传感器技术8-光电式传感器-中英对照.ppt
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1、第8章 光电式传感器Photoelectric sensors,第8章 光电式传感器,光电器件和特性(photoelectric devices and features),第8章 光电式传感器,概述(overview),8.1,新型光电器件(自学)(new photoelectric devices),8.4,光电式传感器应用(applications of photoelectric sensors),光 源(light sources),光电式传感器通常由四部分组成,如图8-1 X1 表示被测量能直接引起光量变化的检测方式;X2 表示被测量在光传播过程中调制光量的检测方式。,光电传感器是
2、各种光电检测(photoelectric inspection)系统中实现光电转换(photoelectric conversion)的关键元件,它是把光信号转变成为电信号的器件。,图8-1 光电传感器的组成形式,8.1 概述,一、光谱(spectrum of light)光波:波长为10106nm的电磁波(electromagnetic wave)可见光(visible lights):波长380780nm紫外线(Ultraviolet rays):波长10380nm 波长300380nm称为近紫外线 波长200300nm称为远紫外线 波长10200nm称为极远紫外线红外线(Infrared
3、 rays):波长780106nm 波长3m(即3000nm)以下的称近红外线 波长超过3m 的红外线称为远红外线。,第二节 光源(light sources),8.2 光源,光是电磁波谱(Electromagnetic wave spectrum)中的一员;这些光的频率(波长)各不相同;都具有反射(reflection)、折射(refraction)、散射(dispersion)、衍射(diffraction)、干涉(interference)和吸收(absorption)等性质。,不同波长光的分布,8.2 光源,远紫外,近紫外,可见光,近红外,远红外,极远紫外,0.01,0.1,1,10,
4、0.05,0.5,5,波长/m,波数/cm-1,频率/Hz,光子能量/eV,106,105,104,103,5105,5104,5103,1015,51014,1014,51013,100,10,1,50,5,0.5,51015,1016,31018,=31010cm/s,光的波长与频率的关系由光速确定,真空中的光速c=2.997931010cm/s,通常c31010cm/s。光的波长和频率的关系为 的单位为Hz,的单位为cm。,8.2 光源,不同波长光的分布,8.2 光源,二、光源(发光器件)1、热辐射光源(钨丝白炽灯 Tungsten lamp)热辐射(heat radiation)光源是
5、通过将物体加热后产生热辐射来实现照明的,温度越高光越亮。用钨丝(Tungsten filament)通电加热作为光辐射源最为普通,一般白炽灯(incandescent lamp)的辐射光谱是连续的发光范围:可见光、大量红外线(infrared)和紫外线(ultraviolet-UV),所以任何光敏元件都能和它配合接收到光信号。在普通白炽灯基础上制作的发光器件有卤素灯(Halide lamp),例如溴Bromine钨灯和碘Iodine钨灯,其体积较小,光效高,寿命也较长。热辐射光源特点:(1)光源谱线丰富,主要涵盖可见光和红外光,适用于大部分光电传感器;(2)发光效率低;(3)发热大,超过80%
6、的能量转化为热量;(4)寿命短,一般为1000小时左右;(5)动态特性差,但对接收光敏元件的光谱特性要求不高,是可取之处;(6)易碎,电压高。,8.2 光源,2、气体放电灯(Gas electric discharge lamps)定义:利用电流通过气体产生发光现象制成的灯。气体放电灯的光谱是不连续的,光谱与气体的种类及放电条件有关。改变气体的成分、压力、阴极材料(Cathode material)和放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐射。低压汞灯(Mercury lamp)、氢灯(Hydrogen lamp)、钠灯(Sodium lamp)、镉灯(Cadmium lamp)、氦灯(He
7、lium lamp)是光谱仪器中常用的光源,统称为光谱灯(Spectrum lamps)。例如低压汞灯的辐射波长为254nm,钠灯的辐射波长为589nm,它们经常用作光电检测仪器的单色光源(Monochromic light source)。如果光谱灯涂以荧光剂(fluorescent agent),由于光线与涂层材料的作用,荧光剂可以将气体放电谱线转化为更长的波长,通过对荧光剂的选择可以使气体放电发出某一范围的波长,如:照明日光灯(fluorescent lamp)。气体放电光源的特点是:效率高,省电,功率大,消耗的能量仅为白炽灯1/21/3。,8.2 光源,3、发光二极管LED(Light
