电阻应变式传感器4-64学时.ppt
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1、1,传感器原理64学时,北京化工大学信息科学与技术学院测控系,第 2 章电阻应变式传感器4学时,2,第一节 电阻应变片的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型第二节 电阻应变计的主要特性 1、静态特性 2、动态特性 3、应变计主要特性的精度指标第三节 电阻应变计的温度效应及其补偿 1、温度效应及热输出 2、温度补偿的方法,电阻应变,第2章 电阻应变式传感器,传感器原理64,3,电阻应变,第四节 电阻应变计的选用 1、选择类型 2、材料选择 3、阻值选择 4、尺寸选择 5、其它第五节 测量电路 1、直流电桥 2、交流电桥第六节 电阻应变式传感器 1、应变式力传感器
2、2、应变式压力传感器,传感器原理64,4,在传感器中,有一大类是通过(材料的)电阻参数变化来实现非电量电测。它们统称为电阻应变式传感器。,第2章 电阻应变式传感器,电阻应变(计)式传感器其它电阻式传感器本章不讨论,应变计式、电位计式、压阻式、光电式和热电阻式等。,各种电阻材料,受被测量(如:位移、应变、压力、光、热等)的作用,将产生电阻参数的变化。即将测量量转换成电阻参数。,电阻式传感器的基本原理,本章主要讨论:,电阻式传感器有:,5,第一节 电阻应变计的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应(1)金属材料的应变电阻效应(2)半导体材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型(1)应变片的
3、结构(2)应变片的类型,6,应力(stress)固体内部应力,在连续体内部截面的一侧施于另一侧表面上单位面积的作用力。,设被截分开的两侧中某一侧表面在 P 点处的外法线方向为 N,包含P 在内的面积为S 的部分表面上所受到的合力为 FN。P 点处相应于法线方向N的应力矢量 PN 为:,在一般情形中,PN 的方向与微元平面的法线方向有不同的应力矢量。,正应力:应力矢量沿它所作用的微元平面的法向投影称为法向应力或正应力。,在连续体上施加作用力,则连续体内的每一个质点都受到应力的作用。,7,应变(strain),连续体在体内应力作用下发生的形状和大小的相对变化。,三种最简单的应变,即物体内任一点处,
4、在应力作用下(应力作用方向为长度方向),单位长度的变化(增加或减少)量;线应变又称为相对伸长。,即物体内任一点处,在应力作用下,单位体积的体积变化(增加或减少)量。,即物体内任一点处,在应力作用下,两互相垂直方向的角度减小量;角应变又称为切应变或剪切应变。,、线应变,、体应变,、角应变,8,分别是在P点处的与 x,y,z 轴平行的微元线段的线应变,分别是过P点并与 y 轴与 z 轴,z 轴与 x 轴,x 轴与y 轴平行的微元线段构成的直角的角应变,是含有P点的微元体积的体应变,若以(x,y,z)表示形变前物体中一点P 的坐标,以(u,v,w)表示由于物体的微小变形而使该点产生的应变(位移)(u
5、,v,w是 x,y,z 的函数),线应变,角应变,体应变,9,例:,长为 l 的均质细棒两端横截面上受均匀分布的拉力 F 而伸长l,则沿棒身的线应变是l/l。,线应变,线应变应力的作用特点是:在同一直线上,大小相等方向相反或相对的两个作用力的作用。,均质细棒,10,例:,在长方体两个侧面(上、下)施加(向内的)力F。长方体一个侧面有从上到下、从大到小的应力分布,另一侧面有从上到下从小到大的应力分布。,角应变,长方体互相平行的两侧面受与侧面相切且均匀分布于侧面的反向力作用而形变为平行六面体(见图),则物体中与力所作用方向垂直的每一直线都转过了某一角度,角就是物体中每一点处与作用力平行和垂直两线段
