《压电传感器》课件.ppt
《《压电传感器》课件.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《《压电传感器》课件.ppt(70页珍藏版)》请在三一办公上搜索。
1、第六章 压电传感器,压电式传感器是以某些物质的压电效应制作的一种传感器。当材料受力作用变形时,其表面会有电荷产生,从而实现非电量测量。压电式传感器是一种典型的有源传感器(发电型传感器)。压电传感元件是力敏感元件,它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量,例如动态力、动态压力、振动加速度等,但不能用于静态参数的测量。压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件,因此结构坚固、可靠性、稳定性高。,第一节 压电式传感器的工作原理,一、压电效应 二、压电材料三、压电机理,一、压电效应演示,当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为
2、静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。,压电效应,某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,内部会产生极化现象,同时在其表面上产生电荷,当外力去掉后,又重新回到不带电的状态,这种现象称为“压电效应”。在电介质的极化方向上施加交变电场或电压,它会产生机械变形,当去掉外加电场时,电介质变形也随之消失,这种现象称为“逆压电效应”(电致伸缩效应)。,二、压电材料,具有压电效应的电介物质称为压电材料。在自然界中,大多数晶体都具有压电效应,然而大多数晶体的压电效应都十分微弱。石英晶体及钛酸钡、锆钛酸铅等人造压电陶瓷是性能优良的压电材料。,压电晶体(单晶):它包括压电石英晶体和其它压电单晶;压
3、电陶瓷(多晶体):也称多晶半导瓷,为极化处理的多晶体;新型压电材料:有压电半导体和有机高分子压电材料两种。目前普遍应用的是压电单晶中的石英晶体和压电陶瓷中的钛酸钡、锆钛酸铅、铌酸盐系压电陶瓷。,压电晶体 压电陶瓷 新型压电材料,压电材料可以分为三大类,压电晶体,石英晶体:俗称水晶,化学成分为SiO2,有天然和人工之分。目前传感器中使用的均是以居里点为573、晶体结构为六角晶系的石英。,石英晶体的外形(a)天然石英晶体;(b)人工石英晶体;(c)右旋石英晶体的理想外形m柱面 R大棱面 r小棱面 s棱界面 x棱角面,石英晶体振荡器(晶振),石英晶体在振荡电路中工作时,压电效应与逆压电效应交替作用,
4、从而产生稳定的振荡输出频率。,晶振,.压电常数小(压电系数d112.3110-12CN),其时间和温度稳定性极好,常温下几乎不变,在20200内其温度变化率约为2.15106/;.机械强度和品质因数高,固有频率高且十分稳定,动态特性好;.居里点573,无热释电性,且绝缘性、重复性均好。所以石英是制备压电传感器的理想压电材料。天然石英的上述性能尤佳,因此它们常用于精度和稳定性要求高的场合和制作标准传感器。,除了天然和人造石英压电材料外,还有水溶性压电晶体,属于单斜晶系。例如酒石酸钾钠(NaKC4H4O64H2O)、酒石酸乙烯二铵(C6H4N2O6)等,还有正方晶系如磷酸二氢钾(KH 2PO4)、
5、磷酸二氢氨(NH 4H2PO4)等等。,石英晶体的主要性能特点:,压电陶瓷,压电陶瓷属于铁电体物质,是人工制造的多晶压电材料,它由无数细微的电畴组成。常用的压电陶瓷有钛酸钡(BaTiO3)、锆钛酸铅(PbTiO3PbZrO3)(PZT)、铌酸盐系压电陶瓷。它们的压电常数比石英晶体高,如钛酸钡压电系数 d3319010-12 CN,但介电常数、机械性能不如石英好。压电陶瓷具有明显的热释电效应。,热释电效应:某些晶体除了由于机械应力的作用而引起的电极化(压电效应)之外,还可由于温度变化而产生电极化。用热释电系数来表示该效应的强弱,它是指温度每变化1时,在单位质量晶体表面上产生的电荷密度大小,单位为
6、C/(m2g)。,常用的压电陶瓷材料主要有以下几种:1)钛酸钡(BaTiO3)具有较高的压电常数(d=19010-12C/N)和相对介电常数(10005000)。但它的居里点较低(约120),机械强度也较低,现已不常用。2)锆钛酸钡系列压电陶瓷(PZT)由钛酸铅和锆酸铅组成的固体熔体。它有较高的压电常数d=(200500)10-12C/N和居里点(500 左右),是目前经常采用的一种压电材料。3)铌镁酸铅压电陶瓷(PMN),具有较高的压电常数d=(800900)10-12C/N和居里点(260)它能在压力大致70MPa时正常工作,因此可以作为高压下的力传感器。目前还有一些铌酸盐具有很高的居里点
