第2章电阻应变式传感器.ppt
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1、1,传感器原理,北京化工大学信息科学与技术学院测控系,第 2 章电阻应变式传感器,2,第一节 电阻应变片的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型第二节 电阻应变计的主要特性 1、静态特性 2、动态特性 3、应变计主要特性的精度指标第三节 电阻应变计的温度效应及其补偿 1、温度效应及热输出 2、温度补偿的方法,电阻应变,第2章 电阻应变式传感器,传感器原理,3,电阻应变,第四节 电阻应变计的选用 1、选择类型 2、材料选择 3、阻值选择 4、尺寸选择 5、其它第五节 测量电路 1、直流电桥 2、交流电桥第六节 电阻应变式传感器 1、应变式力传感器 2、应变式压力传感
2、器,传感器原理,4,在传感器中,有一大类是通过(材料的)电阻参数变化来实现非电量电测的目的。它们统称为电阻式传感器。,第2章 电阻应变式传感器,电阻应变(计)式传感器其它电阻式传感器本章不讨论,电位计式、应变计式、压阻式、光电式和热电阻式等。,各种电阻材料,受被测量(如:位移、应变、压力、光、热等)的作用,将产生电阻参数的变化。即将测量量转换成电阻参数。,电阻式传感器的基本原理,本章主要讨论:,电阻式传感器有:,5,第一节 电阻应变计的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应(1)金属材料的应变电阻效应(2)半导体材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型(1)应变片的结构(2)应变片的类
3、型,6,第一节 电阻应变计的基本工作原理,1、导电材料的应变电阻效应,1856年,英国物理学家发现金属丝的电阻随它所受机械变形(拉伸或压缩)的大小发生变化,即金属丝电阻的应变效应。,设:有一段长为l,截面积为A,电阻率为的导体(如金属丝),它的电阻为:,式中:R 电阻()电阻率(mm2m-1)l 导体的长度(m)A 导体的截面积r2(m2)r 导体截面的半径(m),(式2-1),7,当它受到轴向力F 拉伸(或压缩)时,其A、l、均发生变化,导体的电阻也随之发生变化。,当它受到轴向力F 拉伸时其r 截面积半径变小A 截面积变小l 长度变长发生变化导体的电阻也随之发生变化,8,取一小段导体,当其受
4、拉力F作用时长度 l 伸长 dl截面积 A 相应减少 dA电阻率 因金属晶格畸变的影响也将改变 d从而引起导体电阻改变 dR,(式2-2),将(式2-1)微分可得:,用 R 除(式2-2)左式用l/A 除(式2-2)右式得:,(式2-3),9,式中:dR/R 金属丝电阻的相对变化d/金属丝电阻率的相对变化dA/A 金属丝截面积的相对变化dl/l=x 金属丝长度的相对变化 用x 表示,称为金属丝长度方向的应变,简称轴向线应变 常用单位(1=10-6 mm/mm),dr/r=y 金属丝截面积上半径的相对变化,用y 表示,称为金属丝截面积上径向应变,简称径向应变,因为A=r2,dA=2rdr,(式2
5、-4),10,由材料力学知道,在金属丝弹性范围内,沿其长度方向拉伸时,金属丝沿轴向伸长,沿径向缩短,反之亦然;轴向应变x 与径向应变y 两者之间存在下列关系:,(式2-5),式中:金属材料的泊松系数(由试验测取),将(式2-4)、(式2-5)代入(式2-3),经整理得:,(式2-6),令 x=dl/l 金属丝轴向应变 y=dr/r 金属丝径向应变,金属丝的轴向应变x 与径向应变y 的关系(泊松系数),(式2-3),(式2-4),11,对于金属导体或半导体,上式中应力作用下电阻率相对变化的应力效应是不一样的,现分别讨论如下:,勃底特兹明()通过试验研究发现,金属材料的电阻率相对变化d/与其体积相
