防静电基础教材.ppt

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1、提示：,请关闭您的手机或将您的手机设为振动状态,防静电知识基础培训教材,大纲,1）静电的基本概念与产生原理2）静电的利益与危害3）静电的防护与控制4）防静电的检测及仪器的操作5）防静电的实际运用举例,静电的基本概念,静电（Electrostatic）就是物体表面过剩和不足的静止电荷，静电是一种电能，它留存与物体表面；静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果；静电是通过电子和离子的转移而形成的。静电放电（ESD Electrostatic Discharge）：带有不同静电电势的物体或表面之间的静电电荷转移。有两种形式：接触放电，电场击穿放电。静电敏感度(ESDS Electrostati

2、c Discharge Sensitivity)静电敏感器件(ESSD Electrostatic Sensitive Devices)EPA:ESD Protect Area(ESD防护区域)ECA:ESD Control Area(ESD控制区域),静电的基本概念,人体的充电过程,剥离带电,摩擦带电,静电问题依附于物体（气、液、固体）而存在。如果物体带有过剩的电荷则成为带电体。物体间的电荷转移过程就是起电过程。静电产生的方式很多，接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等都可以产生静电。但基本过程可归纳为：接触-电荷转移-偶电层的形成-电荷分离。,静电的基本概念,影响静电产生和大小的因素

3、静电的产生及其大小与环境湿度和空气中的离子浓度有密切的关系。在高湿度环境中由于物体表面吸附有一定数量杂质离子的水分子，形成弱导电的湿气薄层，提高了绝缘体的表面电导率，可将静电荷散逸到整个材料的表面，从而使静电势降低。所以，在相对湿度高的场合，如海洋性气候地区(如我国的东南沿海地区)或潮湿的梅雨季节，静电势较低。在相对湿度低的场合，如大陆性气候地区(如我国的北方地区)或干燥的冬季，静电势就高。与普通场所相比，在空气纯净的场所(如超净车间)内，因空气中的离子浓度低，所以静电更加容易产生。,静电的基本概念,静电的基本概念,静电具有以下特点1）从防静电危害的角度考虑，GJB300797分3类:面电阻率

4、105及以下为导静电材料10 51011为静电散逸材料1012以上为绝缘材料,静电的基本概念,在一般工业生产中，静电具有高电位、低电量、小电流（脉冲电流，有争议）和作用时间短的特点，设备或人体的静电位最高可达数万伏以至数十万伏；这要比市电220v、380v高得多。但所积累的静电量却很低，通常为微库仑级；静电电流多为毫安级；作用时间多为毫秒级。静电通世界上任何事物一样具有两重性：既能为人类造福，如静电复印、静电涂敷、静电除尘等静电应用技术；亦会带来许多危害，诸如石化、电子及电工领域。就电子元器件的生产及电子设备的装联、调试作业而言，因接触摩擦起电、人体静电与接地问题能造成很大经济损失。初步研究发

5、现，摩擦起电、人体静电乃是电子。微电子工业中之间两大危害源。,静电的基本概念,静电放电的三种方式 带电人体的放电方式(HBM)由于人体会与各种物体间发生接触和磨擦，又与元器件接触，所以人体易带静电，也容易对元器件造成静电损伤。普遍认为大部分元器件静电损伤是由人体静电造成的。带电机器的放电方式（MM）机器因为摩擦或感应也会带电。带电机器通过电子元器件放电也会造成损伤。这类就叫做：机器放电的模型（Machine Model）充电器件的放电模型（CDM）在元器件装配、传递、试验、测试、运输和储存的过程中由于壳体与其它材料磨擦，壳体会带静电。一旦元器件引出腿接地时，壳体将通过芯体和引出腿对地放电。这种

6、形式的放电可用所谓带电器件模型(Charged-Device Model，CDM)来描述。,静电的基本概念,静电的危害,ESD是英文Electrostatic Discharge的缩写，即静电放电的意思。当某些电介质、导体带上静电荷后，尽管所带电荷量不多，但由于自身对大地分布电容非常小，使得静电电位较高。当垂直于带电物体表面的静电电位达到2000伏时，就会向空气放电。在日常生活中，许多ESD现象，我们都亲身经历过。譬如，在冬季一间温暖的房间里，走在覆盖地毯的地面时，当你伸手接触门的把手时，就会有电击的感觉；脱下合成纤维衣服时产生噼啪声，夜间还可以看到火花（空气的击穿场强为30kv/cm）；天气