6、的角应变。角应变力的作用比较复杂。,2012年9月26日第3讲 3学时,11,第一节 电阻应变计的基本工作原理,1、导电材料的应变电阻效应,1856年,英国物理学家发现金属丝的电阻随它所受机械变形(拉伸或压缩)的大小发生变化,即金属丝电阻的应变效应。,设:有一段导体(如金属丝)长为 l截面积为 A电阻率为它的电阻为:,式中:R 电阻()电阻率(mm2m-1)l 导体的长度(m)r 导体截面的半径(m)A 导体的截面积r2(m2),(式2-1),12,当它受到轴向力F 拉伸(或压缩)时,其A、l、均发生变化,导体的电阻也随之发生变化。,当它受到轴向力F 拉伸时其l 长度变长r 截面积半径变小A
7、截面积变小发生变化导体的电阻也随之发生变化,13,取小一段导体,当其受拉力F作用时长度 l 伸长 dl截面积 A 相应减少 dA电阻率 因金属晶格畸变的影响也将改变 d从而引起导体电阻改变 dR其电阻的相对变化dR/R为:,(式2-2),将(式2-1)微分可得:,用 R 除(式2-2)左式用l/A 除(式2-2)右式得:,(式2-3),14,(式2-3)中:dR/R 金属丝电阻的相对变化d/金属丝电阻率的相对变化dA/A 金属丝截面积的相对变化dl/l 金属丝长度的相对变化(线应变)金属丝长度的相对变化用x 表示,即dl/l=x称为金属丝长度方向的线应变,简称轴向应变。应变常用单位(1=10-
8、6 mm/mm),dr/r=y 金属丝截面积上半径的相对变化 用y表示,称为金属丝截面积上径向线应变,简称径向应变,因为A=r2,dA=2rdr,(式2-4),金属丝轴向应变x 和径向应变y,金属丝截面积的相对变化dA/A与径向应变y 的关系,15,由材料力学知道,在金属丝弹性范围内,沿其长度方向拉伸时,金属丝沿轴向伸长,沿径向缩短,反之亦然;轴向应变x 与径向应变y 两者之间存在下列关系:,(式2-5),式中:金属材料的泊松系数(由试验测取),将(式2-4)、(式2-5)代入(式2-3),经整理得:,(式2-6),令:x=dl/l 金属丝轴向应变 y=dr/r 金属丝径向应变,金属丝的轴向应
9、变x 与径向应变y 的关系(泊松系数),16,对于金属导体和半导体,上式中应变作用下电阻率相对变化的应变效应是不一样的,现分别讨论如下:,勃底特兹明()通过试验研究发现,金属材料的电阻率相对变化d/与其体积相对变化dV/V之间有如下关系:,(式2-7),式中:C 金属材料的某一常数,由其材料和其加工工艺处理方式决定 如:康铜(铜镍合金)C1 V 金属丝体积 dV/V 金属丝体积的相对变化,(1)金属材料电阻率的应变效应,金属材料电阻率的相对变化d/与轴向应变x 的关系,在(应力F)应变作用下,金属导体和半导体电阻率相对变化d/,17,金属丝体积相对变化dV/V与轴向应变x 和径向应变y 有下列
10、的关系:,V=l AdV/V=dA/A+dl/l=2y+x=-2x+x=(1-2)x,A=r2 dA=2rdr dA/A=2dr/r dA/A=2yy=-xdA/A=-2x,可见金属丝体积的相对变化 dV/V 与轴向应变x 成正比关系,18,金属丝电阻率相对变化d/与轴向应变x 有下列的关系:,dV/V=(1-2)x,可见金属丝电阻率的相对变化 d/与轴向应变x 成正比关系,将上述结果代入(式2-7)得:,d/=C dV/V=C(1-2)x,19,将上式代入(式2-6)得金属材料在轴向应变x 的作用下电阻相对变化dR/R为:,(式2-8),式中:Km=(1+2)+C(1-2)金属材料的应变灵敏
