装置:1原料气预纯化装置。2真空、保护气设施。73把膜纯化器和控制阀组。4换热、冷却设施。4.0.6低温吸附型气体纯化系统应设置下列装

20、置：1原料气预纯化装置。2吸附器组和控制阀组。3液氮供给和回收装置。4.0.7电子产品生产工艺对同种气体有不同纯化系统时，应根据原料气品质、高纯气体用量及其品质要求和纯化方法进行技术经济比较，确定采用一级或二级气体纯化装置。当杂质含量要求严格或高纯气体用量较小时，宜在邻近用气设备邻近处设置气体终端纯化装置。4.0.8用气设备对气体含尘量有严格要求时，应在气体纯化后的输气管道上的邻近用气设备处设置高精度终端气体过滤器。4.0.9气体纯化装置的气体进、出口未设置气体过滤器时，应在气体纯化站内设置气体过滤器，并宜靠近气体纯化装置。4.0.10气体纯化系统的设备及其管道内的冷凝水，应设置各自的专用疏水

21、装置或排水水封排至室外。4.0.11气体纯化站应设置每种气体的原料气、产品气的分析取样口。5设备选择5.0.1气体纯化装置应综合下列因素确定：1原料气的纯度、杂质组分和含量。2用气设备对气体纯度、杂质组分与含量和供气压力。3各类高纯气体的用途、使用特点、品质要求、最大小时消耗量和负荷变化情况。4各种纯化装置的特性、活化再生方法等。5.0.2气体纯化装置的容量、台数应符合下列规定：1气体纯化装置应以最大小时消耗量确定设计容量。2同一种气体宜设置.1台纯化等级相同的纯化装置.，因中断高纯气体供应会引发安全事故或巨大经济损失时，宜设备用纯化装置。3气体纯化站内，同一种气体设置2台及以上的相同等级的气

22、体纯化装置时，宜采用相同的气体纯化装置。5.0.3气体过滤器应综合下列因素确定：1原料气体中的粒径与含尘量。2用气设备对气体中的粒径与含尘量的要求。3气体压力与允许压力降。4氧化性气体过滤器的过滤元件应采用不燃材料制作。5.0.4气体纯化装置内压力容器的设计应符合现行国家标准钢制压力容器GBl50的有关规定。5.0.5氨气纯化装或采用氨气活化的情性气体纯化装置采用封闭式整体设备时，气体纯化装量外壳内应设置氢气探测器、强制排风装,并应进行连锁控制。5.0.6气体纯化站的加热、冷却方式或介质应根据气体纯化装置的特点、技术参数和具体供应条件等因素，经技术经济比较后确定。5.0.7气体纯化装置中高温工

23、作的单体设备及管道、附件，应按现行国家标准工业设备及管道绝热工程施工规范GB50126的有关规定执行。5.0.8气体纯化器的纯化材料为有害物质时，废弃物处理应符合现行国家标准一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准GB18599的有关规定。6高纯气体输送系统6.1 一般规定6.1.1 各种高纯气体输送系统的设置宜根据用气设备对高纯气体的特性品质、压力的要求确定。6.1.2 高纯气体输送系统的设计容量应根据用气设备的高纯气体消耗量、使用特点确定，宜以最大小时消耗量计算。6.1.3 高纯气体管道系统设计除应符合本规范的规定外，还应符合现行国家标准氢气站设计规范GB50177和氧气站设计规范GB50

24、030的有关规定。6.2 管道设计6.2.1 高纯气体管道的敷设应满足操作、安装及维修的要求。室内高纯氢气、高纯氧气管道应架空敷设，厂区室外高纯氮气、高纯氧气和窒息性气体管道也可采用直接埋地敷设。高纯气体管道采用架空敷设或直接埋地敷设时，均应符合现行国家标准氢气站设计规范GB50177和氧气站设计规范GB50030的有关规定。6.2.2 当高纯氨气、高纯叙气管道必须穿过不使用此类气体的房间时，应采用钢套管或双层管保护。6.2.3 高纯氢气、高纯1气管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段不应有焊缱。管道与套管间应采用不燃材料填塞。6.2.4 高纯大宗气体管道设计应符合下列规定:1高纯

