双极结型晶体管.ppt
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1、,3 双极结型晶体管,教 师:黄辉办公室:创新园大厦A1226,2,1.双极结型晶体管发展历史2.双极结型晶体管的结构3.双极结型晶体管的基本工作原理4.理想双极结型晶体管中的电流传输,本章内容,3.1 双极结型晶体管发展历史,1947.12.23日第一只点接触晶体管诞生-Bell Lab.(Bardeen、Shockley、Brattain)1949年提出PN结和双极结型晶体管理论-Bell Lab.(Shockley)1951年制造出第一只锗结型晶体管-Bell Lab.(Shockley)1956年制造出第一只硅结型晶体管-美得洲仪器公司(TI)1956年Bardeen、Shockley
2、、Brattain获诺贝尔奖1956年中国制造出第一只锗结型晶体管1970年硅平面工艺成熟,双极结型晶体管大批量生产,3.2双极结型晶体管的结构,(a)为理想的一维NPN双极结晶体管,(b)为(a)的 电路符号,(c)为理想的一维PNP双极结晶体管,(c)为(d)的 电路符号,3.2双极结型晶体管的结构,硅双极晶体管结构(平面工艺)的剖面图,硅平面外延NPN晶体管的横截面示意图和工艺复合图,3.2双极结型晶体管的结构,芯片是通过以下步骤制造出来的:1 衬底制备 衬底为低阻N型硅,电阻率在 左右,沿(111)面切成厚约 的圆片,研磨抛光到表面光亮如镜。2 外延 外延层为N型,按电参数要求确定其电
3、阻率及厚度。3 一次氧化 高温生长的氧化层用来阻挡硼、磷等杂质向硅中扩散,同时也起表面钝化作用。4 光刻硼扩散窗口,3.2双极结型晶体管的结构,芯片是通过以下步骤制造出来的:,5 硼扩散和二次氧化 硼扩散后在外延层上形成P型区,热生长的氧化层用来阻挡磷向 硅中扩散,并起钝化作用。6 光刻磷扩散窗口 7 磷扩散和三次氧化 磷扩散后在P型区磷杂质补偿硼而形成N+区,热氧化层用作金属与硅片间电绝缘介质。8 光刻发射极和基极接触孔蒸发铝 10 在铝上光刻出电极图形,3.3双极结型晶体管的基本工作原理,双极晶体管有四种工作模式,相应地称为四个工作区。令 分别为基极对发射极和基 极对集电极的电压。则四种
4、工作模式是:,(1)正向有源模式:0,0;(2)反向有源模式:0,0;(3)饱和模式:0,0;(4)截止模式:0,0。,3.3双极结型晶体管的基本工作原理,共基极连接晶体管的放大作用,NPN晶体管共基极放大电路,3.3双极结型晶体管的基本工作原理,共基极连接晶体管的放大作用,NPN晶体管共基极能带图,3.3双极结型晶体管的基本工作原理,电流分量,放大器工作时,NPN晶体管内的工作电流分量,3.3双极结型晶体管的基本工作原理,电流分量,是从发射区注入到基区中的电子流。是到达集电结的电子流。是基区注入电子通过基区时复合所引起的复合电流 是从基区注入到发射区的空穴电流 是发射结空间电荷区内的复合电流
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