集成电路设计-常用半导体器.ppt
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1、1,集成电路设计基础,2,常用半导体器件,4.1 半导体基础知识,能带,1、孤立原子能级原子中电子分层绕核运动,从能量观点看,在各层轨道上运动的电子具有一定的能量,这些能量是不连续的,只能取某些确定的数值,称为能级,可以用电子的能级来描述这些材料;2、共有化运动原子的电子壳层交叠;子壳层间电子相互转移运动。3、能带形成每个孤立原子某子壳层电子可能取的能量状态(能级)完全相同,但原子彼此靠近时,共有化运动使得电子就不仅受到原来所属原子的作用,还要受到其他原子的作用,这使得电子能量发生微小变化,孤立原子的每个能级将演化成由密集能级组成的准连续能带。孤立原子的每个能级都有一个能带与之对应,所有这些能
2、带称为允许带,相邻两个允许带间的空隙代表晶体所不能占有的能量状态,称为禁带。,4,导带、价带(满带)和禁带 a、导带激发态形成的能带;电子未填满或空带;电子在电场作用下形成电流。b、价带价电子所填充的能带;如价带中所有量子态均被电子占满,称为满带,满带不具有导电作用。无任何电子占据的能带称为空带。c、禁带导带与价带间的能量间隔。,5,1 价带为未满带能导电2 价带为满带,但禁带宽度为零,价带与较高的空带相交叠,电子遵循费米-狄拉克(Fermi-Dirac)统计分布规律。能量为E的一个独立的量子态被一个电子占据的几率为:,费米分布函数,晶体中电子的能量状态呈能带分布,那么晶体中电子本身又是如何按
3、照能量分布的呢?,空穴分布几率,7,费米能级物理意义,T=0K时:E EF,f(E)0费米能级以下能级完全被电子填满,费米能级以上的能级全空,没有一个电子T0K时:E 1/2 E=EF,f(E)=1/2 E EF,f(E)费米分布函数以EF点向两边对称伸展。物理意义:晶体中费米能级在能带中的位置反映了各能级电子占据的情况,F(E),当E-EFk0T时,对导带或价带中所有量子态,电子或空穴都可以用玻耳兹曼统计分布描述。由于分布几率随能量呈指数衰减,因此导带绝大部分电子(浓度)分布在导带底附近,价带绝大部分空穴 分布在价带顶附近,起作用的载流子都在能带极值附近。,载流子浓度与温度和费米能级 的位置
4、有关。,价带顶附近,导带底附近,能带中的能级,电子,空穴,10,*材料性质取决于其短程序:同一材料的非晶、多晶性质与单晶相同。,11,12,金刚石结构 Si Ge,闪锌矿结构 GaAs 6H-SiC GaN,纤锌矿结构 GaN 4H-SiC,本征半导体(Intrinsic semiconductor),本征半导体:完全纯净的无杂质的且具有晶体结构的半导体。,制造半导体器件的半导体材料的纯度要达到99.9999999%,常称为“九个9”。它在物理结构上呈单晶体形态。,“本征”本身特征,即本色(Intrinsic)也!,Silicon,Germaniun,本征半导体的原子结构为共价键结构:相邻原子
5、间的距离很小,因此相邻两个原子的一对最外层电子(价电子)不但各自围绕自身所属的原子核运动,而且出现在相邻原子所属的轨道上,成为共用电子,这样的组合称为共价键结构,本征半导体的晶格结构,原子在一定条件下因失去一个价电子而带正电。自由电子和空穴总是成对出现,即数目相等。当本征半导体加电后,自由电子逆着电场方向移动,而因为空穴的存在,价电子将按照一定的方向依次填补空穴,也就是说空穴也产生定向移动,形成空穴电流。自由电子和空穴所带电荷极性不同,运动方向相反,电流为两电流之和。运载电荷的粒子统称为载流子(Carrier).与导体导电只有自由电子相区别,为半导体导电的特殊性质。,本征半导体中的两种载流子,