7、干燥时，用塑料梳子梳头时会产生放电声。对于人体而言，这种静电的突然放电不会造成任何伤害；可是，对于ESDS（静电放电敏感器件）器件，静电放电就可能损害电子器件。ESD对电子器件的损害是人体觉察不到的，具有隐蔽性，需通过仪器才能检测出电子器件发生ESD事件，主要是各种静电源（人体、工作台等）对电子器件放电所致。在集成电路（integrated circuit）工业中，静电放电可以使集成电路芯片介质击穿，芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等等。静电放电对电子器件损害具有潜在和缓慢失效性，这种情况危害更大。通常，ESDS（静电放电敏感器件）器件易发生静电放电，所以，受ESD的危害更大。,静

8、电的危害,今天，大多数电子器件采用对静电极为敏感的MOS工艺制作，因此，无论从器件的发展还是器件的应用出发，为了防止ESD对电子器件的危害，有必要对电子器件受静电危害的机理以及相应的防护措施进行探讨。试图阐明电子器件ESD产生的原因，并对IC的ESD保护提供指导。静电具有以下特性：隐蔽性：除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为23kv，所以静电具有隐蔽性。潜在性：有些会受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患。因此静电对IC的损伤具有潜在性。随机性：IC什么情况下会遭受静电破坏呢

9、?可以这么说，从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性，其损坏也具有随机性复杂性：静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度精密仪器，即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以分析静电对IC的损伤具有复杂性。,静电的危害,ESD对电子器件侵害方式ESD对电子器件侵害方式主要有三种：静电源直接对电子

10、器件放电；带电器件对其他导体的静电放电；电场感应放电。、静电源直接对电子器件放电 ESD事件常常发生在带电导体（包括人体）对ESDS的放电过程中。一般的静电危害是人体或带电导体直接对ESDS放电造成。、带电器件对其他导体的静电放电当静电放电敏感器件在操作过程中，或者与包装材料、机器表面接触后，就会积累静电荷。当器件在包装盒移动或震动时就会发生静电放电。这种放电情况，涉及的电容和能量不同于人体对ESDS器件的放电情况。在某些情况下，CDM事件比HBN事件所造成的危害更大。、电场感应放电感应场可以直接或间接对地造成危害。因为任何带电体周围都存在静电场。如果ESDS器件进入静电场范围，就会因为感应而

11、带电。如果器件在电场区域内接地，电荷转移到地的过程称为CDM事件。,静电的危害,静电的危害,静电损伤的两种失效形式1.硬损伤：又称“突发性完全失效”、“一次性损坏”，约占10%表现为器件电参数突然劣化，失去原有功能。主要原因是静电放电造成过压使得介质被击穿，或过流使得内部电路金属导线熔断、硅片局部融化等。硬损伤可通过常规的性能测试手段及时发现，相对软失效而言危害要小得多。2.软损伤：又称“潜在性缓慢失效”、“多次损伤累积后失效”，约占90%受到软损伤的器件，虽然当时各类电参数仍合格，然而其使用寿命却大大缩短了。含有这些器件的产品或系统，可靠性变差，可能会在后续过程中（直至最终用户）继续遭受ES

12、D软损伤或其它过应力损伤积累而过早地失效。由于软损伤是潜在的，运用目前的技术还很难证明或检测出来，特别是器件被装入整机产品之后，因此具有更大的危害性。这些产品流入市场后的维护成本和造成的其它损失，将比在生产中发生的直接损失要放大几十甚至上百倍！,静电的危害,蓄积在导体上的电荷，会在一次放电中将能 量完全释放，是常见静电危害产生的原因。静电放电可概分为火花放电、电晕放电、刷 状放电、射状放电等形式。不同放电形式的发生，与放电的电极形状、材质距离、阻抗、数量有密切的关系，同时 亦会产生不同的危害。,静电的危害,多数未采取保护措施的元器件静电放电敏感度都是很低，很多在几百伏的范围，如MOS单管在10

13、0-200V之间，GaAs FET在100300V之间，而且这些单管是不能增加保护电路的；一些电路尤其是CMOS IC采取了静电保护设计，可虽然以明显的提高抗ESD水平，但大多数也只能达到20004000V，而在实际环境中产生的静电电压则可能达到上万伏。因此，没有防护的元器件很容易受到静电损伤。而且随着元器件尺寸的越来减小，这种损伤就会越来越多。所以我们说，绝大多数元器件是静电敏感器件，需要在制造、运输和使用过程中采取防静电保护措施。下表列出了一些没有静电保护设计器件的静电放电敏感度。,静电的危害,表2.1 一些器件的静电敏感度,静电的危害,电子行业如微电子、光电子的制造和使用厂商因为静电造成