6、对变化dV/V之间有如下关系:,(式2-7),式中:C 金属材料的某一常数,由其材料和其加工工艺处理方式决定 如:康铜(铜镍合金)C1 V 金属丝体积 dV/V 金属丝体积的相对变化,(1)金属材料的应变电阻效应,金属材料电阻率的相对变化d/与应变x 的关系,在(应力F)应变作用下,金属导体和半导体电阻率相对变化d/,12,金属丝体积相对变化dV/V与轴向应变x 和径向应变y 有下列的关系:,V=l AdV/V=dA/A+dl/l=2y+x=-2x+x=(1-2)x,A=r2dA=2rdrdA/A=2dr/rdA/A=2yy=-x,可见金属丝体积的相对变化 dV/V 与轴向应变x 成正比关系,
7、13,金属丝电阻率相对变化d/与轴向应变x 有下列的关系:,dV/V=(1-2)x,可见金属丝电阻率的相对变化 d/与轴向应变x 成正比关系,将上述结果代入(式2-7)得:,d/=C dV/V=C(1-2)x,14,将上式代入(式2-6)得金属材料在轴向应变x 的作用下电阻相对变化dR/R为:,(式2-8),式中:Km=(1+2)+C(1-2)金属材料的应变灵敏度系数(简称灵敏系数),上式表明:在应力作用下,金属材料的电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是金属材料的应变效应。,金属材料电阻率相对变化d/与轴向应变x 的关系为:,结论:,结论:,(式2-6),15,半导体材料电阻率相对变化d/与
8、轴向应变x 的关系,(式2-9),式中:半导体材料在受力方向的压阻系数 E 半导体材料的弹性模量N/m2(弹性模量定义见后页),(2)半导体材料的应变电阻效应,半导体材料电阻率相对变化d/与轴向应变x 之间有如下关系:,史密斯(C.S.Smith)等学者很早就发现,锗、硅等单晶半导体材料具有压阻效应。,16,弹性模量,弹性模量的定义,弹性形变、塑性形变,在外力作用下,物体发生形状(大小)变化(应变),在除去作用在物体的外力时,物体可以恢复原形的称为弹性形变。物体不能恢复原形的称为塑性形变。,单位弹性应变时所需的应力(单位:N/m2)弹性模量反映物体抵抗弹性形变的能力,17,将(式2-9)代入(
9、式2-6)得半导体材料在轴向应变x 作用下电阻相对变化dR/R为:,(式2-10),式中:Ks=1+2+E 半导体材料的应变灵敏度系数,上式表明:在应力作用下,半导体材料的电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是半导体材料的应变效应。,结论:,(式2-9),(式2-6),18,对于金属材料,K0=Km=(1+2)+C(1-2)。可见它由两部分组成:前部分为受力后金属丝几何尺寸变化所致 一般金属泊松系数0.3,因此(1+2)1.6,金属材料:,综合(式2-8)、(式2-10)可得导电丝材料的应变电阻效应为:,(式2-11),式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数,后部分为电阻率随应变而变的部分 如
10、康铜,C1,C(1-2)0.4,此时K0=Km2.0显然,金属丝材料的应变电阻效应以尺寸变化为主。对于金属,Km=1.84.8。,金属丝的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其金属丝制成又细又长。,19,而且E(1+2),因此半导体丝材料的K0=KSE。显然,半导体材料的应变电阻主要基于压阻效应。通常Ks=(5080)Km。,对于半导体材料,K0=KS=(1+2)+E。它也由两部分组成:前部分为尺寸变化所致,半导体材料:,综合(式2-8)、(式2-10)可得导电丝材料的应变电阻效应为:,(式2-11),式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数,后部分为半导体材料的压阻效应所引起
11、,结论:半导体材料的应变灵敏系数比金属材料的应变灵敏系数大5080倍,半导体的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其半导体丝制成较粗较短。,20,2、电阻应变片的结构与类型,(1)应变片的结构,金属丝电阻应变片结构,电阻应变片结构繁多,形式各异,但其基本结构大体相同。见下图。,敏感栅(金属丝):应变片是应变-电阻转换的敏感元件。通常它是直径为0.0150.05mm的金属丝或金属箔腐蚀成栅状,其阻值一般为100以上。,基底:为了保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通过粘合剂将其固定在基底上。应变片工作时,基底起着把所测试应变准确传递给敏感栅的作用。,引线:它起着敏感栅与测量电路之