8、 Emitting Diode)由半导体PN结(PN junction)构成,其工作电压低、响应速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。在半导体PN结中,P区的空穴(hole)由于扩散而移动到N区,N区的电子(electron)则扩散到P区,在PN结处形成势垒(barrier),从而抑制了空穴和电子的继续扩散(diffuse)。当PN结上加有正向(forward)电压时,势垒降低,电子由N区注入到P区,空穴则由P区注入到N区。所注入到P区里的电子和P区里的空穴复合,注入到N区里的空穴和N区里的电子复合,这种复合同时伴随着以光子(photon)形式放出能量,因而有发光现象。,8.2
9、 光源,与热辐射光源和气体放电光源相比,LED具有突出的特点:体积小,可以平面封装,属于固体光源,耐震动;无辐射,无污染,是真正的绿色光源;功耗低,仅为白炽灯的1/8,荧光灯的1/2,发热少,是典型的冷光源;寿命长,一般可达10万小时,是荧光灯的数十倍;相应快,一般点亮只需1毫秒,适于快速通断和光开关;供电电压低,易于数字控制,与电路和计算机系统连接方便;在达到相同照度的条件下,LED价格比较贵。目前,LED的应用越来越广泛,特别随着白色LED的出现和价格的下跌,LED将替代现有的照明光源得到普遍推广。,8.2 光源,电子和空穴复合,所释放的能量Eg等于PN结的禁带宽度。所放出的光子能量用h表
10、示,h为普朗克常数,为光的频率。则,普朗克Planck常数h=6.610-34J.s;光速c=3108m/s;Eg的单位为电子伏(eV),1eV=1.610-19J。,hc=19.810-26mWs=12.410-7meV。可见光的波长近似地认为在710-7m以下,所以制作发光二极管的材料,其禁带宽度(Energy gap)至少应大于,h c/=1.8 eV,普通二极管是用锗Germanium或硅Silicon制造的,这两种材料的禁带宽度Eg分别为0.67eV和1.12eV,显然不能使用。,8.2 光源,常用的砷化镓(Gallium Arsenide)和磷化镓(Gallium Phosphid
11、e)两种材料固溶体(Solid solution),写作GaAs1-xPx,x代表磷化镓的比例,当x0.35时,可得到Eg1.8eV的材料。改变x值还可以决定发光波长,使在550900nm间变化,它已经进入红外区。与此相似的可供制作发光二极管的材料见下表。,表8-1 LED材料和波长,8.2 光源,发光二极管的伏安特性(Volt-Ampere characteristic)与普通二极管相似,但随材料禁带宽度的不同,开启(点燃)电压略有差异。图为砷磷化镓发光二极管的伏安曲线,红色约为1.7V开启,绿色约为2.2V。,注意,图上的横坐标(Abscissa)正负值刻度比例不同。一般而言,发光二极管的
12、反向击穿电压大于5V,为了安全起见,使用时反向电压应在5V以下。,8.2 光源,发光二极管的光谱特性(Spectral characteristic)如图所示。图中砷磷化镓的曲线有两根,这是因为其材质成分稍有差异而得到不同的峰值波长p。除峰值波长p决定发光颜色之外,峰Ridge的宽度()决定光的色彩纯度,越小,其光色越纯。,8.2 光源,4、激光器 LASER 激光(LASER-Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation)是20世纪60年代出现的最重大科技成就之一,具有高方向性(Directivity)、高单色性(Monoch
13、romaticity)和高亮度(Brightness)三个重要特性。激光波长从0.24m到远红外整个光频波段范围。,激光器种类繁多,按工作物质分类:固体激光器Solid State laser(如红宝石激光器Ruby Laser)气体激光器Gas Laser(如氦-氖气体激光器He-Ne Laser、二氧化碳激光器CO2 Laser)半导体激光器(如砷化镓激光器GaAs Laser)液体激光器Liquid Laser。化学激光器Chemical Laser。,8.2 光源,(1)固体激光器 Solid State Laser 典型实例是1960年人类发明的第一台激光器:红宝石(Ruby)激光器
14、,它的工作物质是固体。种类:红宝石激光器、掺钕的钇铝榴石激光器(简称YAG激光器)和钕玻璃激光器等。特点:小而坚固、功率高,钕玻璃激光器(Neodymium glass Laser)是目前脉冲输出功率(Impulse output power)最高的器件,已达到几十太瓦(Trillion Watt 1,000,000,000,000)。,8.2 光源,(2)气体激光器 Gas Laser 工作物质是气体。种类:各种原子(Atom)、离子(Ion)、金属蒸汽(Metal steam)、气体分子(Gas molecule)激光器。常用的有氦氖(He-Ne)激光器、氩离子(Argon Ion)激光器