14、的损失和危害是相当严重的。据美国1988年的报道，它们的电子行业中，由于ESD的影响，每年的损失达亿美元之多；据日本统计，它们不合格的电子器件中有45是由于静电而引起的；我国每年因静电危害造成的损失也至少有几千万。下左图是美国Ti公司对某一年对客户失效器件原因进行分析统计的结果，从中可以看到由EOS/ESD引起的失效占总数的47%下；下图是美国半导体可靠性新闻对1993年从制造商、测试方和使用现场得到的3400例失效案例进行的统计，从中可以看到,EOS/ESD造成的失效也达到20%。,静电的危害,公司某一年客户失效器件原因的分析统计,1993年从制造商、测试方和使用现场得到的3400例失效案例

15、统计,CC4069 4.0kV,JF709 2.0kV,电路受ESD损伤后的形貌像,静电的防护与控制,ESD控制的基本原则.做好ESD防护设计：器件选型、合理布线、设计保护电路等.消除和减少静电的产生：减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等.使静电荷泻放与中和：使用静电导体、接地、电离器来泻放与中和静电.保护产品免遭ESD伤害：使用防静电材料包装和储运.防静电区设计原则.抑制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用塑料、有机玻璃、普通塑料袋。.安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转车、防静电周转箱。.保证静电压小于100V。,静

16、电的防护与控制,防静电系统要素1.地面防静电地面（防静电水磨石，防静电地板）体电阻105109，敷设地线网。2.工位（见附图）3、接地a、防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，地电阻小于4。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可以作防静电地线。b、工作台面、地垫、坐椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线，腕带等应通过工作台顶面接地点与地线连接，工作台不可相互串联接地。c、防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限值取为1M。4、温湿度2030，相对湿度

17、3070%。5、增湿增湿器使空气潮湿，防止静电荷积累，此法不适于增湿后会产生有害影响的场地。,静电的防护与控制,7、人体穿防静电工作服、工作鞋，戴有绳防静电腕带、手套、指套等。8、包装静电敏感器件应采取防静电保护性包装，如防静电袋、防静电盒等。9、贮存、运输静电敏感器件必须存放在防静电容器（箱、袋）内，并用防静电运输工具（箱、车）周转。贮运中要远离静电场、电磁场或放射场，如电脑显示器顶部。,静电的防护与控制,人员防静电接地技术要求1)人员防静电接地应使用腕带、工鞋等。2)所有生产操作员工进入防静电区域必须着装防静电工鞋工衣；外来人员进入防静电区域穿防静电鞋套和穿防静电大褂。3)进入防静电区域的

18、所有作业人员、物料员、技术员、工段长等，及在现场办公的其他人员，每天上班前应对自身人体综合电阻进行测试，对有可能要接触产品的人员，还应进行防静电腕带测试，并保存测试结果，做好测试记录。4)进入防静电区域前必须应对人体综合电阻进行测试，如果外来人员有可能要接触产品，也应进行防静电腕带测试，并保存测试结果做好测试记录。5)防静电腕带或人体综合电阻测试未通过者，不得进入防静电区域，更不得接触ESSD（静电敏感器件）及组件。人体综合电阻测试、腕带测试未通过的，必须立即查找原因并作出相应处理，直至合格为止。腕带接地要求防静电腕带与皮肤应保证接触良好，并接入防静电地线系统，在戴腕带的皮肤上不得涂护肤油、防

19、冻油等油性物工鞋接地要求1)防静电鞋内不得垫鞋垫。2)为了使人体静电能很好的通过工鞋、鞋跟泻放，操作人员要求穿棉袜。3)保持工鞋干净清洁。,静电的防护与控制,静电的防护与控制,静电放电会对器件造成损害，但通过采取正确和适当的静电防护和控制措施，建立静电防护系统，那么就可以消除或控制静电放电的发生，使其对元器件的损害降至最小。对静电敏感器件进行静电防护和控制的基本思想有两条：(1)对可能产生接地的地方要防止静电的聚集，及采取一定的措施，避免或减少静电放电的产生，或采取“边产生边泄漏的方法达到消除电荷积聚的目的，将静电荷控制在不致引起产生危害的程度。(2)对已存在的电荷积聚，迅速可靠地消除掉。所以

