至芯半导体（杭州）有限公司深紫外UVC芯片项目环评报告.docx

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1、建设项目环境影响报告表项目名称：深紫外UVC芯片项目建设单位：至芯半导体（杭州）有限公司二。二。年十一月目录一、建设项目基本情况表1二、建设项目所在地自然环境及相关规划情况14三、环境质状况26四、评价适用标准37五、建设项目工程分析44六、项目主要污染物产生及预计排放情况78七、环境影响分析80八、建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果108九、相关原则符合性分析108十、结论与建议122一、建设项目基本情况表项目名称深紫外UVC芯片项目建设单位至芯半导体（杭州）有限公司法人代表联系人通讯地址浙江省杭州市钱塘新区智造谷联系电话传真/邮编311200建设地点浙江省杭州市钱塘新区智造谷立项部门钱

2、塘新区行政审批局项目代码2020-330155-39-03-152731建设性质新建。改扩建口迁建Zl嚼鬻其他电子元件制造（C3989）总建筑面积（平方米）13513.91/总投资（万元）11000其中环保投资（万220元）环保投资占总投资比例2%评价经费（万元）/预期投产日期2020年12月1.1 工程内容及规模：1.1.1 项目由来至芯半导体（杭州）有限公司注册成立于2020年6月，经营范围包括一般项目：电子元器件制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。公司拟投资IlOOo万元，在杭州市钱塘新区智造谷租用厂房作为生产场所，购置金属有机化合物化学气相沉淀系统（MOCV

3、D）、清洗槽、光刻机系统、干法刻蚀系统（ICP）、电子枪蒸镀系统、等离子气相沉积系统（PECVD）和测试仪器等生产设备通过酸洗、真空镀膜、光刻、刻蚀、去胶、切割、研磨、测试等工艺，进行UVC芯片约3亿颗生产能力的生产。项目达产后年产值约3亿元，年纳税约3000万元人民币。公司于2020年7月31日取得钱塘新区行政审批局对项目的备案（项目代码：2020-330155-39-03-152731）0根据中华人民共和国环境保护法、环境影响评价法及国务院第682号令建设项目环境保护条例，新建、迁建和技改等建设项目必须进行环境影响评价，以便从环保角度论证项目的可行性。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（

4、原环境保护部令第44号及生态环境部令第1号），项目属于“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业”中“83、电子元件及电子专用材料制造”，属于该小类中“印刷电路板；电子专用材料；有分割、焊接、酸洗或有机溶剂清洗工艺的“，应编制环境影响报告表，故该项目编制环境影响报告表。至芯半导体（杭州）有限公司委托浙江省环境科技有限公司承担深紫外UVC芯片项目的环境影响评价工作。接受委托后，我单位通过资料收集、现场踏勘后对项目建成后可能产生的环境问题进行了全面分析和预测，并提出了具有针对性和可操作性的污染防治对策和建议，在此基础上，编制了本项目环境影响报告表。1.1.2编制依据1、国家法律、法规（1）中华人民

5、共和国环境保护法（中华人民共和国主席令2014年第9号，2015年1月1日起施行）；（2）中华人民共和国环境影响评价法（第十三届全国人民代表大会常务委员会第七次会议第二次修正，2018年12月29日起施行）；（3）中华人民共和国水污染防治法（第十二届全国人民代表大会常务委员会第二十八次会议第二次修正，2018年1月1日起施行）；（4）中华人民共和国大气污染防治法（第十三届全国人民代表大会常务委员会第六次会议第二次修正，2018年10月2日6日起施行）；（5）中华人民共和国环境噪声污染防治法（第十三届全国人民代表大会常务委员会第七次会议修正，2018年12月29起施行）；（6）中华人民共和国土壤