6、若T,将有少数价电子克服共价键的束缚成为自由电子,在原来的共价键中留下一个空位空穴。导电粒子产生,当温度 T=0 K 时,半导体不导电,如同绝缘体。无导电粒子,1.半导体在热激发下产生自由电子和空穴对,这一现象称为本征激发,与温度密切相关也称 热激发。2.复合:自由电子在运动过程中与空穴相遇就会填补空穴,使得两者同时消失的现象。,本征半导体载流子浓度,动态平衡:在一定温度下,本征激发所产生的自由电子与空穴对,与复合的自由电子与空穴对数目相等,称为动态平衡。换而言之,在一定温度下,本征半导体中载流子浓度是一定的,并且自由电子与空穴的浓度相等,环境温度升高时,热运动加剧,挣脱共价键附属的自由电子增
7、多,空穴也随之增多,即载流子浓度升高,因此导电性能增强。载流子浓度与环境温度,热力学零度时需要破坏共价键需要的能量又称禁带宽度有关。,本征半导体的能带用能量关系表达本征激发,室温下,Si的禁带宽度,Ge的禁带宽度,,产生(Upward)本征激发,反之(Downward)复合(湮灭),动态平衡,-273 C,Recombination,本征半导体载流子浓度与费米能级,本征费米能级基本位于禁带中线处,,平衡态非简并半导体的本征激发成对地产生电子-空穴对,,本征载流子浓度,导带电子浓度,价带空穴浓度,导带底,价带顶,约 0.5eV,本征费米能级,有效状态密度,质量作用定律(热平衡条件的半导体都满足)
8、,杂质半导体(Impurity semiconductor),杂质(Impurity)半导体一般有两种,N 型半导体(Negative type),P 型半导体(Positive type),因本征提供不足,故需掺杂(Doped)。,Lithium atom and ions,N 型半导体,在硅或锗的晶体中掺入少量的5价杂质元素,如磷P、锑Sb、砷As等,即 构成N型半导体(或称电子型半导体)。,通过杂质电离增加了导电电子数量,自由电子浓度远大于空穴的浓度,即 n p 掺杂目的!电子称为多数载流子(简称多子Majority carriers);空穴称为少数载流子(简称少子Minority ca
9、rrier)。,5 价杂质原子称为施主(Donor)原子,作用是 提供导电电子。,价带,导带,施主能级,电离能,杂质(多子),自由态(导电子),束缚态,N 型半导体,约 0.044eV,按能带图(Energy band diagram)的意义如何理解?,靠近导带容易脱离,多数载流子(多子)富裕的载流子少数载流子(少子)稀少的载流子,以 N 型半导体为例,杂质电离,本征激发,少子,多子,杂质的贡献很大,+,施主电离,浓度决定于掺杂原子的浓度,浓度决定于温度,成对出现,在硅或锗的晶体中掺入少量的3价杂质元素,如硼B、镓Ga、铟In等,即 构成P型半导体(或称空穴型半导体)。,3 价杂质原子称为受主
10、(Acceptor)原子,作用是 提供导电空穴。,P 型半导体,受主电离,P 型半导体,杂质(多子),束缚态,自由态(导电空穴),受主能级,价带,导带,电离能,注意:能带图是按电子的能量标注的,电子,空穴,空穴浓度多于电子浓度,即 pn。空穴(Holes)为多数载流子,电子(Electrons)为少数载流子。,说 明:,掺入杂质的浓度决定多数载流子浓度;温度决定少数载流子的浓度。,3.杂质半导体总体上保持电中性。,2.杂质半导体载流子的数目要远远高于本征半导体,因而其导电能力大大改善。,T=300K(27)室温下,本征硅的电子和空穴浓度:n0=p0=1.51010/cm3,掺杂后 N型半导体中
