传感器原理8压电式传感器.ppt
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1、2023/9/21,1,第八章 压电式传感器,压电效应压电材料压电传感器的等效电路与测量线路压电式传感器:加速度传感器力传感器压力传感器压电式传感器的误差分析,研究内容:,2023/9/21,2,8.1 压电效应,顺压电效应:某些电介质,在受到一定方向的外力作用而变形时,内部产生极化现象,而在其表面产生电荷,当去掉外力后,又重新回到不带电状态,这种将机械能转换成电能的现象,称为顺压电效应,又称为压电效应。逆压电效应:当在电介质极化方向施加电场时,电介质在一定方向上产生机械变形,内部出现机械应力,这种将电能转换成机械能的现象称“逆压电效应”,又称为电致伸缩效应-驱动器。,2023/9/21,3,
2、压电传感器的特点,1)磁电式速度传感器响应频率范围窄;2)磁电式机械运动部件容易损坏;3)磁电式传感器质量大,造成系统附加质量大。,与磁电式传感器的比较:,力敏感传感器,可测力、压力、加速度等双向有源传感器体积小、重量轻结构简单、工作可靠频带宽,2023/9/21,4,各种小巧的压力传感器,压电传感器的外形,压力变送器部件,压力变送器,2023/9/21,5,一、石英晶体(SiO2)的压电效应,特点:石英晶体是各向异性晶体晶体分右(左)旋外形规则,2023/9/21,6,石英晶体的三个晶轴,光学轴(基准轴,Z轴):光沿该方向通过没有双折射现象,该方向没有压电效应,光学方法确定。电轴(X轴):经
3、过晶体棱线,垂直于该轴的表面上压电效应最强。机械轴(Y轴):垂直于XZ面,在电场作用下,该轴方向的机械变形最明显。,2023/9/21,7,石英晶体压电效应机理,电偶极矩P=qL,q为电荷量,L为正负电荷之间距离。,2023/9/21,8,当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120夹角的电偶极矩P1、P2、P3。此时正负电荷重心重合,电偶极矩的矢量和等于零,即P1+P2+P3=0,所以晶体表面不产生电荷,即呈中性。,2023/9/21,9,受到X方向的力纵向压电效应,晶体沿x方向将产生压缩变形,正负离子的相对位置也随之变动。此时正负电荷重心不再重合。电偶
4、极矩在x方向上的分量由于P3的减小和P1、P2的增加而不等于零,在x轴的正方向出现正电荷,电偶极矩在y方向上的分量仍为零,不出现电荷。当作用力方向相反时,电荷的极性也随之改变。,2023/9/21,10,受到Y方向的力横向压电效应,当晶体受到沿y轴方向的压力作用时,P3增大,P1、P2 减小。在垂直x轴表面上出现电荷,它的极性为:x轴正向为负。在y轴方向上不出现电荷。当作用力方向相反时,电荷的极性也随之改变。,2023/9/21,11,受到Z方向的力没有压电效应产生,如果沿z轴方向施加作用力,因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同,所以正负电荷重心保持重合,电偶极矩矢量和等于零。这表明沿
5、z轴方向施加作用力,晶体不会产生压电效应。,2023/9/21,12,受到三向等压力没有压电效应产生,如果沿x、y、z轴方向施加相同的作用力,只有体积变化,没有形变,正负电荷重心保持重合,电偶极矩矢量和等于零,晶体不会产生压电效应,即没有体积变形的压电效应。,2023/9/21,13,二、压电陶瓷的压电效应,压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。如BaTiO3、PbTiO3、PbZrO3。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴,它有一定的极化方向,从而存在电场。在无外电场作用时,电畴在晶体中杂乱分布,它们的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质。,202