6、污染防治法（2018年8月31日第十三届全国人民代表大会常务委员会第五次会议通过，2019年1月1日起施行）（7）中华人民共和国固体废物污染环境防治法（中华人民共和国主席令第四十三号，2020年9月1日起施行）；（8）中华人民共和国清洁生产促进法（第九届全国人民代表大会常务委员会第二十五次会议修正，2012年2月29日）（2018年4月28日生态环境部令第1号修改并实施）；（9）建设项目环境保护管理条例（中华人民共和国国务院令第682号，2017年10月1日起施行）；（10）建设项目环境影响评价分类管理名录（环境保护部令第44号，2018.4.28起施行）及关于修改建设项目环境影响评价分类管理

7、名录部分内容的决定（生态环境部令第1号，2018年4月28日起施行）；（三）产业结构调整指导目录（2019年本）（中华人民共和国国家发展和改革委员会令第29号，2020年1月1日起施行）；（12）国务院关于印发水污染防治行动计划的通知（国发201517号，2015年4月2日起施行）；（13）国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知（国发201631号，2016年5月28日起施行）；（14）国家危险废物名录（环保部令39号，2016年8月1起施行）；（15）关于印发重点行业挥发性有机物综合治理方案的通知（环大气201953号，2019年6月26日起施行）；（16）关于印发“十三五”挥发性有机物污

8、染防治工作方案的通知（环大气2017号，2017年9月14日起施行）；（17）国务院关于印发打赢蓝天保卫战三年行动计划的通知（国发201822号，2018年6月27日起施行）；（18）关于印发2020年挥发性有机物治理攻坚方案的通知（环大气202033号，2020年6月23日起施行）。2、相关地方法律法规及有关文件（1）浙江省建设项目环境保护管理办法（浙江省人民政府令第364号令）；（2）浙江省水功能区、水环境功能区划分方案，浙江省人民政府（2015年）；（3）浙江省人大常委会浙江省固体废物污染环境防治条例（2017年第二次修正）；（4）浙江省人大常委会浙江省水污染防治条例（2017年修正本）

9、；（5）浙江省环境空气质量功能区划分，浙江省人民政府（1998年10月）；（6）关于做好挥发性有机物总量控制工作的通知（浙环发201729号）；（7）省发展改革委、省环保厅关于印发浙江省大气污染防治“十三五”规划的通知（浙发改规划（2017）250号）；（8）关于印发浙江省建设项目主要污染物总量准入审核办法（试行）的通知(浙环发201210号)；(9)浙江省生态环境厅关于进一步加强工业固体废物环境管理的通知(浙环发20192号)；(10)关于印发浙江省2020年细颗粒和臭氧“双控双减”实施方案的函，浙大气办20202号,2020年4月23B；（三）关于印发浙江省挥发性有机物深化治理与减排工作方

10、案(2017-2020年)的通知(浙环发201741号)；(12)浙江省人民政府关于印发浙江省打赢蓝天保卫战三年行动计划的通知(浙政发201835号)；(13)杭州市人民政府关于印发杭州市打赢蓝天保卫战行动计划的通知(杭政函(2018)103号)(14)浙江省生态环境厅关于印发浙江省“三线一单”生态环境分区管控方案的通知，浙环发20207号,2020年5月23日；(15)杭州市生态环境局关于印发杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案的通知，杭环发202056号,2020年8月18日。3、相关产业政策(1)产业结构调整指导目录(2019年本)(中华人民共和国国家发展和改革委员会令第29号)；(2

11、)杭州市产业发展导向目录与空间布局指引(2019),杭州市发改委。4、技术规范(1)建设项目环境影响评价技术导则一总纲(HJ2.1-2016)；(2)环境影响评价技术导则一大气环境(HJ2.2-2018)；(3)环境影响评价技术导则一地表水环境(HJ2.3-2018)；(4)环境影响评价技术导则一声环境(HJ2.4-2009)；(5)建设项目环境风险评价技术导则(HJl69-2018)；(6)环境影响评价技术导则一生态影响(HJl9-2011)；(7)环境影响评价技术导则一地下水环境(HJ6102016)；(8)环境影响评价技术导则一土壤环境(试行)(HJ964-2018)；(9)浙江省建设项