11、的自由电子浓度:n=51016/cm3,本征硅的原子浓度:5.01022/cm3,以上三个浓度基本上依次相差 106/cm3,本征激发较少。,Three parameters,应该满足:,负电荷:,正电荷:,N型半导体的载流子浓度,电中性条件:,施主能级被占据几率为:,受主能级被空穴占据几率为:,杂质半导体载流子浓度与费米能级,杂质能级与能带中能级的区别:能带中能级可以容纳两个自旋相反的电子,而杂质能级只能容纳一个任意自旋的电子;所以杂质能级被占据的几率不能用标准的费米分布函数。,电离受主浓度,受主能级上的空穴浓度,电离施主浓度,施主能级上的电子浓度,施主能级上的电子浓度就是没有电离的施主杂质
12、浓度;受主能级上的空穴浓度就是没有电离的受主杂质浓度。杂质有多少电离,显然取决于杂质能级与费米能级的相对位置。以施主为例:当ED-EFk0T时,杂质几乎全部电离,反之当EF-EDk0T时,施主杂质几乎没有电离。当EF=Ed时,杂质1/3电离。,29,非简并半导体:掺入杂质原子的浓度与晶体或者半导体原子浓度相比很小,这些少量杂质原子的扩散速度足够快,因此施主电子间不存在相互作用,杂质会在半导体中引入分立的、无相互作用的杂质能级简并半导体:当杂质浓度增加,杂质原子间距缩小,施主电子开始相互作用,单一的分立的杂质能级将分裂为一个能带,随着杂质浓度升高,杂质能带宽度增加,当掺入杂质原子浓度与有效状态密
13、度可比拟,杂质能带可能与导带底相交叠,杂质的补偿作用工艺的需要,因器件很小,补偿:在半导体中既掺入施主杂质,又掺入受主杂质,施主杂质提供的自由电子和受主杂质具有相互抵消的作用。,用 和 表示施主和受主浓度,受主能级,施主能级,导带中的电子浓度:,N 型半导体基体,有效施主浓度,掺磷,掺硼,高浓度扩散,高浓度扩散,转型,再转型,补偿型本征半导体材料:半导体杂质的存在会影响半导体中载流子的迁移率、寿命等,因此补偿型本征半导体材料的性质比本征半导体材料差。,同时含一种施主杂质和一种受主杂质,同时含若干种施主杂志和若干种受主杂质,一般情况的电中性条件-杂质补偿,32,第四章 常用半导体器件,4.2 P
14、N结,33,结面,基体,衬底(外延层),PN结:采用不同的掺杂工艺,将P型半导体与N型半导体制作在同一块硅片上,在它们交界面就形成PN结,PN结具有单向导电性,平衡 PN 结,在P型半导体与N型半导体的紧密接触交界处,会形成一个具有特殊电学性能过渡区域;,平衡PN结就是指没有外加电压、光照和辐射等的PN结。,结面,基体,衬底(外延层),35,平衡pn结空间电荷区与自建电场形成 1)相互接触时,在交界面处存在着电子和空穴的浓度差,p区和n区多子分别向对方扩散2)界面p区侧留下固定离化受主负电荷,n区侧留下固定的离化施主正电荷;该正负电荷称为空间电荷,存在正负空间电荷的区域称为空间电荷区或者耗尽层
15、。3)正-负电荷间产生电场,该电场称为空间电荷区自建电场;4)自建电场使空间电荷区内的电子和空穴产生与其扩散运动方向相反的漂移运动;,36,空间电荷区与自建电场形成5)随扩散运动的进行,空间电荷区正、负电荷量逐渐增加,空间电荷区逐渐变宽,自建电场也随之逐渐增强,同时电子和空穴的漂移运动也不断加强;6)电子和空穴各自的扩散(扩散流)与漂移(漂移流)相抵消时,正、负空间电荷量、正、负空间电荷区宽度、自建电场、空间电荷区内电子和空穴分布达到动态平衡,两个相反的运动大小相等、方向相反;形成稳定分布。7)电中性决定了空间电荷区内正、负空间电荷量相等。,PN结=空间电荷区=耗尽层=内电场=电阻,漂移运动