7、,可以作为高温压电传感器。,压电陶瓷外形,无铅压电陶瓷及其换能器外形(上海硅酸盐研究所研制),新型压电材料,压电半导体 1963年以来出现了多种压电半导体,如硫化锌(ZnS)、碲化镉(CdTe)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)、碲化锌(ZnTe)和砷化镓(GaAs)等。这些材料的显著特点是即有压电特性,又具有半导体特性。因此,即可用其压电性研制传感器,又可用其半导体性制作电子器件;也可以二者结合,集元件与线路于一体,研制成新型压电集成传感器测试系统。,高分子压电材料,典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF2或PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、改性聚氯乙烯(PVC)等。其中以PVF2和PV
8、DF的压电常数最高。有的材料可比压电陶瓷高几十倍。其输出脉冲电压高到可以直接驱动CMOS集成门电路。高分子压电材料是一种柔软的压电材料,可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。经过极化处理后就显现出压电特性。它不易破碎,具有防水性,可以大量连续拉制,制成较大面积或较长的尺度,价格便宜;频率响应范围较宽,可以从0.1Hz直至109Hz,测量动态范围可达80dB。,因此在一些不要求测量精度的场合,例如水声测量、防盗、振动测量等领域中获得应用。它的声阻抗约为0.02MPa/s,与空气的声阻抗有较好的匹配,因而是很有希望的电声材料。例如在它的两侧面施加高电压音频信号时,可以制成特大口径的壁挂式低音喇叭。高
9、分子压电材料的工作温度一般低于100。温度升高时,灵敏度将降低。它的机械强度不够高,耐紫外线能力较差,不宜暴晒,以免老化。,高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆,压电式脚踏报警器,高分子压电薄膜制作的压电喇叭(逆压电效应),压电材料的压电特性常用压电方程来描述:qi=dij j 或 Q=dij F dij 压电常数(CN),(i=1,2,3,j=1,2,3,4,5,6);q 电荷的表面密度(Ccm2),单位面积上的作用力,即应力(Ncm2);Q 总电荷量(C),F 作用力(N)。i 晶体的极化方向。当产生电荷的表面垂于x 轴(y 轴或z 轴)时,记为i=1(2 或3)。j=1,2,3,4,5,6
10、,分别表示沿 x 轴、y 轴、z 轴方向的单向应力和在垂直于 x 轴、y 轴、z 轴的平面(即 yz 平面、zx 平面、xy 平面)内作用的剪切力。,三、压电机理,单向应力的符号规定拉应力为正,压应力为负;剪切力的符号用右螺旋定则确定。图中表示了它们的方向。另外,还需要对因逆压电效应在晶体内产生的电场方向也作一规定,以确定 dij 的符号。当电场方向指向晶轴的正向时为正,反之为负。压电材料的压电特性可用它的压电常数矩阵表示:,1.石英晶体的压电机理,石英晶体是单晶体结构,属六角晶系,其形状为六角形晶柱,两端呈六棱锥形状。共有30个晶面,其中六个m 面(或称柱面),六个R 面(或称大棱面),六个
11、 r 面(或称小棱面),还有六个 s 面(棱界面)和六个 x 面(棱角面)。天然和人造石英的外形虽有不同,但是两个晶面之间的夹角是相同的。,石英晶体各个方向的特性是不同的。,图6-1表示了天然结构的石英晶体外形,它是六角形晶柱,在晶体学中可以用三根相互垂直的轴来表示。石英晶体各个方向的特性是不同的,其中纵向轴z称为光轴,经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴,与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。,图6-1 石英晶体(a)晶体外形;(b)切割方向;(c)晶片,可以用金刚石刀具沿与z轴垂直的方向,从图6-1a所示的石英晶体上切割出一块正平行六面体的切片,如图6-1b所示,在进一步从该六面体上切割出
12、正方形薄片,如图6-1c所示,这就是工业中常用的石英晶片。通常把垂直于x轴的表面称为x面,把垂直于y轴的表面称为y面。,图6-1 石英晶体(a)晶体外形;(b)切割方向;(c)晶片,当晶体沿电轴(x轴)方向受到压力时,晶格产生变形,硅离子的正电荷中心上移,氧原子的负电荷中心下移,正负电荷中心分离,在晶体的x面的后表面产生正电荷,前表面出现负电荷而形成电场。反之如果沿x轴方向受到拉力作用时,情况恰好相反,x面的后表面将产生负电荷,前表面产生正电荷。如果受到的是交变力,则在x面的前后表面将产生交变电场。如果在x面得前后表面上镀上银电极,就能测出所产生电荷的大小。,同样,当晶体的机械轴(y轴)方向受