12、目环境影响评价技术要点(2005.4修订版)；（IO）大气污染治理工程技术导则（HJ2000-2010）；（Il）声环境功能区划分技术规范（GB/T15190-2014）；（12）建设项目危险废物环境影响评价指南（环境保护部公告2017年第43号）；（13）排污单位自行监测技术指南总则（HJ819-2017）。1.1.3建设内容（I）项目名称：深紫外UVe芯片项目（2）建设单位：至芯半导体（杭州）有限公司（3）建设地点：浙江省杭州市钱塘新区智造谷（4）建设性质：新建（5）建设规模及内容至芯半导体（杭州）有限公司注册成立于2020年6月，经营范围包括一般项目：电子元器件制造（除依法须经批准的项目

13、外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。公司拟投资UOoO万元，在杭州市钱塘新区智造谷租用厂房作为生产场所，购置金属有机化合物化学气相沉淀系统（MOCVD）、清洗槽、光刻机系统、干法刻蚀系统（ICP）、电子枪蒸镀系统、等离子气相沉积系统（PECVD）和测试仪器等生产设备通过酸洗、真空镀膜、光刻、刻蚀、去胶、切割、研磨、测试等工艺，进行UVC芯片约3亿颗生产能力的生产。项目达产后年产值约3亿元，年纳税约3000万元人民币。公司于2020年7月31日取得钱塘新区行政审批局对项目的备案（项目代码：2020-330155-39-03-152731）。本项目实施后企业产品方案详见表Mo表Ll项目生产规模一

14、览表序号产品名称设计生产能力1深紫外UVC芯片3亿颗（5）总平面布置情况项目位于浙江省杭州市钱塘新区智造谷，利用租用的厂房进行生产，具体地理位置见附图一。本项目租用园区的4#厂房的1、2层作为生产厂房，其中外延车间、芯片车间（含芯片清洗间、光刻间、镀膜、沉积间、研磨间、切割间）位于4#厂房的1层；成品测试间和封装车间位于4#厂房的2层。氮气站和污水处理站位于4#厂房的东侧；危险化学品仓库位于园区西南角。具体园区总平面图和车间平面布置图见附图三。I楼N楼*IttwS了楼Met图1-1项目厂区厂房布置简图表12项目厂房功能布局及可能产生的环境问题一览表序号类别主要功能可能产生的环境问题1生产车间外

15、延车间、芯片车间（含芯片清洗间、光刻间、镀膜、沉积间、研磨间、切割间）位于4#厂房的1层，主要包括酸洗、镀膜、光刻、刻蚀、清洗、去胶、退火、研磨和切割等工序；成品测试间和封装车间位于4#厂房的2层，主要包括测试、分选和包装工序。酸性废气、碱性废气、有机废气、生产废水、一般固废、危险固废2仓库氮气（外购）站和污水处理站位于园区的东南侧；危险化学品仓库位于园区西南角，面积约105m2,固体废物3公用供水采用市政供水，项目总用水量约为34370m3a/工程纯水制备系统采用活性炭过滤+二级反渗透+紫外线杀菌装置制备纯水，设计处理能力为IOm3/h。排水采用雨、污分流系统，生活污水经厂区化粪池处理后、生

16、产废水经厂区污水处理站处理后排入市政污水管网，送临江污水处理厂统一处理。/常温冷却水系统冷却用水循环使用，定期补充，定期外排，排放量约为8mVdo/工艺设备冷却水系统冷却用水循环使用，不外排，定期补充。/供电由市政电网提供/4环保工程废气治理酸性废气：共设置一套处理设备，干法刻蚀废气经湿法尾气处理器处理后和其他酸性废气一起经酸碱废气处理系统处理后由35m高排气筒(1#)排放;工艺尾气：其中外延和沉积废气共设置一套处理设备，废气收集后经燃烧系统+酸碱废气处理系统处理后由35m高排气筒(1#)排放；有机废气：共设置一套处理设备，废气收集后经碱性废气处理系统+碳纤维净化系统处理后由35m高排气筒(2