20、生产过程中静电防护的核心是“静电消除”。为此可建立一个静电完全工作区，即通过使用各种防静电制品和器材，采用各种防静电措施，使区域内的可能产生的静电电压保持在对最敏感器件安全的阈值下,静电的防护与控制,静电防护材料或防静电材料在静电防护和控制工程中占有重要的地位，由防静电材料制成的静电防护用品如容器、服装、传送带等是制造过程中必不可少的。先介绍一些在静电防护和控制技术中用到的与材料有关的基本概念 电阻和电阻率：这是静电控制技术中最关键的两个概念，它们经常混淆，不仅被用来表示材料，还用于描述评估材料的测试方法。体电阻率：指某材料单位厚度上的直流压降与单位面积上通过的电流之比。体电阻系数是材料的基本

21、参数之一，表示其导电性能，单位为欧姆/厘米。表面电阻率：该参数用于厚度一定的薄膜材料，其定义为表面上单位长度的直流压降与单位宽度流过电流之比。它指正方形两对边之间的阻值，只要面积远远大于薄膜厚度，则该阻值与正方形的大小无关。表面电阻率的单位是欧姆。电阻：从另一方面表示不同形状(面积和长度)和电阻率的材料对电流的阻碍作用，它同时表明材料的表面或表面与地之间的电路连通性以及物体的放电能力，单位是欧姆。表面电阻：根据EOS/ESD S11.11“静电释放平面材料的表面电阻测量中的定义，表面电阻是指材料某个面上两点间的直流电压与通过的电流之比，以欧姆表示。表面电阻值与材料的结构无关。体电阻：根据ESD

22、 DS11.12“静电释放平面材料的体电阻测量中的定义，体电阻是指材料两端之间的直流电压与通过电流的比值，它的单位也是欧姆。,静电的防护与控制,绝缘材料：一般指表面电阻系数在11012欧姆或体电阻系数在11011欧姆/厘米以上的材料。绝缘材料的表面或内部基本上没有电流流动，它的电阻很大，难于接地。这种材料内的静电荷会在上面保留很长时间。导电材料：一般指表面电阻系数小于1105欧姆或体电阻系数小于1104欧姆/厘米的材料。这种材料电阻小，电子在其表面及内部流动非常容易，可流向任何接触到的其它导体或大地。耗散材料：一般指表面电阻系数大于或等于1105而小于11012欧姆，或体电阻系数大于或等于11

23、04而小于11011欧姆/厘米的材料。屏蔽材料：一般指导电层每毫米厚度的表面电阻系数小于1104欧姆，或体电阻系数小于1.0103欧姆/厘米的材料，采用这种材料制作的法拉第保护罩可防止静电敏感器件受到静电的影响。抗静电性：通常指材料抑制磨擦起电的特性。材料的抗静电性与其电阻或电阻率没有必然的联系。如有些抗静电材料，电阻很高，属高绝缘型，但起电力很小，多次摩擦都不会产生静电积累。理解并正确使用静电控制中的这些基本概念，可以使用语更加准确，这样有助于有效地实施ESD控制。,注：当防静电制品发生损坏后需及时向设备科反馈并进行更换。不可私自免强使用及自行修补。如防静电椅，防静电零件盒，防静电台垫的损坏

24、！,静电的防护与控制,静电材料制品的种类相当繁多，但主要可以归为以下几类：防静电服装和腕带防静电服装和腕带是消除人体防静电系统的重要组成部分，可以使消除或控制人体静电的产生，从而减少制造过程中最主要的静电来源。防静电服装包括防静电的套装、大褂、鞋、帽、防静电手套、防静电指套、防静电脚束等。防静电服装是用不同色的防静电布制成。布料纱线含一定比例的导电纱，导电纱又是由一定比例的不锈钢纤维或其它导电纤维与普通纤维混纺而成。通过导电纤维的电晕放电和泄漏作用消除服装上的静电。由于不锈钢纤维属金属类纤维，所以，由它织成的防静电布料的导电性能稳定，不随服装的洗涤次数而变化。防静电腕带是操作人员在接触电子元器

