自动检测与仪表-5压力检测.ppt
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1、第二篇 过程参数检测技术,5.1 压力单位及压力检测方法 5.2 常用压力检测仪表 5.3 测压仪表的使用及压力检测系统,5 压力检测,5 压力检测,5.1 压力单位及压力检测方法 5.1.1 压力的单位 5.1.2 压力的几种表示方法 5.1.3 压力检测的主要方法及分类,5.2 常用压力检测仪表 5.2.1 弹性压力计 5.2.2 力平衡式压力计 5.2.3 压力传感器,5.3 测压仪表的使用及压力检测系统 5.3.1 测压仪表的使用 5.3.2 压力检测系统,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.1 压力的单位,压力是指均匀垂直地作用在单位面积上的力。,压力的单位为帕斯卡,简称帕(Pa
2、),下面给出几种单位之间的换算关系表,以便了解国际单位制中的压力单位(Pa或MPa)与过去的单位之间的关系。,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.1 压力的单位,各种压力单位换算表,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.2 压力的几种表示方法,在压力测量中,常有表压、绝对压力、负压或真空度之分。,当被测压力低于大气压力时,一般用负压或真空度来表示。,绝对压力是指物体实际所承受的全部压力。表压力是一个相对压力,在工程实际中,所说的压力通常是 指表压,即压力表上的读数。,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.3 压力检测的主要方法及分类,液柱式压力表 液柱式压力表是根据静力学原理,将被测压
3、力转换成液柱高度来测量压力的。这类仪表包括 U 型管压力计、单管压力计、斜管压力计等。弹性式压力表 弹性式压力表是根据弹性元件受力变形的原理,将被测压力转换成元件的位移来测量压力的。常见的有弹簧管压力表、波纹管压力表、膜片(或膜盒)式压力表。,测量压力的仪表种类很多,按其转换原理可大致分为以下四种:,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.3 压力检测的主要方法及分类,活塞式压力计 活塞式压力计是利用流体静力学中的液压传递原理,将被测压力转换成活塞上所加珐码的重量进行压力测量的。这类测压仪表的测量精度很高,允许误差可小到 0.05 一 0.2%,所以普遍用作标准压力发生器或标准仪器对其他压力表
4、或压力传感器进行校验和标定。,测量压力的仪表种类很多,按其转换原理可大致分为以下四种:,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.3 压力检测的主要方法及分类,压力传感器和压力变送器 压力传感器和压力变送器是利用物体某些物理特性,通过不同的转换元件将被测压力转换成各种电量信号,并根据这些信号的变化来间接测量压力。根据转换元件的不同,压力传感器和压力变送器可分为电阻式、电容式、应变式、电感式、压电式、霍尔片式等多种形式。,测量压力的仪表种类很多,按其转换原理可大致分为以下四种:,5.1 压力单位及压力检测方法,5.1.3 压力检测的主要方法及分类,压力传感器和压力变送器,测量压力的仪表种类很多,按
5、其转换原理可大致分为以下四种:,活塞式压力计,液柱式压力表,弹性式压力表,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,一、弹性元件,弹性元件是一种简易可靠的测压敏感元件。当测压范围不同时,所用的弹性元件也不一样。,弹性元件示意图,弹簧管式弹性元件如图(a)和(b)所示,薄膜式弹性元件如图(c)和(d)所示,波纹管式弹性元件如图(e)所示。,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,1弹簧管;2 拉杆;3 扇形齿轮;4 中心齿轮;5 指针;6 面板;7 游丝;8 调整螺丝;9 接头,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,电远传弹性压力表的结构原理见P62,5.2 常用压
6、力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,电远传弹性压力表的结构原理见P62,霍尔元件,霍尔传感器,霍尔元件是将一种半导体四端薄片(霍尔片),做成正方形,在薄片上焊有两对电极引出线,然后采用非导磁金属或陶瓷或环氧树脂封装制成的。,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,电远传弹性压力表的结构原理见P62,霍尔效应,霍尔传感器,在垂直于半导体薄片平面的上方,施加磁感应强度为B的磁场,在半导体薄片相对的两边通以控制电流I。,当N型半导体中的载流子(电子)沿着电流I相反地方向运动时,受到洛仑兹力FL的作用,使电子偏向一端,产生负电荷的积聚,而另一端面则为正电荷积聚,产生了静电场,即霍
7、尔电场。,图示的一块N型半导体薄片,其长度为L,宽度为l,厚度为d。,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,电远传弹性压力表的结构原理见P62,霍尔效应,霍尔传感器,霍尔电场对电子的作用力FE与洛仑兹力FL方向相反,将阻止电子继续偏转,最后形成动态平衡。此时在半导体薄片电荷积聚的两边将产生一个与控制电流I和磁感应强度B乘积成正比的电势UH,这一现象称为霍尔效应,该电势称为霍尔电势。,图示的一块N型半导体薄片,其长度为L,宽度为l,厚度为d。,5.2 常用压力检测仪表,弹性压力计,二、弹簧管压力表,电远传弹性压力表的结构原理见P62,霍尔位移传感器,霍尔传感器,霍尔位移传感器如
8、图示,在极性相反、磁场强度相同的两个磁钢的气隙间放置一个霍尔元件。,当控制电流I恒定不变时,霍尔电势UH与外磁感应强度成正比;若磁场在一定范围内沿x方向的变化梯度dB/dx为一常数,则当霍尔元件沿x方向移动时,输出的霍尔电势为:UHKx,5.2 常用压力检测仪表,力平衡式压力计,DDZ-III型差压变送器,膜盒式差压变送器构成,检测元件:膜盒或膜片工作原理:力矩平衡杠杆系统:单杠杆、双杠杆 和矢量机构,5.2 常用压力检测仪表,压力传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器 5.2.3.2 压阻式压力传感器 5.2.3.3 电容式压力传感器 5.2.3.4 振频式压力传感器 5.2.3.5 压电