17、#)排放。/废水处理生产废水经自建污水处理站(含氟废水处理系统/有机废水处理系统一酸碱废水处理系统)处理后，纳管排放；污水处理站位于园区南侧；生活污水经化粪池预处理后，纳管排放。/固废设置危险废物暂存间1间，位于园区西南角危险化学品仓库内。/1.1.4主要设备及原辅材料消耗项目实施后主要设备清单见表l-30表13项目实施后生产设备清单车间车间分区设备名称数量备注外延车间外延生产间MOCVD12外延测试室X-射线衍射仪1/PL测试仪1/金相显微镜21台含微分干涉，一台不含EL测试仪1ZN2柜12/技术夹道N2纯化器2/NH3纯化器2/H2纯化器2/露点仪4/手持H2探测器1/尾气处理器4/气柜6

18、用于Si114,HCl,Forming焙烤间Bake炉2/吹扫台2/紧急冲淋洗眼器1/外延清洗间储物柜4/外延烤箱2/清洗通风柜1/化学槽（酸）2设备外形尺寸：2500W1500D2000H化学槽（有机）1设备外形尺寸：2500W1500D2000H芯片清洗间化学槽（去光阻）1设备外形尺寸：2500W1500D2000H金相显微镜1/甩干机2/光刻胶去灰机（Asher）1/化学槽（显影）1设备外形尺寸：2500W1500D2000H自动匀胶机2/去胶机2光刻间甩干机2/光刻机系统2/Stepper1/芯片车间200度烤箱1/金相显微镜1/热板2/电子枪蒸镀系统3/磁控溅射镀膜设备sputter

19、金锡合金溅射1/高温退火炉2/泵5/干法刻蚀系统（ICP）2/镀膜、沉积Chiller4/间等离子气相沉积系统（PECVD）2/合金炉1/气瓶柜4/薄膜测试仪（F20）1/ITO光谱仪1/ITO表面电阻测试仪1/洁净度,温湿度测试仪1/台阶仪1/研磨间化学槽（去蜡）1设备外形尺寸：2000W15(X)D20(X)H外延片上蜡机2/外延片研磨机2/外延片抛光机2/精抛机1/卸片加热台（含热板）1/切割间激光划片机6/裂片机6/膜扩张机1/倒膜机1/贴片机1/成品测试间芯片点测台18/芯片分类机20/厚片抽测机2/贴膜机2/ESD测试机2放在点测台里芯片计数器1/目检显微镜10/自动目检仪1/封装

20、车间封装车间全自动银浆固晶机1/打胶机1/显微镜1/可编程LED测试电源(ProgrammablETEST)1/积分球2/点焊机用旋片真空泵1/WY精密数显直流稳压电源(DlGlTALCC&CVDCPOWERSUPPLY)1/电热恒温鼓风干燥箱1/全自动紫外分光分色机3/全自动紫外编带机2/大功率LED加速老化试验仪I（LEDAGINGTESTER）1/大功率LED加速老化试验仪2（LED1/AGINGTESTER)高精度快速光谱辐射计1/202无泡搅拌机1/真空脱泡机1/氮气干燥柜1/LED加速老化试验仪1/照度计(IntenSityMeter)1/激光划片机1/回流焊1/燃烧系统1/环保设

21、施酸碱废气处理设施酸碱废气处理系统1/湿法尾气处理器1/有机废气处理设施一级酸液喷淋+干燥系统+碳纤维吸附1/废气处理风机5/其他辅助设备空压机2/冷水机组2/冷冻水泵2/冷却水泵2/冷却塔2/排水泵4/加药水泵3/本项目实施后原辅材料消耗见表l-4o表14项目实施后原辅材料清单序号名称规格单位年消耗量备注1衬底0.2PSSkg/a166.72三甲基锢30()EPipurekg/a0.02-3三甲基钱2500Adductkg/a5.25-4三乙基钱1(X)()Adductkg/a2.0-5三甲基铝100LOWoxygenkg/a7.5-6二茂镁I(X)Adductkg/a0.05-7氢气一m3