25、气体输送系统管道应短。2应按管道设计容量、气体压力或生产设备要求确定管径,管外径不宜小于6mm,壁厚不宜小于InIln。111.1.1 不得有不易吹除的“盲管”等死空间。1.1.2 应设置吹扫口和取样口。1.1.5 高纯氧气、氢气管道的末端或最高点应设置放散管，放散管的设置应符合下列规定：1氢气放散管应设置阻火器。2氧气、融气放散管应引至室外，放散管口应高出屋脊1.0m以上，并应设置防雷保护措施。3氧气、氧气的放散管应分开布置，间距不宜小于4.5m。4应采取防雨雪侵入和杂物堵塞的措施。1.1.6 引入电子工厂的厂房或车间的高纯气体管道上的控制阀门、气体过滤器、调压装置、仪表仪器等，宜集中设置在

26、气体入口室。1.1.7 高纯气体管道与阀门、设备的连接，可采用法兰、双卡套、VCR连接等方式。6.3 管材及附件6.3.1 高纯气体管道的材质、洁净处理以及阀门类型、材质的选择，应根据管内输送气体纯度和杂质含量确定。阀门的材质及表面处理应与管道匹配。6.3.2 气体纯度低于99.99斩露点低于-40C的气体管道，宜采用AP管或BA管，阀门宜采用不锈钢球阀。6.3.3 气体纯度大于或等于99.99%、小于99.999%,露点小于-60C的气体管道，应采用BA管或EP管，阀门应采用同等级低碳不锈钢波纹管阀或隔膜阀。6.3.4 纯度大于或等于99.999%,露点小于-70的气体管道，应采用EP管，阀

27、门应采用同等级低碳不锈钢的隔膜阀或波纹管阀。6.3.5 高纯气体管道的连接应采用焊接，并应符合现行国家标准电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定。126.3.6 高纯气体管道采用的BA、EP不锈钢管，应符合本规范附录A的有关规定。6.3.7 液态大宗气体管道宜采用不锈钢管道及低温阀门。两端可能关闭的液态气体管道应设置低温管道的安全阀。638低温管道保温应按现行国家标准工业设备及管道绝热工程施工规范GB50126的有关规定执行。6.4 安全及标志6.4.1 设有高纯氨气管道的下列部位，应设气体报警装和事故排风装置,且报警装应与相应的事故排风机连锁控制：1.气体入口室或气体纯化站。2阀门

28、箱内、管廊或技术夹层内的氢气易积聚处。3.使用高纯氮气处。6.4.2 高纯叙气管道及附件应采取下列安全技术措施：1管道、阀门及附件必须严格脱脂。2应设置静电导除装3厂房入口的管道上应设置自动切断阀。6.4.3 高纯氨气管道应采取下列安全技术措施：1厂房入口的管道上应设置自动切断阀。2应设置静电导除装置。6.4.4 厂房内的高纯氢气管道上设置阀门时，宜设置阀门箱；阀门箱应设置阀门、压力表、吹扫口、取样口和气体报警装置等。6.4.5 高纯气体输送系统应设置含氧量小于O.5%的氮气或氢气置换吹扫设施。6.4.6 管道涂色宜符合现行国家标准工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识GB7231的有关规定

29、。7建筑结构7.0.1氢气纯化站的火灾危险性类别应为甲类，飘气纯化站的火灾危险性类别应为乙类，非氢活化的悟性气体纯化站的火灾危险性类别应为戊类。7.0.2气体纯化站的耐火等级不应低于二级。7.0.3氢气纯化站等有爆炸危险房间的设计应符合下列规定：1应采用钢筋混凝土柱承重的框架或排架结构。当采用钢柱承重时，钢柱应设置防火保护，其耐火极限不得小于2.00h.2泄压设施的设置应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016的有关规定，泄压面积不得小于屋顶面积或最长一面墙的面积。3有爆炸危险房间与无爆炸危险房间之间应采用无门窗洞的耐火极限不低于3.OOh的不燃烧体隔墙分隔。当设置防爆门斗相通时，应采用