9、式压力传感器 5.2.3.6 集成式压力传感器,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,电阻应变效应电阻应变片的测量电路应变式传感器的应用 应变式力传感器 应变式压力传感器 应变式液体重量(或液位)传感器 应变式加速度传感器,1-电阻丝;2-基片;3-引出线;4-覆盖层,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,电阻应变效应,金属箔式应变片,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,金属导体或半导体在受到外力作用时,会产生相应的应变,其电阻也将随之发生变化,这种物理现象称为“应变效应”。,应变片的
10、工作过程:,电阻应变效应,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,金属导体或半导体在受到外力作用时,会产生相应的应变,其电阻也将随之发生变化,这种物理现象称为“应变效应”。,对于半径为r的圆导体,A=r2,A/A=2r/r。又由材料力学可知,在弹性范围内,,电阻R;电阻率长度l;截面积A,电阻应变效应,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,电阻的灵敏度系数,金属材料:K以前者为主,则K1+21.73.6半 导 体:K值主要是由电阻率相对变化所决定,电阻应变效应,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压
11、力传感器,应变式压力传感器,传感筒1-应变筒2-外壳3-密封膜片,应变筒的上端与外壳固定在一起,下端与不锈钢密封膜片3紧密接触,静态性能相同的应变片 r1 和 r2用胶合剂贴紧在应变筒的外壁。r1 沿轴向贴放,为测量片;r2 沿径向贴放,为温度补偿片。,当膜片受到外力作用时,弹性筒轴向受压,使应变片 r1 产生轴向应变,阻值变小;而应变片 r2 受到轴向压缩,引起径向拉伸,阻值变大。r2 的变化量比 r1 的变化量要小,r2 的主要作用是温度补偿。,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,R3和R4是两个阻值相等的精密固定电阻,不受压时r1=r2=r0 R3=
12、R4=r,若应变片受压,则:r1=r0+r1;r2=r0+r2(r1r2),可见,有压力作用时,r1和r2一减一增,使电桥有较大的输出;当环境温度发生变化时,r1、r2同时增减,不影响电桥的平衡。如果仪表能把电桥输出电压U进一步转换为标准信号输出,则该仪表即可称为应变式压力变送器。,应变式压力传感器,5.2 常用压力检测仪表,应变式传感器,5.2.3.1 应变式压力传感器,应变式压力传感器,当测量电桥时为等臂电桥。通常,半桥,全桥,单臂电桥,(测量结构见P63),5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.2 压阻式压力传感器,压阻式传感器,压阻效应及压阻系数,当在半导体材料上施加一作用力时,其电阻
13、率将发生显著的变化,这种现象称为压阻效应。,纵向压阻系数和横向压阻系数,大小由所扩散电阻的晶向来决定;,纵向应力和横向应力(切向应力),其状态由扩散电阻所处位置决定。,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.2 压阻式压力传感器,压阻式传感器,压阻元件,压阻元件是指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻。它是基于压阻效应工作的,即当它受压时,其电阻值随电阻率的改变而变化。常用的压阻元件有单晶硅膜片以及在N型单晶硅膜片上扩散P型杂质的扩散硅等,也是依附于弹性元件而工作。,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.2 压阻式压力传感器,压阻式传感器,压阻式压力传感器,5.2 常用压力检测仪表,
14、5.2.3.2 压阻式压力传感器,压阻式传感器,压阻式压力传感器,感压元件为扩散硅应变片硅杯内腔承受被测压力p,杯的外侧为大气压力如用来测量差压,则分别接p1及p2,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.3 电容式压力传感器,电容式传感器,电容式传感器的基本原理,电容量C的大小与S、d和有关,若保持这三个参数中的两个不变而改变另一个,则C就会发生变化。,S 极板相对覆盖面积d 极板间距离r相对介电常数0真空介电常数 电容极板间介质的介电常数,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.3 电容式压力传感器,电容式传感器,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.3 电容式压力传感器,电容式传感器,电容式
15、差压传感器,结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms),能测微小压差(00.75Pa)、真空或微小绝对压力,需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可。,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.5 压电式压力传感器,压电式传感器,压电式传感器是一种典型的有源传感器(属于发电型传感器)。,压电式传感器元件是力敏感元件,所以它能测量最终能变换为力的那些物理量,例如力、压力、加速度等。,它以某些电介质的压电效应为基础,在外力作用下,在电介质的表面上产生电荷,从而实现非电量电测的目的。,5.2 常用压力检测仪表,5.2.3.5 压电式压力传感器,压电式传感器,正压电效应 某些物质在沿一定方向
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