压力测量及仪表.ppt
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1、第二章 压力测量及仪表,第一节 压力测量的基本知识第二节 弹性式压力表第三节 霍尔式压力传感器第四节 应变式压力传感器第五节 扩散硅式压力传感器第六节 电容式压力传感器第七节 膜盒式压力(差压)变送器第八节 压力测量仪表的应用第九节 压力测量仪表实训,一、概述在工程上将垂直而均匀作用在单位面积上的力称为压力,两个测量压力之间的差值称为压力差或压差,工程上习惯叫差压。在国际单位制和我国的法定计量单位中,压力的单位采用牛顿/米2(N/m2),通常称为帕斯卡或简称帕(Pa)。帕(Pa)这个单位在实际应用中太小,不方便,目前我国生产的各种压力表都统一用 kPa(103Pa)或 MPa(106Pa)为压
2、力或差压的基本单位。,在工程上,被测压力通常有绝对压力、表压和负压(真空度)之分。三者关系如图 2.1 所示。,二、压力的检测方法和检测仪表(1)液柱式压力检测(Ph转换)(2)弹性式压力检测(P转换)(3)电气式压力检测(PU、PR 或 PC 转换等)(4)活塞式压力检测(零位法,PW=0),第二节 弹性式压力表,一、弹性元件弹性元件是弹性式压力表的测压敏感元件,弹性压力表的测量性能主要取决于弹性元件的弹性特性,与弹性元件的材料、形状、工艺等有关。不同的弹性元件测压范围也不同,工业上常用的弹性式压力表所使用的弹性元件主要有膜片、波纹管、弹簧管等,如图 2.2 所示。,膜片:是一种圆形薄板或薄
3、膜,周边固定在壳体或基座上。波纹管:是一种具有同轴环状波纹,能沿轴向伸缩的压力弹性元件。当它受到轴向力作用时能产生较大弹簧管:是一根弯曲成圆弧形、横截面呈椭圆形或近乎椭圆形的空心管。,二、弹簧管压力表的结构及工作原理,弹簧管式压力表主要由弹簧管、传动机构、指示机构和表壳组成,如图2.3所示。图 2.3 弹簧管压力表1弹簧管;2拉杆;3扇形齿轮;4中心齿轮;5指针;6面板;7游丝;8调节螺钉;9接头,1.弹簧管压力表的结构和各部件作用弹簧管:是一个压力-位移的转换元件(可用符号表示为P)。传动机构(又称机心):其作用是将自由端所产生的位移传送并放大(可用符号表示为)。它由拉杆、扇形齿轮、中心齿轮
4、、游丝等组成。拉杆:仅起传送位移的作用。游丝:用来克服因机械传动机构间的间隙而产生的仪表变差。调整螺钉:改变其位置,即可改变机械传动的放大系数,从而实现压力表量程的调整。指示机构:包括指针、刻度盘等。其主要作用是将位移通过指针转动指示出来,并在刻度盘上读取压力值。表壳(又称机座):其主要作用是固定和保护仪表的零部件。,2.弹簧管压力表的工作原理如图2.3所示,被测压力由接头9通入,迫使弹簧管1的自由端向右上方扩张,自由端的弹性变形位移通过拉杆2使扇形齿轮3作逆时针偏转,进而带动中心齿轮4作顺时针偏转,于是固定在中心齿轮上的指针5也作顺时针偏转,从而在面板6的刻度标尺上显示出被测压力p的数值。,
5、三、弹簧管的材料及弹簧管压力表的特点弹簧管式压力表结构简单、使用方便、价格低廉,使用范围广,测量范围宽,可以测量负压、微压、低压、中压和高压,因此应用十分广泛。根据制造的要求,仪表精度最高可达 0.15 级。在生产中,常需要把压力控制在一定范围内,以保证生产正常进行。这就需采用带有报警或控制触点的压力表。将普通弹簧管式压力表增加一些附加装置,即成为此类压力表,如电接点信号压力表。,第三节 霍尔式压力传感器,霍尔式压力计是利用霍尔元件基于霍尔效应原理实现压力-位移-霍尔电势转换的。,一、霍尔效应设有一霍尔片(N 型半导体薄片),在其 Z 轴方向施加一个磁场,在 Y 轴方向通入电流,则在其 X 轴