30、甲级防火门，门的耐火极限不应低于L50h4有爆炸危险房间与无爆炸危险房间之间必须穿过管线时，应采用不燃烧体材料填塞空隙。7. 0.4氧气纯化间与毗连房间之间应采用耐火极限不低于2.OOh的不燃烧体隔墙分隔，隔墙上的门应采用甲级防火门。7.0.5气体纯化站的门窗均应向外开启，有爆炸危险房间的门窗及地面应采用撞击时不产生火花的材料制作，其余房间的地面应平整、耐磨和防滑。7. O.6氢气纯化站等有爆炸危险房间的上部空间应通风良好。顶棚的内表面应平整，并应避免死角。7.0.7气体纯化站屋架下弦的高度应满足设备安装和维修的要求，纯化间屋架下弦的高度不宜低于4.5m。148采暧通风与空气调节8.0.1气体

31、纯化间不得采用明火取暖；设集中采暖时，应采用易于清除灰尘的散热器。8:0.2集中采暖时，纯化间不宜低于15,控制室不宜低于18Co8.0.3氧气和非氢气活化的惰性气体纯化间应设自然通风和事故排风，自然通风换气次数不应少于3次h,事故排风换气次数不应少于12次h.8.0.4氢气纯化间和采用氢气活化的情性气体纯化间应设自然通风和事故排风，自然通风换气次数不得少于3次/h;事故排风换气次数不得少于12次h,并应与氨气检漏报警装置连锁。排风装置应设置在房间顶部。8.0.5有爆炸危险房间事故排风机的选型应符合现行国家标准爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范GB50058的有关规定。8.0.6气体纯度分析间

32、宜根据分析仪器的要求设置独立的恒温恒湿空调设备，室内温度宜为18C26C,相对湿度宜为40%”60%o9 给水排水及消防9.0.1气体纯化站的供水，除因中断高纯气体供应将造成较大损失者外，宜采用一路供水。9.0.2纯化站内设置的冷却水系统应符合下列规定：1冷却水系统宜采用集中的闭式循环水。2闭式冷却水系统补水应采用软化水。设备冷却水入口应设置过滤器，冷却水排水应设置水流观察装置或排水漏斗。9.0.3氧气纯化站、氧气纯化站及其控制室应设置干粉灭火器等，并应符合现行国家标准建筑灭火器配置设计规范GB50140的有关规定。9.0.4纯化站的室内外消防设计应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB5001

33、6的有关规定。10 电气及仪表控制10.0.1、气体纯化站的供电应按现行国家标准供配电系统设计规范GB50052的有关规定进行负荷分级，除因中断供电将造成较大损失者外，宜为三级负荷。10.0.2气体纯化站控制系统宜设置应急电源。10.0.3.氢气纯化站等有爆炸危险房间内的电气设施应按2区爆炸危险等级设防，并应符合现行国家标准爆炸和火灾危聊境电力装置设计规范GB50058的有关规定。10.0.4气体纯化站的防雷、防静电和接地装置的设计应与制气站、供气站或用气车间协同设计。氢气纯化站等有爆炸危险的房间和氢气管道的防雷、防静电设计应符合现行国家标准氢气站设计规范GB50177和电子工程防静电设计规范

34、GB50611的有关规定。10.0.5氢气纯化站等有爆炸危险房间的照明设计应符合下列规定：1应采用防爆灯具。2光源宜采用荧光灯等高效光源。3灯具应芸在较低处，并不得装在氨气释放源的正上方。10.0.6气体纯化站内宜设置应急照明，气体纯化装置等仪表集中处宜设局部照明10.0.7气体纯化站内的电缆及导线敷设应符合现行国家标准电力工程电缆设计规范GB50217的有关规定。敷设的导线或电缆应采用钢管保护，并应在下列位置做隔离密封：1导线或电缆引向电气设备接头部件前。2相邻的环境之间。1710.0.8氢气纯化站等有爆炸危险房间内应设置氢气检漏报警装置，并应与相应的事故排风机连锁。当空气中氢气浓度体积比达

35、到0.4%时，事故排风机应连锁自动开启。10.0.9氧气和非氢活化的惰性气体纯化间内宜设置氧气检漏报警装置，并应与相应的事故排风机连锁。当空气中氧气浓度体积比低于18%或体积比高于25%时，事故排风机应自动开启。10.0.10与飙气接触的仪器仪表必须经过脱脂处理。10.0.11高纯气体输送系统应按下列规定设置分析仪器：1应按高纯气体系统分别设置在线露点分析仪、微量氧分析仪。2应采用气相色谱仪或色质联用仪定期分析高纯、超高纯气体中的杂质含量。3原料气纯度或组分应连续分析。4应定期分析高纯气体中的粒子数。10.0.12高纯气体输送系统应设置下列计量仪表：I原料气体流量计。2高纯气或外供高纯气流量计