25、件时最重要的静电防护用品，通过接地通路，可以将人体所带的静电荷安全地谢放掉。它由防静电松紧带、活动按扣、弹簧软线 保护电阻及插头或夹头组成。松紧带的内层用防静电纱线编织，外层用普通纱线编织。,静电的防护与控制,防静电包装和运输制品等。防静电包装制品非常多，如防静电屏蔽袋、防静电包装袋、防静电海绵、防静电IC包装管、防静电元件盒(箱)、防静电气泡膜和防静电运输车等。这些包装制品除静电屏蔽用静电导体外，多数是用静电耗散材料制成的，也有些是用抗静电材料制作。目的都是对装入的电路或器件及印刷电路起静电保护作用。下图是一些常用的静电包装制品。,静电的防护与控制,防静电地板和台垫防静电地坪和台垫也是静电防

26、护工程中不可或缺的。防静电地坪的也有多种，按时效性分，有永久性的和临时性的；按材料分有导电橡胶、PVC、导电陶瓷等；按铺设方式分，有地面直接铺设的和架空的活动地板。可根据实际需要和成本决定。如需要在地面走多种电缆、渠道的环境如计算机防选择架空铺设的活动地板比较好下左图是一些防静电地板。防静电台垫主要是防静电复合胶板，主要用于捕垫桌面、流水线工作台面、货架及制做地垫等。材料面层分为草绿色，导电物质是抗静电剂；底层为黑色，导电物质是碳黑。,静电的防护与控制,上述三大类制品外，还有其他一些防静电制品，如防静电电烙铁、防静电座椅、椅套、防静电维修包等。其中防静电烙铁在后工序和维修中很常用。一般的电烙铁

27、在焊接静电敏感元器件时需要拔掉电源，而防静电烙铁采用直流温压电源，发热元件多选用具有恒温特性、静电电电容小的材料，可极大地降低各种干扰杂信号。另外，烙铁还可作静电接地，可进一步消除烙铁头上的各种信号。所以，焊接时无需拔掉电源头。另外还有：离子风机：构成：直流高压电源（或放射源）电晕放电器送风系统；特点：离子风机是一种可以提供平衡离子气流的，宽范围集中区域的桌上型离子消除器，可消除或中和宽范围集中目标或不易接触区域的静电荷。是精密电子产品，电子组装线，医药制程组装线，印刷，包装和细小产品成型的理想静电消除器，风量可以在45CFM-110CFM之间连续调节，离子平衡电压0V（+/-10V）。同维公

28、司使用SL-001台式离子风机所产生的离子风速覆盖目标范围，风速覆盖范围在40*60CM，风速中和静电时间由多种因素决定，是决定离子风机的距离和风速。工作区域要离子风机覆范围内，离子风机需调至最大风速。,静电的检测及防静电仪器的操作,静电环日点检方法:静电手环佩戴在手腕处且紧贴皮肤，手带松紧适中将静电手环的接地引线接到静电手环测试器的接地处，佩戴静电手环的那只手按压静电环测试器之金属圆盘，当绿灯（“GOOD”指示灯)亮起并且蜂鸣器鸣叫为合格;其它指示灯(“LOW,HIGH灯）亮起均判为不良（可能手带过松或接触不良等）检测合格者必须在静电环日检登记表上之相应人员名字处签名每天早上上班之前（8：0

29、0之前）必须将防静电环检测完毕（上晚班者必须在上班前检测完毕，每天至少检测一次静电手环佩戴在手腕处且紧贴皮肤，手带松紧适中，锁扣应扣到位，不能有接触不良现象（发现有接触不良的，必须马上更换)判定:1、检测时GOOD绿色显示灯亮,表示该静电环符合规 格,可正常使用.2、检测时HIGH红色显示灯亮,表示该静电环超出规格,禁止使用.3、检测时LOW红色显示灯亮,表示该静电环超出规格,禁止使用,静电的检测及防静电仪器的操作,静电场测试仪特点：FMX-002可测范围在+/-20kV，置有2LED灯确保测量距离在标准25mm处。外壳为防静电材质，并有接地扣，确保测量结果正确可靠，显示有数字和图形，清晰明确

30、.并可附有离子平衡测量板，测量离子产生器的残余电压，可测范围+/-200V。电场测量范围+/-20kV2 LED确定25mm工作距离可配离子平衡测量板（+/-200V）单按归零重置单按显示锁定闲置自动关机电池效能显示,输入电压：9V，6F22 manganese batterykV)（自动显示调整）标准测距：25mm+/-1mm离子平衡可测：+/-(0-200V)测量距离根据ESDSTM3.1-2000 lonization 标准反应时间：1秒LCD显示更新：每秒5次精确度：+/-10%工作温湿度：10-40 deg C/RH:0-60%R图形显示：正：红色/负：蓝色数据显示：静电场（1）：+

