各工序操作动作规范.ppt
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1、贴膜湿板,贴膜放板,要求:1.来料检查:氧化、板面污染、胶渍等不良品不允许贴膜。2.贴膜需配戴手指套,双手对角拿板作业。3.干膜上下膜必须对齐。压膜辘不允许有干膜碎现象。4.DI水需每100PNL更换一次,DI水洗中目视不允许有异物、污物。5.所有制作线路产品,均需使用湿法贴膜。6.每压50PNL后用无尘布擦拭压膜滚轮,确认滚轮上无脏点和残膜现象才算清洁干净,注意清洁滚轮时需将压膜速度放慢顺一个方向清洁。7.量测机台实际温度与红外线测温仪的温度做比较看是否有差异,以红外线测温仪的温度为准,若温度有差异则由组长以上人员进行调整。以确保压膜温度在标准范围内。8.板材必须做到先进先出,若超过48H或
2、氧化,必须进行表面处理。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,红外线实测温度,要求:1.割膜刀片每50PNL更新一次,割膜后板边不允许有干膜碎存在。2.割膜台须随时保持整洁,每2H清洁一次,确认台面无干膜碎、胶渍等异物才算清洁干净。3.每贴膜50PNL须使用粘尘纸,粘板边干膜碎。粘尘纸每4H更换一次。4.贴膜后检查产品不允许有干膜碎、气泡、膜下异物等不良,如发现不良需及时反馈给组长判定是否需返工操作。5.叠放板时要放整齐,每叠板不允许超过100PNL。6.每压50PNL后用无尘布擦拭压膜滚轮,确认滚轮上无脏点和残膜现象才算清洁干净,注意顺一个方向清洁滚轮。7.贴膜后的产品需静置
3、15分钟以上,才可以曝光生产。贴膜后的产品必须在48小时以内曝光生产完成,否则退膜返工处理。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,割膜,叠板,要求:1.板厚小于0.15MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用2条红胶带粘接,。2.放板作业时配戴手套双手对角拿板作业。3.生产过程中须不定时巡线,避免卡板。4.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离。5.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按磨板机管控规范作业。,制作/日期:_,审核日期:_,操作员:早班_晚班_,磨板机放板,要求:1.板厚小于0.15MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用2条红胶带粘
4、接,。2.放板作业时配戴手套双手对角拿板作业。3.生产过程中须不定时巡线,避免卡板。4.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离。5.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按磨板机管控规范作业。6.撕胶带时一只手按住产品,一只手轻将引带板和胶带撕起,注意避免皱。7.叠板时每PNL使用胶片隔开,同时需确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,要放置整齐,每叠板不允许超过100PNL。,制作/日期:_,审核日期:_,操作员:早班_晚班_,磨板机收板,撕红胶带,快压机清洁,快压机放板,要求:1.压合机台每50PNL使用无尘布粘酒精清洁一次。2.放板作业时配戴手套双手对角拿板作业。3.
5、生产前需点检设备运作、压力、温度正常,按压合机管控规范作业。4.压合产品时离型膜必须大于产品。5.压合后产品必须每PNL隔胶片,胶片使用前确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,如有不良胶片需清洁干净或报废处理。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,显影机放板,要求:1.板厚小于0.10MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用3条红胶带粘接,。2.放板作业时撕离型膜,双手对角拿板作业,3.放板前确认产品已经曝光静置15分钟以上。4.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离。5.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按DES线管控规范作业。6.曝光后的产
6、品必须在48小时以内完成显影、蚀刻,否则退膜返工处理。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,要求:1.收板作业时配戴手套双手对角拿板作业。2.生产过程中须不定时巡线,避免卡板。3.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离。4.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按DES管控规范作业。5.显影后的产品注意检查无撕膜不净、曝光不良情况。6.注意显影后不将引带板与产品的胶带撕掉,后工序蚀刻、退膜继续使用。7.叠板时每PNL使用胶片隔开,同时需确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,要放置整齐,每叠板不允许超过100PNL。,显影机收板,显影后叠板,操作员:早班_晚
7、班_,制作/日期:_,审核日期:_,要求:1.板厚小于0.15MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用3条红胶带粘接。2.放板作业时双手对角拿板作业。3.放板前确认产品经线检全检OK。4.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离,单面板隔胶片蚀刻。5.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按DES线管控规范作业。6.每板生产前必须清洗过滤网、清洁机身、更换水洗缸等日保养。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,蚀刻机放板,退膜机收板,退膜后叠板,要求:1.收板作业时配戴手套双手对角拿板作业。2.生产过程中须不定时巡线,避免卡板。3.生产时,产品与产品间隔5-10