12、间的连接作用。可以用焊接的方法连接。,盖片:覆盖在敏感栅上的保护层,起到防潮、防尘、防蚀和防机械损伤的作用。,粘合剂:在制作应变片时,用粘合剂将盖片、敏感栅和基底牢固地粘合在一起。,21,常用应变片的结构形式,短接式应变片,丝绕式应变片,箔式应变片,22,应变片按敏感栅的材料可分为金属应变片和半导体应变片两大类,见下表:,(2)应变片的类型,23,第二节 电阻应变片的主要特性 1、静态特性(1)灵敏系数 K(2)横向效应和横向效应系数 H(3)机械滞后 Zi(4)蠕变和零漂P0(5)应变极限lim 2、动态特性(1)对正弦波的响应(2)对阶跃应变的响应(3)疲劳寿命N 3、应变计主要特性的精度
13、指标,24,第二节 电阻应变片的主要特性,1、静态特性,本节讨论应变片的特性,其特性是指用以表达应变片工作性能及其特性的参数或曲线。,静态特性是指应变片感受试件不随时间变化或应变缓慢的应变时的输出特性。,表征应变片静态特性的主要参数有:灵敏系数(灵敏度指标)横向效应和横向效应系数H机械滞后(迟滞指标)蠕变(稳定性指标)零漂应变极限等,25,具有初始电阻值R的应变片粘贴于试件表面时,试件受力引起的表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对变化R/R。实验证明,在一定的应变范围内,有下列关系:,(式2-12),式中:x 应变片轴向应变 K=R/(Rx)应变片的灵敏系数(应变片包括:应变栅、
14、基底、粘合剂)它表示在被测试件上的应变片,在其轴向受到单向应力时引起的电阻相对变化(R/R),与此单向应力引起的试件表面轴向应变(x)之比。,(1)灵敏系数 K(标定灵敏系数),26,必须指出,应变片的灵敏系数 K 并不等于其敏感栅(金属丝)的应变丝灵敏系数 K0(Km),一般情况下,K K0。,上述规定的标定条件是:试件材料取泊松系数0=0.285 的钢试件单向受力应变片轴向与主应力(应变)方向一致,这是因为,在单向力产生双向应变的情况下,应变片的灵敏系数 K 除受到敏感栅结构形状、成型工艺、粘结剂和基底性能的影响外,尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。,应变片的灵敏系数 K 直接关系到应变
15、片的应变测量的精度。因此,K值通常采用从批量生产中抽样,在规定条件下通过实测确定,即应变片的标定;故 K又称标定灵敏系数。,27,金属应变片的敏感栅通常是呈栅状。它由轴向(直段)纵栅和圆弧(拐弯段)横栅两部分组成,如下图所示。,由于试件承受单向应力时,应变片表面处于平面应变状态中,即轴向(拉伸)应变x 和横向(收缩)应变y。,(2)横向效应和横向效应系数 H,28,在轴向应变x 作用下,纵栅轴向变长、径向变细,电阻变大。,在双向应变,即轴向应变x、横向应变y 的双重作用下,横栅半径变小、轴向变短、径向变粗,电阻变小。,纵栅,横栅,纵栅主要感受轴向应变x(纵栅受拉伸)横栅主要感受横向应变y(横栅
16、受压缩),从而引起应变片总电阻的相对变化为:,29,它表示当y=0时,单位轴向应变x引起的电阻相对变化,式中:K=Kx(1-0H)应变片的灵敏系数,它表示当x=0时,单位横向应变y引起的电阻相对变化,双向应变灵敏系数比,称为横向效应系数,双向应变比(应变片横向应变与轴向应变比),实验证明:y/x=-0 0双向应变比系数(为应变片的双向应变比、不是金属丝的轴向应变和径向应变比),Kx 轴向灵敏系数,式中:,Ky 横向灵敏系数,H=Ky/Kx,=y/x,应变片电阻相对变量R/R与应变x 的关系,(式2-13),30,在横向应变y 和轴向应变x 的作用下,横栅所产生应变电阻的增量与纵栅所产生应变电阻