36、。3成本核算所必需的用电、用水计量仪表。4车间人口处宜设置高纯气体流量记录累计仪表。10.0.13高纯气体输送系统应在下列部位设置压力检测仪表：1纯化站气体进、出口。2气体纯化装置气体进、出口。3高纯气体输送系统过滤器气体进、出口.4冷却水进、出口。11施工及验收11.1 一般规定11.1.1 大宗气体纯化及输送工程施工前应编制专项施工组织设计。11.1.2 施工用材料、部件的性能、规格应符合设计文件要求。11.1.3 工程施工除应符合本规范的规定外，还应符合现行国家标准工业金属管道工程施工规范GB50235的有关规定。11.1.4 高纯气体输送系统的焊接除应符合本规范的规定外，还应符合现行国

37、家标准现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范GB50236的有关规定。11.1.5 高纯气体输送系统管道焊接应采用全自动轨道氢弧焊机，并应以相应高纯氮气保护焊接。11.1.6 高纯气体纯化及输送工程的施工单位应具有相应的施工和检测设备，各类检测设备应检定合格，并应在有效使用期内。11.1.7 气体纯化站设备及其附件、材料应已进行现场检查、检验，并应有记录编号。设备、附件和材料均应具有产品合格证、材质证明、使用说明书，以及强度试验、气密性试验报告，并应符合工程设计和设备技术要求。11.1.8 进口设备、材料进场验收除应符合本规范的规定外，还应提供商检证明和有关质量、规格、型号、性能测试，以及安

38、装、使用、维护和试验要求等技术文件。11.1.9 设备与材料进场进行验收、管道吹扫、压力试验、气密性检测、纯度测试、氮气检漏、焊接样件鉴定事项时，项目法人单位代表应在场。11.1.10 高纯气体管道、管件和阀门等的进场验收和验收场所应19符合下列规定：1在非洁净室全数检查外包装，不得有破损、变形。2管道、管件和阀门应在空气洁净度等级不低于7级(0.5m)的洁净室内进行内包装开封检查。3检查合格的管道、管件及阀门应按种类、规格分别存放在洁净度不低于7级(0.5Hm)的洁净室的货架上，不得宜接放在地面上。11.1.11 高纯气体系统用管道、管件和阀门的进场检查应符合下列规定：1管道、管件、阀门应有

39、独立的内包装，端口均应装有防尘帽；并应在检查合格后恢复内包装及防尘帽。2管道外观检查应按全数的姗查，规格尺寸、壁厚、真圆度、端面平整度等应符合产品技术要求，且内表面应无刮痕及斑点。3材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪，其化学成分应符合产品技术要求。4管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查。BA管道内壁平均表面粗糙度R.应小于或等于0.7um,最大表面粗糙度RmX应小于或等于3.0m;EP管道内壁平均表面粗糙度R,应小于或等于0.25pm,最大表面粗糙度Rm.应小于或等于0.5mo5管道、管件、阀门的检查，每批每种规格应随机抽查5$,且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查。11.2

40、1体纯化站的施工11.2.1 气体纯化站的施工应符合下列规定：1相关的土建工程应已验收合格，并应办理交接手续。2应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明的要求进行安装。233承压设备、附件应具有压力试验、无损检测等有效检验合格文件。4与有爆炸危险气体相关的设备、附件，应具有检验合格的文件。5有防静电接地要求的设施，相应的防静电接地系统应己施工。6气体纯化设备、附件安装前应严格进行外观检查，发现异常时，应与供货商共同检查，并应经确认不影响使用功能后再进行安装。11.2.2 气体纯化装置的搬运应符合下列规定：1搬入安装现场前，应进行认真清洁，符合要求后应从规定的设备搬入口运入。2整体设备搬运时，应按

41、设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况，采用适当的安全搬运方法，并不得倒置。11.2.3气体纯化装置的安装应符合下列规定：1气体纯化装置安装时，应按工程设计文件和产品说明书要求准确定位和正确进行接管、接线，并应计及人员操作空间和门的开启方向。2气体纯化装置的垂直度偏差不得大于1.5%。,成列安装偏差不应大于5mm。3气体纯化装置等设备的混凝土基础及预埋螺栓应具有检验合格的记录，设备就位找平找正后应固定牢固。11.3高纯气体输送系统的施工113.1 高纯气体管道安装前应具备下列条件：1与高纯气体管道工程相关的土建工程应已验收合格，应满足安装要求，并应已办理交接手续。2使用的材料、附件等应已检验合