6、3/9/21,14,压电陶瓷极化处理,在陶瓷上施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,趋向于按外电场方向的排列,从而使材料得到极化。外电场愈强,就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时,外电场去掉后,电畴的极化方向变化不大,即剩余极化强度很大,这时的材料才具有压电特性。极化方向即外加电场方向,取为Z轴方向。,2023/9/21,15,压电效应演示,2023/9/21,16,三、压电常数和表面电荷计算,1、压电效应的表达式:,j:j方向的应力dij:j方向的力使得i面产生电荷的压电常数ij:j方向的力在i面产生的
7、电荷密度,电荷量:,面积,2023/9/21,17,i(i=1,2,3):表示晶体的极化方向,即在i面上产生电荷。1、2、3分别表示垂直于x、y、z轴的晶片表面j(j=1,2,3,4,5,6):1,2,3表示沿x,y,z方向作用的单向正应力;4,5,6表示在yz,zx,xy平面上承受的剪切应力,2023/9/21,18,压电特性的矩阵表示,2023/9/21,19,关于压电特性矩阵的说明:,表示压电元件的能量转换方式dij的大小表示压电效应的强弱若矩阵中某一dij=0,则表示在j方向上的应力在i方向上没有压电效应是选择转换元件、确定压电效应产生方向、转换效率的重要依据,设计思考:测量什么?如何
8、测量?,2023/9/21,20,压电效应能量转换的几种基本形式,厚度拉(压)型,长度拉(压)型,2023/9/21,21,厚度切变型,厚度切变型,三力相等:压电陶瓷受压变体积型,2023/9/21,22,正压电效应与剪切压电效应比较,2023/9/21,23,2、石英晶体的压电常数和表面电荷计算,在x面上产生电荷:,在1作用下,产生厚度变形(纵向压电效应),2023/9/21,24,在2作用下,产生长度变形(横向压电效应),由石英晶体的对称性:,2023/9/21,25,在3作用下,没有压电效应,实验研究,在剪切应力4、5、6作用下:,2023/9/21,26,在x面上产生电荷:,2023/
9、9/21,27,实验研究,在y面上产生电荷,其它方向的压电系数为:,正应力:,剪切应力:,在Z面上产生电荷,2023/9/21,28,石英晶体的压电方程,2023/9/21,29,2023/9/21,30,石英晶体的基本变形形式,厚度受力变形(d11),长度受力变形(d12),2023/9/21,31,2023/9/21,32,厚度剪切变形(d26),2023/9/21,33,3、压电陶瓷的压电常数和表面电荷计算,z:极化方向;x、y可以互换。,2023/9/21,34,1)在1、2、3作用下,z面产生电荷(d310,d320,d330),可以互换方向:x(或1)和y(或2);推论:x、y方向
10、的剪应力可以互换,即数字4、5。,2023/9/21,35,2)在4作用下,在y面产生电荷(d240)厚度切变型,y,2023/9/21,36,3)在T5作用下,在x面产生电荷(d150)厚度切变,2023/9/21,37,压电陶瓷压电方程,2023/9/21,38,2023/9/21,39,压电陶瓷变形形式:,厚度变形:d33长度变形:d31、d32厚度剪切变形:d24、d15体积变形:d31、d32、d33,2023/9/21,40,练习,例1、已知石英晶体的压电系数矩阵如下所示,当晶体受到机械应力作用时,有哪几种变形方式具有力电能量转换的作用(即具有压电效应)?,d11 d12 0 d1
11、4 0 0,dij=0 0 0 0 d25 d26 0 0 0 0 0 0,压电陶瓷,2023/9/21,41,8.2 压电材料,压电晶体压电陶瓷高分子压电材料,压电材料:明显呈现压电效应的敏感功能材料。,性能要求:大压电系数、刚度、电阻率和介电系数、机械强度高、居里点高等。,常用压电材料:,2023/9/21,42,一、压电晶体,1、石英晶体的几何切型:在晶体坐标中取某一方位的切割.,石英、酒石酸钾钠、电气石、鳞酸铵、硫酸锂等.,2023/9/21,43,X切族,X切族的IRE表示方法:xy,Y切族的IRE表示方法:yx,2023/9/21,44,几何切型的表示方法:,切型代号:表示原始方位
12、,晶片旋转角:从x或y的正端看,逆时针为+,顺时针为-,旋转轴,例如:(xytl)+50/(-500),2023/9/21,45,石英晶体的基本切型,习惯表示,习惯表示,2023/9/21,46,例1:(yxl)+35015(AT切型),2023/9/21,47,例2(xytl)+50/(-500)(NT切型):,绕厚度轴转,绕长度轴转,2023/9/21,48,2、石英晶体的主要性能,不需要人工极化没有热释电效应介电常数、压电常数的温度稳定性好居里点温度高:5730 C居里点:压电材料开始丧失压电性能的温度性能稳定、机械强度高,2023/9/21,49,二、压电陶瓷,钛酸钡(BaTiO3):
