微电子技术及其应用.ppt
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1、微电子技术及其在当今社会中的应用,微电子和微电子技术半导体材料与 半导体集成电路工艺技术微电子技术发展及现状微电子技术应用和作用,微电子和微电子技术,微电子 微型的电子电路微电子技术 微型电子电路技术,半导体材料和半导体集成电路,半导体及其基本特性 当半导体中的杂质含量很高时,电导率很高,呈现一定的金属性;纯净半导体在低温下的电导率很低,呈现出绝缘性。,半导体材料和半导体集成电路,集成电路中的基本元件结构 阴极 阳极 集电极 基极 发射极 源极 栅极 漏极 N P N P N+N+金属 N+P型衬底 P型衬底 P型衬底 P型阱 PN结二极管 NPN晶体管 nMOS晶体管,半导体集成电路工艺技术
2、,双极集成电路工艺 砷 注 入SiO2 SiO2 p_si 衬底(a)埋层制备,半导体和半导体集成电路,双极集成电路工艺 N外延层P衬底 N+埋层(b)外延层制备,半导体集成电路工艺技术,双极集成电路工艺光致抗蚀剂钝化层N外延层 N+P(c)隔离区窗口制备,半导体和半导体集成电路,双极集成电路工艺 沟道隔断区硼离子注入 N N N+P(d)氧化物隔离区制备(1),半导体集成电路工艺技术,双极集成电路工艺 N N SiO2 P+N+P+沟道隔断区 P(e)氧化物隔离区制备(2),半导体集成电路工艺技术,双极集成电路工艺基区硼离子注入 光致抗蚀剂 N SiO2 P基区 P+N+埋层(f)基区制备,
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- 关 键 词:
- 微电子技术 及其 应用
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