22、a1200099%8氮气-m3a6(X)099.99%9氨气-kg/a270099%1()SiHVH2混合气.kg/a0.5-11硫酸-kg/a41696%12盐酸-kg/a36737%13氧化钢kg/a0.7414光刻胶-kg/a501酚醛树脂90%丙二爵甲醛醋酸酯10%15显影液-kg/a5386四甲基氢氧化镀6%水94%16硝酸-kg/a36870%17氯气-kg/a0.12-18超纯Ar-m3a2()-19三氯化硼-kg/a0.05-20丙酮kg/a108698%21钛-kg/a0.13-22-kg/a0.1523铝-kg/a0.55-24铭一kg/a0.55-25-kg/a0.36-

23、26金kg/a8.1227蜡-kg/a150-28蓝膜-kg/a1000-29氧化亚氮-kg/a0.053()硅烷混合气kg/a0.0431BOE刻蚀液-kg/a10146：132金刚石研磨液kg/a55433水吨34370-34电1500万度-主要原辅材料理化性质：表15项目主要原辅材料理化性质表名称分子式理化特性燃烧爆炸性毒性毒理垓HCI无色或微黄色发烟液体，有刺鼻的酸味，分子量：36.46,蒸气压：30.66kpa,（21oC），熔点：-114.8C/纯沸点：108.6C/20%,与水混融，溶于碱液，相对密度（水=I）L20；相对密度（空气=1）1.26,重要的无机化工原料，广泛用于染料

24、、医药、食品、印染、皮革、冶金等行业能与一些活性金属粉末发生反应，放出氨气。遇毓化物能产生剧毒的就化氢气体。与碱发生中合反应，并放出大量的热。具有强腐蚀性。急性毒性：LD5o900mgkg（兔经口）；LC503I24ppm,1小时（大鼠吸入）硫酸H2SO4纯品为无色透明油状液与易燃物和有机物属中等毒性：LDso8Omgkg（大鼠经体，无臭，蒸汽压0.13kPa（145.8）,熔点10.5,沸点：330.0C,与水混溶，相对密度（水=1）1.83；（空气=1）3.4,主要用于生产化学肥料，在化工、医药、塑料、染料、石油提炼等工业也有广泛的应用接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。能与一些活性金属粉末

25、发生反应，放出氢气。遇水大量放热，可发生沸溅。具有强腐蚀性。口）；LC5o5IOmgZrn3,2小时（大鼠吸入）；320mgm3,2小时（小鼠吸入）氨NH3无色有刺激性恶臭的气体，蒸汽压：506.62kPa（4.7C）,熔点-IlTC,沸点：-33.5C,易溶于水、乙醇、乙醴，相对密度（水=l）0.82（-79C）;相对密度（空气=1）0.6,主要用作致冷剂及制取钱盐和氮肥。与空气混合能形成爆炸性混合物。遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。急性毒性：LDsu350mgkg（大鼠经口）；LC5ol39Omgm3,4小时，（大

26、鼠吸入）。刺激性：家兔经眼：100ppm,重度刺激。亚急性慢性毒性：大鼠，20mgm3,24小时/天，84天,或56小时/天，7个月，出现神经系统功能紊乱，血胆碱酯酶活性抑制等。硝酸HNO3纯品为无色透明发烟液体，有酸味，分子量：63.01,蒸气压：4.4kPa（20C）,熔点：-42C/无水沸点：86C无水，与水混溶，相对密度（水=l）1.50（无水）；相对密度（空气=1）2.17,用途极广,主要用于化肥、染料、国防、炸药、冶金、医药等工业毒性：属高毒类。硝酸盐的工业污染来自肥料生产、有机合成、炸药等工具有强氧化性。与易业污水。水体中氮的浓度为0.3mgL燃物（如苯）和有机时会明显促进和加速