42、格，并应具有相应的产品出厂合格证书等。213管材、管件及性能等应符合设计文件要求，安装前包装应完好无损。11.3.2施工材料的储存与搬运应符合下列规定：1材料应保存在洁净室内。2储存材料时，应以专用的货架或柜子存放，不得将材料直接放置于地面上；并应轻抬轻放，严禁碰撞、抛扔和脚踩。3不同材料应分别存放，并应设置明显的区分标记。4BA、EP材料进入洁净室（区）前，外包装应除去；BA、EP材料使用前，不得打开内包装。1133EP或BA低碳不锈钢管的预制、点固、组装、焊接作业，应在空气洁净度等级6级的洁净室内进行，作业人员作业时，应着洁净工作服、口罩、孚诚手套。113.4 配管切割应符合下列规定：1外

43、径等于或小于12.7mm的管材切割宜采用不锈钢切管器；外径大于12.7mm时，宜采用专用不锈钢切割机；并应以高纯敏气吹净管内切口的杂物、灰尘，不得使用手工锯、砂轮切割机切割。2使用不锈钢切割器切割时，应缓慢进行，并应确认表面无有害痕迹、破损，被切割管应横放、水平固定，防止切屑进入管内。3切割后应用专用的平口器处理切面，并应用专用倒角器消除毛刺，管端切口应垂直、不变形，并应满足不加丝自动焊的要求，应确认配管内、外无杂质或异常现象，并应在两端加塑料盖待用。4平口机加工余量应为壁厚的l10l5,加工时应用低压氮气吹扫。加工后应将该端管口向下，另一端应用高纯氮气快速吹扫。刚切割完毕的管道口严禁向上。1

44、13.5 高纯气体管道的弯头应符合下列规定:1管外径小于或等于12.7mm的不锈钢管弯头应采用专用弯管器煨制，并应与管道规格相匹配，公制弯管器与英制弯管器严禁混用。222煨制弯头的弯曲半径应等于或大于管径的5倍。3管外径大于12.7mm的不锈钢管弯头应采用成品弯头。11.3.6管道焊接应符合下列规定：1焊接前应编制焊接作业指导书，焊接过程中应做焊接记录；焊口应统一编号，并应标明作业时间、焊接作业人、焊接主要参数等。2正式实施自动焊接前，焊工应对每台焊机的各种配管尺寸进行样品制作，样品应经第三方认证检查，并应在合格后再进行焊接作业。3在每天正式焊接前、每次更换焊头、更换鸨棒、改变焊接口径，以及焊

45、机连续焊接超过4.OOh等情况均应进行焊接试验，并应经检验员检查合格，同时应填写焊接合格确认单后再正式施焊。4自动焊机的电源应保持稳定，宜配置合适容量的稳压装置；焊机本体应可靠接地。5EP或BA管道的点焊应采用手工氢弧焊，点焊渗透应适当，并在正常施焊连接时应能去除临时点焊点。6点焊时应将待焊接的两管中心对准后沿圆周点焊3处4处，发现管端无法密合或管道平面错边时，应立即重新检查处理。7管道预制焊接总长度不得超过12m,预制时应放置在专用支座上，支点数量不得少于4个。8管道预制和运输时，每3m长度应增加一途支点。9管材、管件、阀门组对时，应做到内、外壁辛整，对口错边量不得超过壁厚的10机10每完成一个焊接接头，应对其表面进行清洁检查，焊缝内、外径凹凸量不得超过管壁厚度的10乳焊缝不得有下陷、未焊透、不同轴、咬边缺陷，内、外表面氧化膜应无烧伤。11焊接时，焊道不可重复烧焊，烧焊失败时应切除后重新施焊。12EP或BA管道焊接应按工程设计图顺气流方向依次进行，并应连续不断充纯氧气吹扫、保护；焊接时纯氨气的流量，管外径为6mm114mm时，宜为5Lmin15Lmin;停工时，宜为2Lmin5Lmin13焊接过程应做焊接记录，焊接完成后