11、度系数(简称灵敏系数),上式表明:在应力作用下,金属材料产生应变,其电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是金属材料的应变效应。,金属材料电阻率相对变化d/与轴向应变x 的关系为:,结论:,结论:,20,半导体材料电阻率相对变化d/与轴向应变x 的关系,(式2-9),式中:半导体材料在受力方向的压阻系数 E 半导体材料的弹性模量N/m2(弹性模量定义见后页),(2)半导体材料电阻率的应变效应,半导体材料电阻率相对变化d/与轴向应变x 之间有如下关系:,史密斯()等学者很早就发现,锗、硅等单晶半导体材料具有压阻效应。,21,弹性模量,弹性模量的定义,弹性形变、塑性形变,在外力作用下,物体发生形状(
12、大小)变化(应变),在除去作用在物体的外力时,物体可以恢复原形的称为弹性形变。物体不能恢复原形的称为塑性形变。,单位弹性应变时所需的应力(单位:N/m2)弹性模量反映物体抵抗弹性形变的能力,22,将(式2-9)代入(式2-6)得半导体材料在轴向应变x 作用下电阻相对变化dR/R为:,(式2-10),式中:Ks=1+2+E 半导体材料的应变灵敏度系数,上式表明:在应力作用下,半导体材料产生应变,其电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是半导体材料的应变效应。,结论:,23,对于金属材料,K0=Km=(1+2)+C(1-2),可见它由两部分组成:,金属材料:,综合(式2-8)、(式2-10)可得导电
13、丝材料的应变电阻效应为:,(式2-11),式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数,后部分C(1-2)为电阻率随应变而变的部分 如康铜,C1,C(1-2)0.4,此时K0=Km2.0显然,金属丝材料的应变电阻效应以尺寸变化为主。对于金属,Km=1.84.8。,金属丝的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其金属丝制成又细又长。,前部分(1+2)为受力后金属丝几何尺寸变化所致 一般金属泊松系数0.3,因此(1+2)1.6,24,而且E(1+2),因此半导体丝材料的K0=KsE。显然,半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应。通常Ks=(5080)Km。,对于半导体材料,K0=Ks=
14、(1+2)+E,它也由两部分组成:,半导体材料:,综合(式2-8)、(式2-10)可得导电丝材料的应变电阻效应为:,(式2-11),式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数,后部分(E)为半导体材料的压阻效应所引起,结论:半导体材料的应变灵敏系数比金属材料的应变灵敏系数大5080倍,半导体的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其半导体丝制成较粗较短。,前部分(1+2)为尺寸变化所致,25,2、电阻应变片的结构与类型,(1)应变片的结构,金属丝电阻应变片结构,电阻应变片结构繁多,形式各异,但其基本结构大体相同。见下图。,敏感栅(金属丝):应变片是应变-电阻转换的敏感元件。通常它是
15、直径为0.0150.05mm的金属丝或金属箔腐蚀成栅状,其阻值一般为100以上。,基底(试件):为了保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通过粘合剂将其固定在基底上。应变片工作时,基底感受被测量,并把所测感受的应变量传递给敏感栅。,引线:它起着敏感栅与测量电路之间的连接作用。可以用焊接的方法连接。,盖片:覆盖在敏感栅上的保护层,起到防潮、防尘、防蚀和防机械损伤的作用。,粘合剂:在制作应变片时,用粘合剂将盖片、敏感栅和基底牢固地粘合在一起。,26,常用应变片的结构形式,短接式应变片,27,应变片按敏感栅的材料可分为金属应变片和半导体应变片两大类,见下表:,(2)应变片的类型,28,第二节 电阻应变片