27、浮游植物（主要物（如糖、纤维素等）是藻类）的增殖生长。它一方面消耗接触会发生剧烈反水中大量溶解氯，使水生生物呼吸困应，甚至引起燃烧。难，造成鱼类和其他水生生物因缺氧与碱金属能发生剧而死亡，水质变得黑臭；另一方面，烈反应。具有强腐蚀浮游植物毒素积蓄到临界浓度，也会性。对人体产生危害。在硅、磷及微量元燃烧（分解）产物：氧素的联合作用下，水体的“富营养化化氮。现象更甚，可发生“水华”或“赤潮现象。对人、畜饮水、水产养殖、食品生产等方面元气会带来严重问题。，氯气Ch黄绿色有刺激性气味的气体,分子量：70.91,蒸气压：506.62kPa（10.30C）,熔点：-IOlC、沸点：-34.5,相对密度（水

28、=1）1.47；相对密度（空气=1）2.48,用于漂白，制造氯化合物、盐酸、聚氯乙烯等本品不会燃烧，但可毒性：属高毒类。是一种强烈的刺激助燃。一般可燃物大性气体。急性毒性：LC5o85Omgm3,都能在氯气中燃烧，1小时（大鼠吸入）亚急性和慢性毒一般易燃气体或蒸性：家兔吸入25mgm3,5小时/气也都能与氯气形天，19个月，出现消瘦、上呼吸成爆炸性混合物。氯道炎、肺炎、胸膜炎及肺气肿等。大气能与许多化学品鼠吸入4197mgm3,2小时/天，3如乙块、松节油、乙4周，引起严重但非致死性的肺气肿酸、氨、燃料气、H与气管病变。致突变性：细胞遗传类、氨气、金属粉末学分析：人淋巴细胞20ppr11o精子

29、形等猛烈反应发生爆态学分析：小鼠经口20mgkg（5天），炸或生成爆炸性物连续。质。它几乎对金属和非金属都有腐蚀作用。丙酮CH6O、CH3COCHj无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发，熔点：-94.6C沸点：56,5C,蒸气压：53.32kPa39.5C,闪点：-20C,与水混溶，可.混溶于乙醇、乙醛、氯仿、油类、煌类等多数有机溶剂，相对密度（水=1）0.80；相对密度（空气=1）2.00,基本的有机原料和低沸点溶剂，毒性：属低毒类。急性毒性：其蒸气与空气可形LD5o5800mgkg（大鼠经口）；成爆炸性混合物。遇20000mgkg（兔经皮）；人吸入明火、高热极易燃烧1200（）PPmX

30、4小时，最小中毒浓度。爆炸。与氧化剂能发人经口200ml，昏迷，12小时恢复。生强烈反应。其蒸气刺激性：家兔经眼：395（g,重度刺比空气重，能在较低激。家兔经皮开放性刺激试验：处扩散到相当远的395mg,轻度刺激。致突变性：细胞地方，遇明火会引若遗传学分析：拷贝酒酵母菌回燃。若遇高热，容20Ommol/管。对生物降解的影响：器内压增大，有开裂水中含量4gL以上时污泥消化受到和爆炸的危险。抑制。水中含量840mgL时，活性同I泥对氨氮的硝化作用降低75%o1.1.5劳动定员和生产天数本项目劳动定员100人，年生产330天，三班制生产，企业不提供食堂和住宿。1.1.6公用工程（1）给、排水给水：

31、项目用水由当地供水管网统一提供。排水：本项目厂区排水采用雨污分流制。雨水排入雨水管网；本项目排放的废水主要为员工生活污水和生产废水。生活污水经化粪池预处理、生产废水经厂区污水处理设施预处理达到污水综合排放标准（GB8978-1996）中三级标准其中氨氮、总磷执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）中相关标准纳入城镇污水管网，最终杭州临江污水处理厂处理进行处理，达到城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级A标准后排放。（2）供电：本项目供电由当地供电网供给。1.2与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：本项目在浙江省杭州市钱塘新区智造谷新建厂房