6、方向将产生电势,该电势就是霍尔电势 VH,这一物理现象称为霍尔效应。因在 N 型(硅)半导体薄片的 Y 轴方向施加电场,则半导体薄片内的带电粒子将沿 Y 轴方向运动;又因半导体薄片同时处于磁场中,根据物理学原理,在磁场中运动的带电粒子必然要受到力的作用,故这些沿 Y 轴方向运动的粒子将偏转方向运动,如图2.5所示,带电粒子受力方向符合左手定则,从而造成霍尔片左端面电子过剩呈负电位,而右端面相应地显示出正电位,从而产生霍尔电势。,图2.5 霍尔效应原理,霍尔电势 VH 的大小与霍尔片的材料、几何尺寸、所通过的电流(称控制电流)I、磁感应强度 B 等因素有关,可用下式表示 式中 RH霍尔系数;d霍
7、尔片厚度;b霍尔片的电流通入端宽度;霍尔片的电势导出端宽度;霍尔片的形状系数 KH霍尔片的灵敏度系数,二、霍尔式压力计的结构及工作原理如图 2.6 所示,它是由单圈弹簧管的自由端安装在半导体霍尔元件(也称霍尔片)上构成的。其工作原理为:利用弹簧管将被测压力转换为位移,再利用霍尔片和两对磁极相反的磁钢将位移转换为磁场,最后利用霍尔效应将磁场转换为霍尔电势,将上述信号能量形式的转换用符号可高度概括为 PBVH。,2.6霍尔式压力计的结构示意图,1.压力-霍尔片位移转换 将霍尔片固定在弹簧管自由端。当被测压力作用于弹簧管时,压力被转换成霍尔片位移且为线性关系(P)。2.霍尔片位移-磁场转换在霍尔片的
8、上下方向分别安装两对极性相反、呈靴形的磁钢,使霍尔片置于一个非均匀的磁场中(如图2.7)。3.磁场-霍尔电势转换在测量过程中,直流稳压电源给霍尔元件提供恒定的控制电流 I,根据霍尔效应(VH=KHIB),即可实现磁场-霍尔电势转换(BVH)。,图2.7 极靴间磁感应强度的分布情况,三、霍尔式压力传感器的特点及使用注意事项 通常情况下,以使用在测量上限值 1/2 左右为宜,且瞬间超负荷应不大于测量上限的二倍。由于霍尔片对温度变化比较敏感,当使用环境温度偏离仪表规定的使用温度时要考虑温度附加误差,采取恒温措施(或温度补偿措施)。此外,还应保证直流稳压电源具有恒流特性,以保证电流的恒定。,第四节 应
9、变式压力传感器,应变式压力计是利用应变片基于应变效应实现压力-电阻转换,再由桥式电路将电阻转换成毫伏信号供显示仪表显示出被测压力的大小。,一、应变效应金属导体或半导体在受到外力作用时,会产生相应的应变,其电阻将随之发生变化,这种物理现象称为应变效应。用来产生应变效应的细导体称为应变丝。把应变丝粘贴在衬底上,组成的元件称为应变片,如图2.8 所示。,图2.8 应变片结构示意图,设有一圆形截面导线,长度为L,截面积为A,材料的电阻率为,这段导线的电阻值R为 r导体半径当导体受力作用时,其长度L、截面积(r2)、电阻率相应变化为dL、d(r2)、d,因而引起电阻变化dR对式(2-2)全微分,则为,根