17、的增量方向相反。其原因就是横向应变对横栅作用的结果。,结论:,在单位应力、双向应变情况下,横向应变所产生的电阻的变化总是起着抵消轴向应变所产生的电阻的变化作用。,应变片的这种既受轴向应变影响,又同时受横向应变影响,使其灵敏系数及相对电阻比都减少的现象,称为应变片的横向效应。,31,应变片每个横栅(拐弯段)很短,但数量较多,所有横栅的长度占敏感栅总长度的比例较高,因此,横栅的影响不能忽略横栅给应变片的测量带来了一定的误差应设法消除横向效应的影响,应变片横向效应的危害,横向应变所产生的电阻的变化总是起着抵消轴向应变所产生的电阻的变化作用它减弱了应变片的输出信号,即电阻的相对变化量R/R,32,横向
18、效应系数 H,应变片横向灵敏度系数 Ky 与轴向灵敏度系数 Kx 之比值,称为应变片的横向效应系数 H。,式中:n 纵栅的根数l 纵栅的长度r 横栅的半径 推导过程见教材23-24页,由上式可见横栅半径 r 愈小,纵栅长度 l 愈长,则 H 愈小。即敏感栅之间的距离越窄、基长越长的应变片,其横向效应系数H越小,横向效应引起的误差越小。,33,采用短接式或直角式横栅,使横栅圆弧半径为零,可以克服横向效应的影响。箔式应变片就是据此设计的。(不能完全消除,因为横栅依然存在),减小横向效应的办法 短接式、直角式横栅,34,进一步说,它是指粘贴在试件上的应变片,在恒温条件下增(加载)、减(卸载)试件应变
19、的过程中,对应同一机械应变所指示应变量(输出)最大不同(差)值。见下图。,(3)机械滞后 Zi(迟滞),应变片在测量时,加载和卸载过程中的灵敏度系数不一致;即在增加或减少机械应变的过程中,对同一机械应变,应变片的(输出)指示值不同,其差值即为机械滞后。,造成机械滞后的原因是由于敏感栅基底和粘贴剂材料性能,被测量过载、过热,会使应变片产生残余变形,导致应变片输出不重合。,通常在室温条件下,要求机械滞后 Zi 310。实际中,可在测试前通过多次重复预加、卸载,来减少机械滞后产生的误差。,35,应变片在恒温恒载条件下,输入信号恒定时,应变片指示应变值随时间单向变化的特性称为蠕变。如图所示。,试件空载
20、(无输入信号)时,应变片指示应变值仍随时间变化的现象称为零漂。如图所示。,蠕变反映了应变片在长时间工作中对时间的稳定性;通常要求 315。,(4)蠕变 和零漂 P0,蠕变(时间漂移),零漂 P0(零点时间漂移),引起蠕变的主要原因制作应变片时内部的内应力和工作中出现的剪应力,使敏感栅金属丝、基底,尤其是胶层之间产生的滑移所致。适当减薄胶层和基底,并使之充分固化,有利于蠕变性能的改善。,36,应变片的线性特性,只有在一定的应变限度范围内才能保持。当试件输入的真实应变超过某一限制值时,应变片的输出特性将出现非线性。,(5)应变极限lim,在恒温条件下,使非线性误差达到10%时的真实应变值,称为应变
21、极限lim。如下图所示。,应变极限是衡量应变片测量范围和过载范围能力的指标通常要求lim8000,影响lim的主要因素及改善措施,与蠕变基本相同。,37,实验表明,机械应变波是以相同于声波的形式和速度在材料中传播的。当它依次通过一定厚度的基底、胶层和栅长 l 而为应变片所响应时,就会有时间的迟后。应变片的这种响应迟后对动态(高频)应变测量会产生误差。,2、动态特性,38,应变片对正弦波的响应是在其栅长 l 范围内所感受应变量的平均值。因此,响应波的幅值将低于真实应变波,从而产生误差。,下图表示频率为 f,幅值为0 的正弦波,以速度沿着应变片纵向x方向传播时,在某一瞬时t 的分布图。,应变片对正
22、弦波的响应,应变片中点xt 的瞬时应变为t=0sin(2/)xt,而栅长l 范围 xt(l/2)内的平均应变为:,(1)对正弦波的响应,(式2-18),x,+,-,2,0,=,2,/,2,/,sin,1,l,l,xt,t,p,x,dx,l,l,p,e,e,x,39,由此产生的相对误差为,由上式可见,粘贴在一定试件(为常数)上的应变片对正弦应变的响应误差随栅长 l 和应变频率 f 的增加而增大。在设计和应用应变片时,就可按上式给定的e、l、f 三者关系,根据给定的精度e,来确定合理的l 或工作频限fmax即,(式2-19),或,(式2-20),(式2-21),(已知:=v/f),40,(2)对阶
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