32、进行年产UVC芯片约3亿颗的生产能力的生产。项目所租用厂房系首次出租，项目所在地历史上主要为农田和闲置空地，无工业企业存在，因此不存在和本项目有关的原有污染情况及主要环境问题。二、建设项目所在地自然环境及相关规划情况2.1 自然环境简况（地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等）2.1.1 地理位置钱塘新区地处长三角南翼地理中心、杭州都市区东部门户。地理坐标为东经1200422”12043,46,北纬295054,-30o2347”。总面积1420.22平方公里。全境东西宽约57.2公里，南北长约59.4公里。具体四至范围为：东、北以钱塘江界线为界，南至红十五线、十二城横河及与绍

33、兴县接壤的北侧河道，西南与杭州空港经济开发区交界，西至东湖路，西北与余杭区、海宁市交界。本项目位于杭州钱塘新区智造谷，属原大江东产业集聚区区域，处于环杭州湾“V”字型产业带的拐点，是环杭州湾战略要地和杭州城市发展的战略地带。根据现状调查，项目东侧为道路，隔路为杭州中欣晶圆半导体股份有限公司；南侧为园区空置厂区；西侧为园区空置厂区；北侧为园区空置厂区。项目所在地周边情况见表2-1,项目周边概况见图2-1。项目地理位置图见附图U西I北图21项目所在地周边情况图表2,项目所在地周边情况表序号方位距厂界距离名称1E35m道路70m杭州中欣晶圆半导体股份有限公司2S2()m园区空置厂区3W30m园区空置

34、厂区4N30m园区空置厂区2.1.2 地形、地貌、地质本项目地处浙东低山丘陵区北部，浙北平原区南部。地势南高北低，自西南向东北倾斜，中部略呈低洼。地貌分区特征较为明显：南部为低山丘陵地区，间有小块河谷平原；中部和北部为平原，中部间有丘陵。全区平原约占66%,山地占17%,水面占17%o平原约909平方公里，按成因可分陆相沉积平原和海相沉积平原两类，以海相沉积平原为主。山地约259平方公里，有低山、高丘、低丘、陆屿等，海拔最高744米，最低10米。山体基本呈西南-东北方向展布，为龙门山、会稽山、天目山的分支和余脉，分别从西南部、南部、西北部入境。根据历史地震和近期地震资料，萧山属长江中下游IV等

35、地震区的上海一上饶地震附带，上海杭州4.755.25地震危险区的一部分。从发震记录看，该地区是一个相对稳定区。参照钱江热电厂1997年4月的工程勘探所揭露的地层资料，场地地基土自上而下可分为8个工程地质层，其中：层耕土层，大部分为耕土，土质松散，含多量植物根系，厚0.4-0.6m层粉质粘土，灰黄色，饱和、松散，为层状构造，含多量云母屑，厚1.02.0m层砂质粉土，青灰色，饱和、松散一稍密，为层状构造，含多量云母屑，厚2J-5.9m层粉质粘土，灰色，饱和、松散，为层状构造，含多量云母屑，厚2.1-4.4m.层粉砂土，灰黄绿色，饱和、中密、局部密实，层状构造明显，含云母屑，夹薄层细砂，厚6.4-8

36、.7m。层粉砂士,灰色，饱和、稍密，层状构造明显，含云母屑，含云母屑。层粉质粘土与粉土互层，灰色，饱和、疏松，薄层状构造清晰，厚度揭穿为9.3-10.Im0层淤泥质粉质粘土,深灰色，饱和、软塑，土质较细腻，未揭穿。场地浅部土层富有孔隙潜水、地下水受气候降水影响较大，地下水位埋藏一般在地面下L52.0m,地下水为轻微咸水，对一般无侵蚀性。1.1.3 气候特征钱塘新区处于北亚热带南缘季风气候区，气候四季分明，气候温和，光热较优，湿润多雨。气温：年平均气温20,最冷月1月，平均气温3.7C,最热月7月，平均气温28.6,极端最低气温零下15。C(1977年1月5日)，小于零下I(TC的年份为15年一