13、1)最早使用;2)由碳酸钡和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成;3)d15=260PC/N,d31=-78PC/N,d33=190PC/N,是石英的几十倍;4)工作温度最高只有80,温度稳定性和机械强度都不如石英。,铌酸锂(LiNbO3)单晶:1)多畴结构,需要极化处理;2)压电常数达80PC/N;3)工作温度760。,2023/9/21,50,压电陶瓷,锆钛酸铅(PZT):(有4、5、8等多种系列)1)目前普遍使用;2)是钛酸钡(BaTiO3)和锆酸铅(PbZrO3)组成;3)d15=410,d31=-100,d33=200;4)工作温度250。性能远优于钛酸钡。,2023/9/21,51,三
14、、聚偏二氟乙烯(PVF2),有机高分子半晶态聚合物,定向拉伸后,由晶型转化为晶型,此时有压电效应;压电常数在拉伸长度方向最大,d31=20PC/N,垂直于长度方向的压电常数 d320.2 d31;频响范围宽,10-5Hz500MHz;柔软,加工性能好;声阻抗与水、人体肌肉接近;热稳定性好。,2023/9/21,52,常用压电材料的性能参数比较,如果环境温度高,宜选择何种材料?,如果温度环境好,灵敏度要求较高呢?,2023/9/21,53,8.3 等效电路和测量电路,晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板,极板间物质等效于一种介质,则其电容量为:,A压电片的面积;d压电片的厚度;r压电材
15、料的相对介电常数。,2023/9/21,54,电荷等效电路,电压等效电路,2023/9/21,55,考虑实际使用的等效电路实际使用时与测量仪器或测量电路相连接,因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc,压电传感器的泄漏电阻Ra,和放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci。,2023/9/21,56,压电传感器的特点以及对信号处理电路的要求:,特点:有源传感器高阻抗传感器小功率要求:阻抗变换信号放大,2023/9/21,57,测量电路,压电传感器的内阻抗很高,而输出能量较小,高输入阻抗的前置放大器,1)把高输出阻抗变换为低输出阻抗;2)放大传感器输出的微弱信号。,输出形式:电压信号、电荷信号,2023/9/
16、21,58,前置放大器两种形式:电压放大器和电荷放大器。,一、电压放大器,2023/9/21,59,以压电陶瓷为压电材料(纵向压电效应):,厚度方向,2023/9/21,60,前置放大器输入电压幅值为:,2023/9/21,61,输入电压与作用力之间的相位差为:,理想情况下(输入电阻Ri、且无漏电:Ra)R=Ri|Ra=,放大器输入电压幅值为:,频率特性,2023/9/21,62,令:,从幅度-频率曲线能得到什么结论?,2023/9/21,63,讨论:,=0时(静态),Uinm/Uam=0(输入电压为零)原因:由于等效电阻不可能无穷大,存在电荷泄漏,所以不能测量静态量。3(动态),Uinm/U
17、am1,接近理想特性。一定频率范围,输入电压与作用力频率无关。一定,越高,响应越好。对低频:一定,误差加大。要求要大,扩大低频响应范围。输出电压灵敏度受到电缆分布电容影响。,2023/9/21,64,改善低频特性的措施:,灵敏度:,低频特性和灵敏度要求矛盾,2023/9/21,65,采取措施:提高绝缘电阻,根据给定精度合理选择电压放大器的输入电阻Ri。,讨论:,电路简单、可靠、元件少、价格低;电缆长度有限(1.2m),不能更换。,电压放大器电路特点:,2023/9/21,66,二、电荷放大器,具有深度电容负反馈的高增益运算放大器,2023/9/21,67,当开环增益、输入电阻和反馈电阻相当大,
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