16、电场力 少子,扩散运动 浓度差 多子,37,接触电位差(扩散势,内建电场)(以突变结为例)自建电场的存在,在pn结空间电荷区内产生了由 p区侧负电荷区到n区侧正电荷区逐渐上升的电位分布,使中性n区形成了一个相对于中性p区为正的电位差,该电位差称为pn结接触电位差,用bi表示。在空间电荷区边界,多子和少子浓度与相应中性区相等,对电场表达式积分即可得到接触电位差,38,能带结构 孤立p区和n区能带结构如下图 空间电荷区自建电场的存在,形成从中性p区到中性n区逐渐上升的电位。使空间电荷区内导带底、价带顶及本征费米能级依其电位分布从p区边界到n区边界逐渐下降。设空间电荷区内电位分布为(x),那么(x)
17、、能带结构如图示,平衡pn结费米能级处处相等,空间电荷区,少子,少子,多子,多子,扩散区,分布按指数规律变化,耗尽区或耗尽层空间电荷区的载流子已基本被耗尽;,n:电子,p:空穴,Depletion layer,空间电荷区为高阻区,因为缺少载流子;,自建电场,平衡PN结两侧载流子浓度分布,40,非平衡pn结,定 义:施加偏压的np结。此时pn结处于非平衡状态,称非平衡pn结。正向偏置:偏置电压为p区电位高于n区电位 反向偏置:偏置电压为n区电位高于p区电位 特 征-与平衡pn结相比:空间电荷区内电场发生变化-破坏了载流子扩散、漂移的动态平衡 空间电荷区宽度变化;载流子分布变化;产生新的物理现象-
18、形成电流:,41,正 偏-电场被削弱外电场将多数载流子推向空间电荷区,空间电荷区变窄,空间电荷区内建电场被削弱;载流子扩散运动大于漂移运动,发生非平衡少子注入:电子向p区扩散,空穴向n区扩散。破坏了载流子扩散、漂移的动态平衡;载流子浓度在空间电荷区及边界高于其平衡值;边界处非平衡少数载流子向体内扩散;非平衡少子边扩散边与多子复合,并在扩散长度处基本被全部复合。#少子扩散区:非平衡少子扩散并被复合的区域称为非平衡少子扩散区。被复合多子从外电极提供,构成-正向(扩散)电流。正向注入,PN结的P区接电源正极为正向偏置(称正偏 forward biased),空间电荷区内电场发生变化-破坏了载流子扩散
19、、漂移的动态平衡;空间电荷区宽度变化;载流子分布变化;产生新的物理现象-形成电流,42,反 偏-电场被加强,1.外电场与内建电场方向相同,排斥多数载流子的扩散,使得空间电荷区加宽,内电场加强;2.内电场加强了少数载流子的漂移运动载流子漂移运动,空间电荷区及其边界少子浓度低于平衡值;3.扩散长度内产生电子-空穴对;产生的多子漂移向电极;产生的少子向 xm内扩散,并在电场作用下漂移进对方及漂移向电极-形成反向(漂移)电流。因为少子数目极少,即使所有的少子都参与漂移运动,反向电流也非常小,反向抽取认为PN结处于截止状态。#载流子的产生区也称为少子扩散区。,空间电荷区内电场发生变化-破坏了载流子扩散、
20、漂移的动态平衡;空间电荷区宽度变化;载流子分布变化;产生新的物理现象-形成电流,多子被阻挡无大电流少子做贡献微电流作用电阻很大,正向电流转换和传输,Forward-active regime,PN结伏安特性方程:,PN结的正、反向V-A特性,将PN结的正向特性和反向特性组合起来,正向电流很小,导通电压UTH(称门槛电压)正向电流达到某一明显数值时 所需外加的正向电压正常工作区的边界;,急剧增大,室温时,锗PN结的导通电压约为0.25 V,硅PN结为0.5 V。,反向饱和电流,正向电压正向导通;正向注入使边界少数载流子浓度增加很大,成指数规律增加,电流随着电压的增加快速增大;,反向电压反向截止;
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