13、到压力时,也产生晶格变形,硅离子的正电荷中心下移,氧原子的负电荷中心上移,在x面的后表面产生负电荷,前表面产生正电荷,这个过程恰好与x轴方向受压力时所产生的电场方向相反。,图6-3晶体切片上电荷极性与受力方向的关系X轴方向受压力;(b)X轴方向受拉力;(c)Y轴方向受压力;(d)Y轴方向受拉力,从上述分析可知,无论沿x轴方向还是y轴方向施力,电荷只产生在x面上。光轴(z轴)方向受力时,由于晶格变化不会引起正负电荷中心的分离,所以不会产生压电效应。沿x轴施加力,而在垂直于x轴晶面上产生电荷的现象,称为“纵向压电效应”沿y轴施加力,而在垂直于x轴的晶面上产生电荷的现象,称为“横向压电效应”。,在晶
14、体弹性限度内,在电轴(x轴)方向施加压力Fx时,在与电轴x垂直的平面上将产生电荷,其大小为,(6.1),式中,d11为x方向受力的压电系数。若在同一切片上,沿机械轴y方向施加压力Fy,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为,(6.2),式中:d12y轴方向受力的压电系数,根据石英晶体的对称性,有d12=-d11;a、b晶体切片的长度和厚度。由式6.2可以看出,沿机械轴方向向晶片施加压力时,产生的电荷与几何尺寸有关。电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。,压电陶瓷是人工多晶体(无数微细的单晶组成),它的压电机理与石英晶体不同。压电陶瓷材料内的晶粒有许多自发极化的电畴。极化处理以前,
15、各电畴任意方向无序排列,自发极化的作用相互抵消,陶瓷内极化强度为零。此时压电陶瓷呈电中性,不具有压电性质。,未极化 正在极化 极化后,2.压电陶瓷的压电机理,在陶瓷上施加外电场(2030kVcm)时,电畴自发极化方向转到与外加电场方向一致,从而使材料得到极化,此时压电陶瓷具有一定极化强度。当(23h后)外电场撤销,各电畴的自发极化在一定程度上按原外加电场方向取向,陶瓷极化强度并不立即恢复到零,存在剩余极化强度。同时陶瓷片极化的两端出现束缚电荷,一端为正,另一端为负。由于束缚电荷的作用,在陶瓷片的极化两端面很快吸附一层来自外界的自由电荷,自由电荷与束缚电荷数值相等、极性相反,因此陶瓷片对外不呈现
16、极性。,如果在压电陶瓷片上加一个与极化方向平行的外力(压力),陶瓷片产生压缩变形,片内的束缚电荷之间距离变小,电踌发生偏转,极化强度变小,束缚电荷减少。因此吸附在其表面的自由电荷,有一部分被释放而呈现放电现象。当撤销压力时,陶瓷片恢复原状,片内的束缚电荷之间距离变大,极化强度增大,因此又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。这种因受力而产生的机械效应转变为电效应,将机械能转变为电能,就是压电陶瓷的正压电效应。放电电荷的多少与外力成正比例关系。即,式中 d33 压电陶瓷的压电系数;F 作用力。,主要特性:(1)机-电转换性能:应具有较大的压电常数 d。(2)机械性能:压电元件作为受力元件,希望它的强
17、度高,刚度大,以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率。(3)电性能:希望具有高的电阻率和大的介电常数,以期减弱外部分布电容的影响和减小电荷泄漏并获得良好的低频特性。(4)温度和湿度稳定性良好,具有较高的居里点,以期得到较宽的工作温度范围。(5)时间稳定性:压电特性不随时间蜕变。居里点:压电材料开始丧失压电性的温度。1880年法国物理学家P.居里和J.居里兄弟发现了压电效应。,第二节 压电材料的主要特性,当压电晶体片受力时,在晶体片的两表面上聚集等量的正、负电荷,晶体片的两表面相当于一个电容器的两个极板,两极板间的物质等效于一种介质,因此压电传感器可以看做一个电荷发生器,同时也是一个电容器。其电
18、容量为,S极板面积(压电片面积);h 压电片厚度;r压电材料的相对介电常数;0 真空介电常数。,一、压电式传感器的等效电路,第三节 压电式传感器的信号调理电路,对此式可用两种电路来等效压电式传感器:电压等效电路:一个电压源与一个电容Ca串联构成,此电路输出为,电压源,两极板间的开路电压为,只有在外电路负载无穷大,且内部无漏电时,受力产生的电压U才能长期保持不变;如果负载不是无穷大,则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。,电荷等效电路:电荷源与一个电容Ca并联构成,此电路输出为,此时,该电路被视为一个电荷发生器。,电荷源,压电传感器在实际使用时要与测量仪器或测量电路相连接,因此还必须考虑连
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 压电传感器 压电 传感器 课件
链接地址:https://www.31ppt.com/p-6075652.html