37、遇，极端最高气39(1992年7月30日)。降水量和蒸发量：年平均降水总量1360.7mm,一日最大降水量为160.3mm,1小时最大降水量为60.3mm,年平均蒸发总量为1278mm。风向及风速：常年主导风向为SW,春季多东南风，夏季盛行偏南风，秋季常受台风边缘影响，冬季以西北风为主，年平均风速为1.78mso日照和太阳辐射：日照时数年平均为2071.8小时，年日照面积率为48%,各月日照时数以7月最多，达266小时，2月最少，仅117.1小时。太阳辐射能为110.0千卡/平方厘米，太阳辐射能最多的7月为14.5千卡/平方厘米，12月最少为5.8千卡/平方厘米。萧山气象局近二十年气象要素统计

38、资料见表22。表2-2萧山气象局近二十年气象要素统计表平均气压(hpa)1011.8平均气温CC)2()相对湿度()81降水量(mm)1437.9蒸发量(mm)1195.0日照时数(h)1870.3日照率()42降水Fl数(d)156.2雷暴日数(d)34.9大风日数(d)2.8各级降水日数(d)/0.lr10.0109.810.0r25.030.825.0r50.03.21.1.4 水文条件钱塘江自西南流向东北，多年平均径流总量267亿nP。径流年际变化很大，最大年径流量425亿?,最小年径流量为IOl亿nP。钱塘江潮流为往复流，涨潮历时短，落潮历时长，涨潮流速大于落潮流速。平均高潮位为4.

39、12m,平均低潮位2.57m。百年一遇洪水位为8.48m。区内地下有松散岩类孔隙潜水和孔隙承压水，后者为区内主要含水层，厚度10.633.9m,静止水位埋深5.529.97m,钻孔涌水量91.8-1650.8m3d,水量中等至丰富，水质较差，属微咸水。不宜作为生活饮用水源，地下水对混凝土无腐蚀作用。2.2 社会环境简况2.2.1 钱塘新区社会环境概况（1）区域范围杭州钱塘新区规划控制总面积531.7平方公里，空间范围包括杭州大江东产业集聚区和现杭州经济技术开发区，托管管理范围包括江干区的下沙、白杨2个街道，萧山区的河庄、义蓬、新湾、临江、前进5个街道，以及杭州大江东产业集聚区规划控制范围内的其

40、他区域（不含党湾镇所辖接壤区域的行政村）。（2）历史沿革原杭州大江东产业集聚区下有三个园区，其中江东工业园区从2001年开始筹建，前进工业园区从2002年开始筹建，临江工业园区从2003年开始筹建，2006年三个园区经批复正式成立。2009年市委市政府作出加快大江东区域一体化发展的战略部署，大江东“撤镇设街”，采取“城街合一、以城带街”的运行模式，江东新城、临江新城正式挂牌。2010年9月21日省政府下发关于印发浙江省产业集聚区发展总体规划（2011-2020年）的通知（浙政发201045号），杭州大江东产业集聚区正式确立。2011年9月9日杭州大江东产业集聚区管委会经省编委批复设立，2012

41、年10月18日正式挂牌。2013年12月30日，市委市政府发布关于进一步完善杭州大江东产业集聚区管理体制的意见（市委201引17号），提出要坚持以统为主、统分结合，尽早将大江东管理体制调整到位，实现大江东产业集聚区内依法独立行使经济管理权限和社会管理职能，加快推进大江东区域一体化发展”的指导意见，进一步完善了大江东管理体制。2014年8月28日，市委市政府召开大江东产业集聚区体制调整大会，并下发关于印发大江东产业集聚区体制调整实施方案的通知（市委发201445）号，明确大江东党工委、管委会是市委、市政府的派出机构，在大江东区域贯彻执行省市党委、政府的重要决策和工作部署，对大江东区域统一履行经济、社会、文化、生态文明建设和党的建设各项管理职能。2019年4月4日，浙江省人民政府正式批复设立钱塘新区，囊括杭州大江东产业集聚区和杭州经济技术开发区。2019年4月18日，市委、市