31、X.XX(0.00kV1.49kV)静电场（2）：+/-X.XX(1.00kV20.0kV)离 子 平 衡：+/-X.XX(0200V)声响报警：开机/闲置自动关机/超出可测范围自动关机：闲置约5分钟测量模式切换：静电场：单按Power掣，有一beep声;离子平衡：（请先安装离子平衡测量板）同时按Zero和Power,有二beeps声，并有押？每秒闪动。重量/体积：0.13kg/11.5cm*6.5cm*2.5cm（连电池）,静电的检测及防静电仪器的操作,表面电阻测试仪测试量程为1031012，适用于测试平面材料，通过测试结果可以分辨被测材料为导体类、静电耗散类和绝缘类。简易表面电阻测试仪配有

32、一根专用接地线，把接地线的香蕉插头插入仪器表面的接地孔，另一度端的鳄鱼夹夹在接地母线上，把表面电阻测试仪平压在防静电台垫上，可以测试台垫的接地电阻。简易表面电阻测试仪的两测试极间距依据标准固定不变，测试时把被测材料放置在绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面，手指施加适当压力（24千克力）压触测试按钮，使测试电极和材料表面接触良好，指示灯发亮档即为测试读数。使用简易表面电阻测试仪测试表面粗糙不平的软性材料时，如泡沫板、气珠袋等，需要加大测试压力，可以施加到46千克力的压力，以保证测试电极和材料表面接触良好，测试准确。,静电的检测及防静电仪器的操作,静电鞋/手腕带测试器使用方法：1.测量静电

33、鞋/脚筋带;将选择开关拨到左边“FOOTWEAR”，穿上静电鞋后站到测试板上，按住“PRESSTOTEST”键，此时，左边（LEFT）指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻，右边（RIGHT）指示为右脚穿上鞋后的对地电阻。2.测量手腕带;将选择开关拨至“WRISTSTRAP”档，戴上手腕带，将插头或鱼夹接入插座（鱼夹柱），按住“PRESSTOTEST”键，右边指示即手腕带的电阻。,静电的检测及防静电仪器的操作,测试仪器：接地电阻测量仪测试方法，下见图。将被测试地极用导线接于仪器端子E；在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针及电流探测针，各接于仪器端子P、C；设置“倍率盘倍数；自缓至

34、快摇动仪器手柄，达到约120r/min，调整“测量标度盘，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻值；反复测试35次，取平均值。,静电的检测及防静电仪器的操作,防静电台垫、地垫的防静电性能测试防静电台垫和地垫的测试方法相同，主要测试表面电阻和接地系统电阻。随机选定测试点，每个工作台垫/地垫的每个测试项目不得少于3个测试点，取平均值。测试方法：按照表面电阻测试方法测试台垫、地垫表面电阻；按图a所示，用兆欧表测试工作台面对腕带插孔电阻；按图b所示，用兆欧表测试工作台面对地系统电阻/接地电阻。,静电的检测及防静电仪器的操作,防静电工作椅的防静电性能测试工作椅主要测试表面电阻、系统电阻和摩擦电压

35、。随机选定测试点，每把工作椅每个测试项目不得少于5点，取平均值。测试方法：按左图所示，用兆欧表测试椅面对脚轮的系统电阻，需要导电性能良好的辅助金属平板；按右图所示，用兆欧表测试椅面与靠背之间电阻。,静电的检测及防静电仪器的操作,工衣、工帽、手套的测试方法工衣、工帽、手套主要测试表面电阻和摩擦电压。随机选定测试点，每个样品每个测试项目不得少于5点，取平均值。工衣、工帽、手套的表面电阻测试方法相同，在绝缘平面上进行测试。工衣需要测试袖对袖、片对片、同一片上两点之间的表面电阻。,静电的检测及防静电仪器的操作,工鞋、鞋跟的测试方法工鞋主要测试体积电阻和人体穿着时的系统电阻。按下图所示，用兆欧表测试鞋底