10、据材料力学原理,在弹性限度范围内电阻丝轴向应变与径向应变存在如下关系,式中 为材料的泊松系数。负号表示二者变化方向相反,=00.5。,将式(2-4)代入式(2-3)得:,式(2-5)说明应变片电阻变化率是几何效应(1+2)项和压阻效应 d/项综合的结果。,(1)对于金属材料,由于压阻效应很小,即 d/1,因此有,(2)对于半导体,由于d/项的数值远比(1+2)项大,即半导体电阻变化率取决于材料的电阻率变化,因此,二、应变式压力计的结构及工作原理,1.应变式压力计的结构及各部件作用应变式压力传感器包括三个主要部分:压力敏感元件(一般为弹性元件):利用它把被测压力的变化转换为弹性体应变量(位移量)
11、的变化,即P;应变片:贴在压力敏感元件上的应变片,其作用是把应变量的变化转换为电阻量的变化,即 dR/R;测量电路:通过测量电路将应变片电阻值的变化转换为便于输出测量的电量(如电压),即 dR/RU,从而实现被测压力的测量。,2.应变式压力计的工作原理以BPR-2型压力传感器为例,如图2.9所示。应变筒 1 的上端与外壳 2 固定在一起,它的下端与不锈钢密封膜片 3 紧密接触,两片PJ-320型康铜丝应变片 r1 和 r2 用特殊胶合剂(201胶、204胶等)贴近在应变筒 1 的外壁上。r1 沿应变筒的轴向贴放,作为测量片;r2 沿径向贴放,作为温度补偿片。应变片与筒体之间不发生滑动现象,且应
12、保持电气绝缘。当被测压力 P 作用于不锈钢膜片而使应变筒轴向受压产生变形,沿轴向贴放的应变片 r1 将产生轴向压缩应变 x,于是 r1 的阻值变小。与此同时,沿径向贴放的应变片r2 也将产生径向拉伸应变+y,根据公式-y=+x,于是 r2 的阻值变大。由于 小于1,故实际上 r1 的减小量比 r2 的增大量大。r1 和 r2 由直径为 0.025mm 的康铜丝制成,电阻值均为 320。,图2.9 压力传感器示意图1应变筒;2外壳;3密封膜片,三、应变式压力传感器的材料及特点,目前工程上使用最广泛的电阻应变片有金属电阻应变片和半导体应变片。常用的应变片灵敏度系数大致是:金属导体应变片约2左右,但
13、不超过45;半导体应变片约为100200。需要指出的是半导体应变片虽然具有比金属导体应变片大得多的灵敏度,但温度对其影响也比对金属的大,因此使用时,应采取相应的温度补偿措施或采用温度特性较好的半导体材料。应变片式压力计具有较大的测量范围,被测压力可达几百兆帕,并具有良好的动态性能,适用于快速变化的压力测量。但尽管测量电桥具有一定的温度补偿作用,应变片式压力计仍具有比较明显的温漂,因此,这种压力检测仪表多应用于一般要求的动态压力检测,测量精度一般在 0.5%1.0%左右。使用时,测量上限一般以不超过仪表量程的 80%为宜,各种技术条件不得超过规定的指标。当用于高频压力测量时,不得附加管道和使用隔
14、离介质。此外,还应采取适当措施,以免引入干扰而造成测量误差。,第五节 扩散硅式压力传感器,扩散硅压力(差压)传感器是以压阻式传感器为检测元件的一种压力检测仪表,主要由扩散硅压阻传感器和电磁放大部分组成的,如图 2.10 所示。,图 2.10 扩散硅压力(差压)变送器原理框图,扩散硅压阻传感器实质是硅杯压阻传感器,是基于压阻效应实现压力-电阻转换的。,一、压阻效应:当在半导体(例如:单晶体)的晶体结构上施加压力时,会暂时改变晶体结构的对称性,因而改变了半导体的导电机构,表现为它的电阻率 的变化,这一物理现象称为压阻效应。如前应变效应所述,它是应变效应的组成部分。而且,根据半导体材料情况和所加压力