16、的主要特性 1、静态特性(1)灵敏系数 K(2)横向效应和横向效应系数 H(3)机械滞后 Zi(4)蠕变和零漂P0(5)应变极限lim 2、动态特性(1)对正弦波的响应(2)对阶跃应变的响应(3)疲劳寿命N 3、应变计主要特性的精度指标,29,第二节 电阻应变片的主要特性,1、静态特性,本节讨论应变片的特性,其特性是指用以表达应变片工作性能及其特性的参数或曲线。,静态特性是指应变片感受试件不随时间变化或应变缓慢的应变时的输出特性。,表征应变片静态特性的主要参数有:灵敏系数(灵敏度指标)横向效应和横向效应系数 H机械滞后(迟滞指标)蠕变(稳定性指标)零漂应变极限等,30,具有初始电阻值R的(金属
17、)应变丝粘贴于试件表面时,试件受力引起的表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对变化R/R。实验证明,在一定的应变范围内,有下列关系:,(式2-12),式中:x 应变片轴向应变(测量的主应变方向)K=R/(Rx)应变片的灵敏系数(应变片包括:应变栅、基底、粘合剂)它表示在被测试件上的应变片,在其轴向受到单向应力时引起的电阻相对变化(R/R),与此单向应力引起的试件表面轴向应变(x)之比。,(1)灵敏系数 K(标定灵敏系数),31,必须指出,应变片的灵敏系数 K 并不等于其敏感栅(金属丝)的应变丝灵敏系数 K0(Km、Ks),一般情况下,K K0。,上述规定的标定条件是:试件材料取泊松
18、系数0=0.285 的钢试件单向受力应变片轴向与主应力(应变)方向一致,这是因为,应变片在单向力作用下产生双向应变(轴向、横向),应变片的灵敏系数 K 除受到敏感栅结构形状、成型工艺、粘结剂和基底性能的影响外,尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。,应变片的灵敏系数 K 直接关系到应变片的应变测量的精度。因此,K值通常采用从批量生产中抽样,在规定条件下通过实测确定,即应变片的标定;故 K 又称标定灵敏系数。,32,金属应变片的敏感栅通常是呈栅状它由轴向(直段)纵栅和圆弧(拐弯段)横栅两部分组成如下图所示,由于试件承受单向应力时,应变片表面处于平面应变状态中,即轴向(拉伸)应变x 和横向(收缩)应
19、变y此时,应变片感受的轴向应变x 为其测量的主应变,(2)横向效应和横向效应系数 H,纵栅对轴向应变x 敏感,对横向应变y 不敏感横栅对轴向应变x 和横向应变y 均敏感,33,主要在轴向应变x 作用下,纵栅轴向变长、径向变细,电阻变大。,在双向应变,即轴向应变x、横向应变y 的双重作用下,横栅半径变小、圆弧弧长变短(轴向变短)、径向变粗,电阻变小。,纵栅,横栅,(式2-13),纵栅 主要感受轴向应变x(纵栅受拉伸)横栅 感受横向应变y,同时也感受轴向应变x(双向应变作用下横栅受压缩)从而引起应变片总电阻的相对变化为:,34,它表示当y=0时,单位轴向应变x引起的电阻相对变化,纵栅电阻的应变机理
20、前面已经叙述。,横栅电阻的应变机理参考教材23页,这里不讲述。,式中:K=Kx(1-0H)应变片的灵敏系数,它表示当x=0时,单位横向应变y引起的电阻相对变化,双向应变灵敏系数比,称为横向效应系数,双向应变比(应变片横向应变与轴向应变比),实验证明:y/x=-0 0双向应变比系数(为应变片的双向应变比,不是金属丝的轴向应变和径向应变比),Kx 轴向灵敏系数,式中:,Ky 横向灵敏系数,H=Ky/Kx,=y/x,应变片电阻相对变量R/R与应变x 的关系,35,在轴向应变x 和横向应变y 的作用下,横栅所产生应变电阻的增量与纵栅所产生应变电阻的增量方向相反。其原因就是横向应变x 和轴向应变y 对横