8、CM距离。4.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按DES管控规范作业。5.退膜后的产品注意检查板面无退膜不净、折皱情况。6.注意退膜后不将引带板与产品的胶带撕掉,后工序化学清洗继续使用。7.叠板时每PNL使用胶片隔开,同时需确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,要放置整齐,每叠板不允许超过100PNL。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,化学清洗线收板,化学清洗线叠板,要求:1.设备过板能力为,小于0.15mm板厚需要贴引导板,引带板与产品至少使用3条红胶带粘接,产线根据实际情况(设备稳定情况和作业效率)和品保监控结果可以申请提出部分产品减少贴带板情
9、况,针对申请产品作业但必须加强巡线;2.生产过程中须不定时巡线,避免卡板;3.生产时,产品与产品间隔5-10CM距离。收板作业时配戴手套+手指套双手对角拿板作业;4.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按化学清洗线管控规范作业。5.化学清洗线后的产品表面不允许有氧化、凹坑、胶渍、异物等不良。6.叠板时每PNL使用胶片隔开,同时需确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,要放置整齐,每叠板不允许超过100PNL。7.撕胶带时一只手按住产品,一只手轻将引带板和胶带撕起,注意避免皱。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,撕红胶带,放板架放板,要求:1.叠板时每PN
10、L使用胶片隔开,同时需确认胶片表面无异物、胶渍、残破、大小不一等不良,要放置整齐,每叠板不允许超过100PNL。2.每叠产品必须有相应的MI流程卡放置。3.放置产品时产品不允许超出胶片边。4.不同产品分类放置。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,千层架放板,千层架放板,要求:1.放板时每PNL单独放置,不允许叠板烘烤。2.千层架每层最多只允许放置6PNL产品。3.放置产品时产品不允许超出千层架边缘。4.千层架放置产品时一定要在烘箱外面。5.作业时双手配戴手套对角拿板。6.推行千层架时需轻推轻移,避免因撞击而造成的叠板、掉板等异常。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日
11、期:_,要求:1.板厚小于0.15MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用3条红胶带粘接。2.每班生产前必须清洗过滤网、清洁机身、更换水洗缸等日保养项目。3.生产前需点检设备运作正常、液位正常、药液浓度正常,按DES线管控规范作业。4.放板作业时配戴手套双手对角拿板作业,产品间距控制在5-10CM。5.生产过程中,须不定时巡线检查,避免卡板现象的产生。6.吸水海棉每生产2小时清洗一次。,退膜放板,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,蚀刻接板,要求:1.板厚小于0.15MM的产品必须贴引带板作业,引带板与产品至少使用3条红胶带粘接。2.放板作业时配戴手套双手对角拿板作业,
12、产品间距控制在5-10CM。3.生产过程中,须不定时巡线检查,避免卡板现象的产生。4.接板时必须将检查灯打开,检查蚀刻后产品无蚀刻不净、曝光不良、蚀刻过度等不良。5.蚀刻后的产品引带板不需撕下,退膜时继续使用。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,要求:1.菲林生产前,必须使用无尘布粘菲林水清洗菲林,然后使用10X放大镜检查菲林每PCS状况。菲林不允许有折痕、异物、擦花、油污等不良。如发现不良需上报组长/主管判定是否可以使用。2.确认菲林型号、版本号与MI流程卡一致,产品必须跟MI流程卡一起流转。2.菲林粘接胶必须使用专用3M不残胶带,3M胶带贴合离线路至少3-5mm,菲林全部
13、使用3M双面胶纸与产品粘接,不允许菲林打孔粘胶带。3.每批产品曝光完成后,都必须使用菲林水清洗菲林一次,清洗对位台一次。4.对位工作台应随时保持清洁、整齐,不同产品不允许混放。对位台每2H必须全面清洁一次。5.菲林每对位1PNL使用粘尘辘粘尘一次,清洁菲林同时也要清洁对位台面,每班清洁菲林动作必须一致。6.从产品上撕菲林时,必须从一角撕起,操作过程中动作要轻,避免折伤、擦花菲林。7.菲林对位前需打透气孔生产,每张菲林透气孔至少打六个,避免曝光时抽真空不良。8.所有接触菲林人员,不允许有拖、甩菲林现象,不允许留长指甲、戴手饰等防止外物擦花菲林。,菲林检查,撕菲林,清洁菲林,清洗菲林,操作员:早班
14、_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,清洗曝光上麦拉,清洗曝光下麦拉,清洗曝光玻璃,清洁曝光麦拉,清洁曝光上玻璃,清洁曝光下玻璃,要求:1.曝光机台周边应随时保持整洁、干净、机身,每班必须清洁一次。2.每曝光一次使用粘尘辘清洁一次曝光玻璃与麦拉。3.每曝光5次,使用无尘布粘酒精清洗一次曝光玻璃和麦拉,清洗后检查曝光台是否有异物、胶渍等不良。4.每2H做一次曝光尺确认,曝光尺控制在4-6格。5.曝光生产过程中应随时保护曝光机台以及周边的清洁符合无尘室管理规范。6.曝光后的产品静置15分钟以上才可以显影生产。7.曝光生产过程中单面板、滑盖板、多层板同一框曝光时,必须间隔10CM以上。8.擦气、清
15、洁、清洗动作时顺一个方向作业。9.曝光作业员不允许留长指甲、戴手饰等,避免擦花曝光麦拉、玻璃。10.曝乐作业过程中双手对角取板、放板。禁止拖、甩菲林现象。,操作员:早班_晚班_,制作/日期:_,审核日期:_,使用无尘拖清洁地面,使用粘尘轮清洁墙壁,使用无尘布清洗机身,使用无尘布清洗窗口,使用无尘布清洗通风口,使用无尘布清洗机身,要求:1.在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理,而所有人员均能配合实施,则污染源的产生可说已减大半。无尘室运作按无尘室管理规范要求作业。如有违反规范,第一次写检讨,若再违反则5元每次处罚。2.进入无尘室必须整齐穿戴无尘服,然后淋风10-2
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