15、的方向可使电阻率增加或减小。见关系式(2-7)。,二、扩散硅压阻传感器的结构及工作原理硅杯膜片:用作压阻式传感器的基片材料,主要为硅片和锗片,通常都是周边固定的圆膜片,是具有弹性的敏感元件。扩散电阻:扩散电阻是在半导体材料(硅片或锗片)的基片上利用集成电路工艺制成的,如在N型单晶硅膜片上通过扩散杂质使其形成四个P型电阻,并组成电桥。扩散电阻一般要依附于弹性元件(如硅杯膜片)才能正常工作。在膜片上扩散电阻时,四个应变电阻排成直线,如图2.11,其中两个电阻 R2、R3 处于中心位置(r0.635r0),使其受压应力。只要位置合适,可满足,图2.11 硅杯膜片上的电阻布置,图 2.12 为压阻式压
16、力传感器的结构示意图。在硅杯膜片上用离子注入和激光修正方法形成四个阻值相等的扩散电阻,并连接成惠斯顿电桥形式,如图 2.13 所示。电桥用恒压源或恒流源激励。通过 MEMS 技术在硅膜片上形成一个压力室,一侧与取压口相通,另一侧与大气相连,或做成标准的真空室。当被测压力作用在膜片上产生差压时,使得膜片一部分压缩一部分拉伸,位于膜片压缩区的电阻变小,位于膜片拉伸区的电阻变大,电桥失去平衡。电桥的输出电压反映了膜片上所受的压力差。,图 2.12 压阻式压力传感器结构示意图 图 2.13 惠斯顿电桥1低压室;2高压室;3硅杯;4引线;5硅膜片,三、扩散硅压阻传感器的特点单晶硅材料纯度高、功耗小、滞后
17、和蠕变极小、机械稳定性好,而且传感器的制造工艺和硅集成电路工艺有很好的兼容性,所以以扩散硅压阻传感器作为检测元件的压力检测仪表得到了广泛的应用。扩散硅式压力传感器具有体积小、重量轻、结构简单、稳定性好和精度高等优点。通常硅杯尺寸十分小巧紧凑,直径约为1.810mm。膜厚=50500m。上海调节器厂引进山武霍尼威尔(Yamatake-Honeywell)公司的 ST3000 系列智能压力、差压变送器,就是根据扩散硅应变电阻原理工作的。在硅杯上除制作了感受差压的应变电阻外,还同时制作出感受温度和静压的元件,即把差压、温度、静压三个传感器中的敏感元件,都集成在一起组成带补偿电路的传感器,将差压、温度
18、、静压这三个变量转换成三路电信号,分时采集后送入微处理器。微处理器利用这些数据信息,能产生一个高精确度的,温度、静压特性优异的输出。,四、ST3000系列智能压力、差压变送器简介,1.ST3000系列智能压力、差压变送器的结构及各部件作用,图2.14 ST3000系列智能变送器原理结构框图,如图 2.14 为 ST3000 系列智能压力、差压变送器原理结构框图。ROM:ROM 里存有微处理器工作的主程序,它是通用的。RAM:微处理器运算过程中必不可少的存储器,它也是通过现场通讯器对变送器进行各项设定的记忆硬件例如变送器的标号、测量范围、线性或开方输出、阻尼时间常数、零点和量程校准等,一旦经过现
19、场通讯器逐一设定之后,即使把现场通讯器从连接导线上去掉,变送器也应该按照已设定的各项数值工作,这是因为 RAM 已经把指令存储起来。EEPROM:RAM 的后备存储器,它是电可擦除改写的 PROM。I/O:数字输入输出接口 I/O 的作用,一方面使来自现场通讯器的脉冲信号能从 420mA DC 信号导线上分离出来送入CPU。现场通讯器:现场通讯器为便携式,既可在控制室与某个变送器的信号导线相连,用于远方设定或检查,也可到现场接在变送器信号线端子上,进行就地设定或检查。,2.智能变送器的特点智能变送器与现场通讯器配合起来,给运行维护带来很大方便。维护人员不必往返于各个生产现场,更无需攀登塔顶或探
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