第31章压力检测方法及仪表60页.ppt
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1、化工仪表及自动化,第三章,检测仪表及传感器,20:23:24,昆明理工大学,知识结构,第5章 自动控制仪表,第6章 执行器,第2章 过程特性,第3章 检测仪表与传感器,第4章 显示仪表,第1章自动控制系统基本概念,第7章 简单控制系统,第8章 复杂控制系统,第9章 新型控制系统,第10章 计算机控制系统,20:23:24,昆明理工大学,压力检测方法及仪表,本章内容,物位检测方法及仪表,流量检测方法及仪表,温度检测方法及仪表,数字式显示记录仪表,20:23:24,昆明理工大学,第二节 压力检测方法及仪表,第三章 检测仪表与传感器,20:23:24,昆明理工大学,压力检测方法,液柱测压法弹性变形法
2、电测压力法,压力检测仪表,弹簧管压力表霍尔式压力表差压(压力)变送器,力平衡式压力变送器微位移式变送器智能差压(压力)变送器,主要内容,20:23:24,昆明理工大学,压力的基本概念,垂直而均匀地作用在单位面积上的力,式中压力(Pa)均匀垂直作用力(N)受力面积(m2),1Pa=1*10-3KPa=1*10-6MPa,单位:牛顿/米2(N/m2),简称“帕”,用符号“Pa”,20:23:24,昆明理工大学,压力的几种表示形式,被测压力通常可表示为绝对压力、表压、负压(或真空度),20:23:24,昆明理工大学,液柱测压法,根据流体静力学原理,将被测压力转换成液柱高度进行测量,常用的压力表有U形
3、管压力表、单管压力表、斜管压力表和活塞式压力表等。,测量原理,20:23:24,昆明理工大学,弹性变形法,将被测压力转换成弹性元件变形的位移,测量原理,20:23:24,昆明理工大学,当弹性元件在轴向受到外力作用 时,就会产生拉伸或压缩位移,即,式中 F轴向外力 S位移 C弹性元件的刚度系数,式中 A弹性元件承受压力的有效面积 P被测压力,测量原理,20:23:24,昆明理工大学,弹性元件结构和特点,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性元件弹性形变I/O广义的力广义的位移常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20
4、:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件220V供电动态性能,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,常用的弹性敏感元件,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特
5、性,弹性敏感元件的一般特性柔度(灵敏度)刚度刚度与测量,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性弹性滞后迟滞 迟滞误差,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性弹性后效,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性弹性后效,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性弹性后效与蠕变,20:23:24,昆明理工大学,弹性敏感元件的一般特性,弹性敏感元件的一般特性弹性材料的机械
6、品质因素,20:23:24,昆明理工大学,弹簧管压力表,20:23:24,昆明理工大学,电测压力法,利用转换元件(如某些机械和电气元件)直接把被测压力变换为电信号来进行测量的。,测量原理,1.弹性元件附加一些变换装置,使弹性元件自由端的位移量转换成相应的电信号,如电阻式、电感式、电容式、霍尔片式、应变式、振弦式等;,2.非弹性元件组成的快速测压元件,主要利用某些物体的某一物理性质与压力有关,如压电式、压阻式、压磁式等。,20:23:24,昆明理工大学,电测压力法,电容式测压原理,采用变电容原理,利用弹性元件受压变形来改变可变电容器的电容量,然后通过测量电容量C便可以知道被测压力的大小,从而实现
7、压力-电容转换的,测量原理,20:23:24,昆明理工大学,电容式压力传感器,典型的电容式压力传感器硅微机械电容式压力传感器(MEMS),20:23:24,昆明理工大学,典型电容式压力传感器,-基于圆膜片的位移特性,20:23:24,昆明理工大学,电容式压力传感器原理,20:23:24,昆明理工大学,电容式压力传感器设计,圆平膜片几何结构参数的设计圆平膜片的半径与厚度圆平膜片的边界隔离部分固定极板的设计输出电路,20:23:24,昆明理工大学,电容式压力传感器输出电路,差动电桥的实现非线性特性的影响,20:23:24,昆明理工大学,硅微机械电容式压力传感器(MEMS),敏感结构与工作原理,-基
8、于方膜片的位移特性,20:23:24,昆明理工大学,方膜片的位移特性,20:23:24,昆明理工大学,方膜片的位移特性(上表面),20:23:24,昆明理工大学,电测压力法,压电式测压原理,根据“压电效应”把被测压力变换为电信号的。,(a)单晶体,(b)剖面图,(c)X截割的石英片,20:23:24,昆明理工大学,电测压力法,应变片式测压原理,1敏感栅 2基片 3粘合剂 4引线 5覆盖片,敏感栅 直径为0.025mm左右的合金电阻丝基 底 绝缘覆盖层 保护,组成,20:23:24,昆明理工大学,压力检测仪表,霍尔式压力表,霍尔式压力表属于电气式压力表。测压原理:利用霍尔片式传感器(根据半导体材
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- 31 压力 检测 方法 仪表 60
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