微电子42014微电子器件基础58章要求掌握的重点.ppt

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1、非平衡载流子注入探针注入小注入、大注入非平衡载流子浓度非平衡载流子寿命（少子寿命、寿命）准费米能级（电子准费米能级、空穴准费米能级）直接复合间接复合表面复合俄歇复合最有效复合中心陷阱效应载流子扩散连续性方程,一 概念,第五章 非平衡载流子（非平衡半导体）,最有效复合中心能级示意图 间接复合能带示意图 俄歇复合能带示意图 非平衡半导体能带图 有效陷阱的能带示意图,二 图,三 论述,表面复合对半导体载流子寿命的影响 金在硅半导体中的有效复合中心作用 连续性方程中每一项的物理意义,四 关系式,非平衡半导体价带空穴浓度,非平衡半导体导带电子浓度,净复合率,用准费米能级表示的非平衡半导体载流子浓度，,间

2、接复合净复合率,扩散电流密度,漂移电流密度,空穴电流密度,电子电流密度,半导体总电流密度,爱因斯坦关系式,空穴连续性方程,电子连续性方程,第六章PN 结,突变结单边突变结线性缓变结结深扩散结平衡PN结PN结空间电荷区PN结接触电势差PN结势垒高度PN结势垒宽度耗尽层近似,一 概念,12 PN结正偏13 PN结反偏14 势垒电容15 扩散电容16 PN结雪崩击穿17 PN结隧道击穿18 热击穿19 隧道结20 隧道二极管峰值电流、峰值电压 21 隧道二极管谷值电流、谷值电压22 隧道二极管过量电流；,平衡PN结能带图 正向偏压下，PN结能带图 PN结电流-电压关系曲线 突变PN结中电场分布图 隧

3、道二极管电流-电压关系曲线,二 图,三 论述,平衡PN结的形成 平衡PN结的性质 PN结势垒电容是如何形成的？势垒电容与杂质浓度和杂质分布的关系？PN结扩散电容是如何形成的？用能带图说明隧道二极管电流-电压关系的对应机理雪崩击穿电压的温度特性及解释,突变结泊松方程突变结空间电荷区宽度、电场强度、最大电场强度、电位求解突变结势垒电容求解,四 关系式、推导题,第七章 MS接触,半导体功函数电子亲和能金属-半导体功函数差金属-半导体接触电势差半导体表面空间电荷区电子阻挡层电子反阻挡层表面势垒高度表面势垒宽度半导体表面势,一 概念,11 表面态12 钉扎效应13 施主型表面态14 受主型表面态15 表

4、面中性能级16 表面态密度17 理想欧姆接触18 接触电阻19 高低结20 肖特基势垒二极管,金属-半导体接触形成电子阻挡层情况下的能带图金属-半导体接触形成电子反阻挡层情况下的能带图正向偏压下，金属/N型半导体接触能带图表示金属与半导体欧姆接触的基本结构示意图,二 图,三 论述,扩散理论模型对肖特基势垒二极管电流-电压关系的解释热电子发射理论模型对肖特基势垒二极管电流-电压关系的解释形成金属与半导体欧姆接触的基本原理和手段肖特基势垒二极管的主要特点,四 关系式、推导,半导体功函数计算按肖特基功函数模型计算MS接触电势差、势垒高度MS接触中，电子隧道穿透半导体表面势垒的几率,理想半导体表面半导

5、体表面态表面悬挂键表面能级表面能带理想MIS结构半导体表面电场效应表面堆积表面平带表面耗尽表面本征,第八章 半导体表面与MIS结构,一 概念,12 表面弱反型13 表面临界强反型14 表面强反型15 表面深耗尽16 临界强反型17 半导体表面最大耗尽层宽度18 反型层19 费米势20 场感应结21 表面空间电荷区、表面空间电荷区宽度22 表面势23 表面电场,MIS结构图（包括半导体为P型、N型两种）MIS结构中，半导体表面耗尽状态下的能带图 MIS结构中，半导体表面临界强反型状态下的能带图,MIS结构半导体表面中的泊松方程 耗尽状态下的表面势、耗尽层宽度 临界强反型状态下的表面势、耗尽层宽度 费米势计算式,二 图,三 论述,在MIS结构中，影响半导体表面出现强反型状态的因素分析,四 关系式,