36、体积电阻（内电极由总重量为4KG，直径为5MM 的钢球组成）。其余参照GB4385-1995进行检验。由于工鞋底面过窄或不平，电极重量有限，压力不足，电极和工鞋底面不能良好接触导致测试误差较大。因此工鞋的测试可以按照人体穿着工鞋的实际情况测试人体和工鞋的系统电阻。防静电鞋跟需要测试鞋跟的体积电阻和鞋跟带到鞋跟底部的系统电阻。,静电的检测及防静电仪器的操作,周转箱、托盘、器件盒的测试周转箱、托盘、器件盒主要测试表面电阻、体积电阻和摩擦电压。随机选定测试点，每个样品每个测试项目不得少于3点，取平均值。按照左图，用兆欧表测试器具的表面电阻和体积电阻。周转车的测试周转车主要测试其对地系统电阻。随机选定

37、测试点，不得少于5点，取平均值。按照右图，用兆欧表测试物流车台面对地的系统电阻。防静电小工具的防静电性能测试防静电小工具主要有毛刷、镊子、吸笔、吸锡器、IC起拔器、防静电粘胶纸等，它们的测试项目主要有表面电阻和摩擦电压,防静电的标示规范,周转箱，物料车，防静电提示贴,电子零件盒，防静电提示贴,斑马线区域防静电提示贴,车间楼层，过道，防静电提示贴,防静电地板，墙面，防静电提示贴,工作台面静电皮防静电提示贴,各种防静电提示,防静电的标示规范,防静电区域地板警示标签 防静电区域地板警示标签仅用于粘贴在防静电区域（EPA）的斑马线上，也不允许在墙壁、立柱上张贴。在防静电区域斑马线上粘贴标签时，文字顶方

38、向必须朝防静电工作区域内，即从通道上站立面向防静电区域边界看警示标签为通常视向。防静电区域警示标签按每两个标签间距5米进行粘贴。,防静电的标示规范,防静电器材，如防静电周转车、工作椅、工具、包装材料等，具备静电防护的性能，使用上图标识贴。警示标签应粘贴在防静电器材的不易磨损的显目位置，如周转车最上层横梁中央、周转箱的两侧中央位置、防静电工作椅靠背中央、包装材料正表面等。,防静电的标示规范,防静电接地系统的接线端口的标识使用上图所示警示标签，它们用不干胶防水塑面纸制作。一般防静电台垫的接线端用此接地标签。在粘贴标签时应使接地端子位于标签的内孔中央。一般由于腕带插孔和防静电台垫接地等有接地要求的地

39、方。,防静电的标示规范,防静电工作区标示贴用于粘贴于墙壁，门窗，地板处。提示行走的人表示你即将进入或你已进入防静电工作区。,防静电的标示规范,防静电工作区域挂牌悬挂于生产工作车间，过道，进门处。用于提示行人表示你即将进入或你已进入防静电工作区。,防静电的标示规范,防静电零件盒,周转箱,托盘，或直接用于存放裸板，IC，三极管等静电敏感元器件等容器使用上图所示静电防护贴纸，警示标签应粘贴在防静电容器上的不易磨损且显目位置。,防静电的标示规范,防静电警示标签的规格和使用严格按上述要求执行，新增或更改标签规格必须经防静电工作小组批准后方可实施。新购防静电物品，包括设施、器材、静电敏感器件及其包装材料等

40、，如原材料已有静电防护提示，也可直接引用原防静电提示标示，但其标示必须符合GJB 1649 或IPC规定地规划调整导致防静电区域发生变化时，应及时清理原区域不再适用的防静电标识，并遵照本规范要求在新的防静电区域张贴防静电标识。防静电标识标签尽可能必免磨擦，碰撞，踩踏及各种强酸强碱液体。防静电设备上不可随意粘贴其它标示，若防静电设备/标粘出现破损，则由本区域责任人（工段长）或防静电小组成员负责及时更换。,防静电的实际运用举例,防静电工作台皮垫,使用离子风机消散静电,防静电的实际运用举例,物料车铁链接地,显示器前加装护视保护屏，并接地,防静电的实际运用举例,防静电椅,防静电文件袋,防静电的实际运用举例,防静电烙铁,防静电珍珠棉,防静电的实际运用举例,桌面静电皮及静电手环接地,防静电的实际运用举例,零件需在备料区进行拆封装盒，含有普通塑料包装袋不可随意放置于作业区,防静电车，接地链条未正确接地,防静电的实际运用举例,工作区域超出有离子风机风力的有效范围,