21、栅作用的结果。,结论:,在单位应力、双向应变情况下,横向应变所产生的电阻的变化总是起着抵消轴向应变(测量主应变)所产生的电阻的变化作用。,应变片即敏感轴向应变(测量主应变),又同时受横向应变影响,使其灵敏系数及相对电阻比都减少的现象,称为应变片的横向效应。,36,应变片的横向效应是由于本身结构-横栅所产生的,应变片每个横栅(拐弯段)很短,但数量较多,所有横栅的长度占敏感栅总长度的比例较高,因此,横栅的影响不能忽略横栅给应变片的测量带来了一定的误差应设法消除横向效应的影响,应变片横向效应产生的原因,应变片横向效应的危害,横向应变所产生的电阻的变化总是起着抵消轴向应变所产生的电阻的变化作用它减弱了
22、应变片的输出信号,即电阻的相对变化量R/R,37,横向效应系数 H,应变片横向灵敏度系数 Ky 与轴向灵敏度系数 Kx 之比值,称为应变片的横向效应系数 H。,式中:n 纵栅的根数l 纵栅的长度r 横栅的半径 推导过程见教材23-24页,由上式可见横栅半径 r 愈小,纵栅长度 l 愈长,则 H 愈小。即敏感栅之间的距离越窄、基长越长的应变片,其横向效应系数H越小,横向效应引起的误差越小。,采用短接式或直角式横栅,使横栅圆弧半径为零,可以克服横向效应的影响。(不能完全消除,因为横栅依然存在),减小横向效应的办法 短接式、直角式横栅,38,(式2-13)是一般情况下金属丝应变片应变-电阻转换的表达
23、公式。它表明两点:,(式2-14),式中:K=Kx(1-0H),由(式2-14)可见,在单位应力、双向应变情况下,横向应变总是起着抵消轴向应变的作用。应变片即敏感轴向应变,又同时受横向应变影响,使灵敏系数和相对电阻比都减少(该现象称为横向效应)。其横向效应系数 H=Ky/Kx,用百分数来表示,即,(式2-15),在标定条件下,即试件取泊松系数=0.285 的一般材料,被测主应变与应变片轴向一致,若=y/x=-0(应变片双向应变比),则,39,在非标定条件下即:试件取泊松系数 0.285 的一般材料,被测主应变与应变片轴向不一致,由此引起的应变场为任意的x、y 若仍用标定灵敏系数 K 的应变片进
24、行测试,将会产生较大误差;其相对误差为:,若被测单向应力与应变片轴向一致,则=-,则(式2-16)变成,由此可见,要减少横向效应产生的误差,有效的办法是减小H。理论分析和实验表明,对丝绕式应变片,纵栅 l 越长,横栅r 越小,则 H 越小。因此,采用短接式或直角式横栅,可有效地克服横向效应的影响。箔式应变片就是据此设计的。,(式2-16),(式2-17),40,进一步说,它是指粘贴在试件上的应变片,在恒温条件下增(加载)、减(卸载)试件应变的过程中,对应同一机械应变所指示应变量(输出)最大不同(差)值。见下图。,(3)机械滞后 Zi(迟滞),应变片在测量时,加载和卸载过程中的灵敏度系数不一致;
25、即在增加或减少机械应变的过程中,对同一机械应变,应变片的(输出)指示值不同,其差值即为机械滞后。,造成机械滞后的原因是由于敏感栅基底和粘贴剂材料性能,被测量过载、过热,会使应变片产生残余变形,导致应变片输出不重合。,通常在室温条件下,要求机械滞后 Zi 310。实际中,可在测试前通过多次重复预加、卸载,来减少机械滞后产生的误差。,41,应变片在恒温恒载条件下,输入信号恒定时,应变片指示应变值随时间单向变化的特性称为蠕变。如图所示。,试件空载(无输入信号)时,应变片指示应变值仍随时间变化的现象称为零漂。如图所示。,蠕变反映了应变片在长时间工作中对时间的稳定性;通常要求 315。,(4)蠕变 和零
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