15、、氪(Krypton)离子激光器,以及二氧化碳激光器、准分子激光器(Excimer Laser)等,其形状像普通的放电管一样,能连续工作,单色性好。它们的波长覆盖了从紫外到远红外的频谱区域。,8.2 光源,(3)半导体激光器 Semiconductor Laser与前两种相比出现较晚,其成熟产品是砷化镓激光器。特点:效率高、体积小、重量轻、结构简单,适宜在飞机、军舰、坦克上应用以及步兵随身携带,如在飞机上作测距仪来瞄准敌机。其缺点是输出功率较小。目前半导体激光器可选择的波长主要局限在红光和红外区域。,(4)液体激光器 Liquid Laser种类:螯合物液体激光器(Chelate liquid
16、 laser)、无机液体激光器和有机染料激光器(Organic dye laser),其中较为重要的是有机染料激光器。特点:发出的激光波长可在一段范围内调节,而且效率也不会降低,因而它能起着其他激光器不能起的作用。,8.2 光源,光电效应 Photoelectric effect是指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能量,从而产生的电效应。光电传感器的工作原理基于光电效应。光电效应分为外光电效应(External photoelectric effect)和内光电效应(Internal photoelectric effect)两大类。1、外光电效应(External photoelec
17、tric effect)在光线的作用下,物体内的电子逸出escape物体表面向外发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫做光电子。基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管等。,光子是具有能量的粒子,每个光子(Photon)的能量:,E=h,h普朗克Planck常数,6.62610-34Js;光的频率(s-1),8.3 光电器件及特性,根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受一个光子的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出,必须使光子的能量大于该物体的表面逸出功(surface escaping work),超过部分的能量表现为逸出电子的动能。外光电效应多发生于金属和金属氧化物(Metal oxi
18、de),从光开始照射至金属释放电子所需时间不超过10-9s。根据能量守恒定理 式中 m电子质量;v0电子逸出速度。,该方程称为爱因斯坦光电效应方程。,8.3 光电器件及特性,光电子能否产生,取决于光电子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功A0。不同的物质具有不同的逸出功,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称为红限频率或波长限。光线频率低于红限频率,光子能量不足以使物体内的电子逸出,因而小于红限频率的入射光,光强再大也不会产生光电子发射;反之,入射光频率高于红限频率,即使光线微弱,也会有光电子射出。,当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强(light intensity)成正比。即光强愈
19、大,入射光子数目越多,逸出的电子数也就越多。,光电子逸出物体表面具有初始动能mv02/2,因此外光电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压,也会有光电流产生。为了使光电流为零,必须加负的截止电压,而且截止电压与入射光的频率成正比。,8.3 光电器件及特性,当光照射在物体上,使物体的电阻率(Resistivity)发生变化,或产生光生电动势的现象叫做内光电效应,它多发生于半导体内。根据工作原理的不同,内光电效应分为光电导效应(Photoconductivity effect)和光生伏特效应(Photovoltaic effect)两类:(1)光电导效应 在光线作用,电子吸收光子能量从键合状态过渡
20、到自由状态,而引起材料电导率的变化,这种现象被称为光电导效应。基于这种效应的光电器件有光敏电阻(Photoresistance)。,2、内光电效应(Internal photoelectric effect),8.3 光电器件及特性,过程:当光照射到半导体材料上时,价带中的电子受到能量大于或等于禁带宽度的光子轰击,并使其由价带(valence band)越过禁带(forbidden band)跃入导带(Conduction band),如图,使材料中导带内的电子和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率(conductivity)变大。,导带,价带,禁带,自由电子所占能带,价电子所占能带,Eg,8.
21、3 光电器件及特性,材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光电导材料,总存在一个照射光波长限0,只有波长小于0的光照射在光电导体上,才能产生电子能级间的跃进,从而使光电导体的电导率增加,电阻下降。,式中、分别为入射光的频率和波长。,为了实现能级的跃迁(Transition),入射光子(Incidence photon)的能量必须大于光电导材料的禁带宽度Eg,即,8.3 光电器件及特性,(2)光生伏特效应(Photovoltaic effect)在光线作用下能够使物体产生一定方向的电动势的现象叫做光生伏特效应。基于该效应的光电器件有光电池(Photoelectric battery)和光敏二极管
22、(Photodiode)、三极管(Phototransistor)。势垒效应(Barrier effect)(结Junction光电效应)。接触的半导体和PN结中,当光线照射其接触区域时,便引起光电动势,这就是结光电效应。以PN结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于禁带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电子移向N区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从而使P区带正电,N区带负电,形成光电动势。,8.3 光电器件及特性,侧向光电效应(lateral photoelectric effect)。当半导体光电器件受光照不均匀时,有载流子(char
23、ge carrier)浓度梯度将会产生侧向光电效应。当光照部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对(electron hole pair)时,光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子浓度大,就出现了载流子浓度梯度(gradient),因而载流子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大,那么空穴的扩散不明显,则电子向未被光照部分扩散,就造成光照射的部分带正电,未被光照射部分带负电,光照部分与未被光照部分产生光电动势。基于该效应的光电器件如半导体光电位置敏感器件(PSD)。,8.3 光电器件及特性,外光电效应器件 利用物质在光照射下发射电子的外光电效应而制成的光电器件,一般都是真空的或充气的光电器件,如光电管
24、(Photo cell)和光电倍增管(Photomultiplier tube)。,光电倍增管,光电管,8.3 光电器件及特性,一、光电管及其基本特性,1.结构与工作原理,光电管有真空光电管和充气光电管两类。两者结构相似,如图。它们由一个阴极(Cathode)和一个阳极(Anode)构成,并且密封在一只真空玻璃管内。阴极装在玻璃管内壁上,其上涂有光电发射材料。阳极通常用金属丝弯曲成矩形或圆形,置于玻璃管的中央。,8.3 光电器件及特性,光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。,2.主要性能,(1)光电管的伏安特性在一定的光照射下,对光电器件的阴极
25、所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。光电管的伏安特性如图所示。它是应用光电传感器参数的主要依据。,光电管的伏安特性,50,20lm,40lm,60lm,80lm,100lm,120lm,100,150,200,0,2,4,6,8,10,12,阳极与末级倍增极间的电压/V,IA/A,8.3 光电器件及特性,(2)光电管的光照特性(illumination characteristic)通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。,其特性曲线如图所示。曲线1表示氧铯阴极光电管的光照特性,光电流I与光通量成线性关系。曲线2为锑铯阴极
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