真空镀膜基础知识.ppt

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1、涂装真空镀膜基础知识培训,培训的五个阶段,真空镀膜机原理,真空行业专业术语解释,车灯镀膜基础流程,真空镀膜的应用范围及应用现状,真空镀膜机设备图示,真空镀膜应用之范围：,光学,反射镜、增透膜、濾光片,天文望远镜、建筑玻璃、相机、灯具,导电膜、绝缘膜、保护膜,逻辑元件、运算器、磁片、CCD,透明导电膜、摄像管导电膜,LCD、录像磁头,电子电路,显示器,元件,蒸发镍、铝、金属陶瓷,电阻、电容、影印机硒鼓,纺织品,模具,消费用品,装饰膜,金属花纹、金丝银丝线,级面板、扶手、栏杆、不锈钢薄板、手机外壳、香烟纸,刀具超硬膜,真空镀膜时一门有发展前景的表面涂覆应用技术，它具有一定系列其他工艺不可取代的优异

2、特点；不受镀膜元件的材料及现状的影响。镀膜的厚度可以控制、一般为十几分几或百分之几微米；因而、它被广泛地应用于电子设备、天文仪器、仪器、仪表等各行各业。1、光学工业的应用 根据光学性能的要求，需要改变光学镜片表面对光波透射，反射能力。真空镀膜就可以实现此项需求。2、电子工业的应用 真空镀膜在电子行业中应用极为广泛，下面列出几种：透明导电膜：在玻璃、聚酯等基体上，真空镀上氧化铟、氧化锡薄膜，就可实现即透明又导电的功能。可用于显示电报、平面照相电极、观点效应记录材料等方面。导电加热膜：在玻璃灯基体上的局部框线真空镀以鉻或镍合金，接通电源，就可以实现加热功能，用以清除因温差带来的水蒸气灯。,真空镀膜

3、之应用现状,3、机械工业的应用 自用真空镀膜中的反应性离子镀膜、磁控溅射镀膜灯镀膜技术问世。真空镀膜在机械工业的引用范围越来越广泛。超硬膜：在切削工具中如：钻头、铣刀、插滚齿刀灯表面，真空镀上氮化钛等超硬镀膜层，可大大提高切削工具的使用寿命、效率及其精度。功能膜：在机械零件表面真空镀上耐高温、防腐蚀、自润滑的技能的功能膜，可大大提高机械零件的使用寿命及使用功能。如汽轮机叶片。4、塑料工业的应用 在塑料制品上的真空镀膜，是近几年才发展起来的，并且发展速度很快，已成为真空镀膜的一个大的应用领域。塑料制品的真空镀膜，即可镀铝、铜等金属，也可镀氯化钛、氧化钛灯介质。目前ABS、丙烯树脂、尼龙、PC、聚

4、丙烯等塑料基材均可实现真空镀膜。5、其它方面的应用 真空镀膜在农业用的薄膜纸；香烟内包装纸也是真空镀膜的一项应用。,真空镀膜的原理,真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的产品，将被镀薄膜基材装在真空蒸镀机中，用真空泵抽真空，使镀膜中的真空度达 到 1.31021.310-3Pa,加热坩锅使高纯度的铝丝（纯度99.99%）在 12001400的温度下溶化并蒸发成气态铝。气态铝微粒在移动的薄膜基材表面沉积、经冷却还原即形成一层连续而光亮的金属铝层。具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片

5、或基材，镀的材料（金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等，其中用的最多的是铝）被成为靶材。,基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。现行涂装厂使用的真空镀膜设备原理为蒸发镀膜原理。,原理示意图,真空镀膜机设备图示,电路系统,冷却系统,空压系统,制成气体系统,测量元件,镀源模组,排气系统,传动系统,真空腔体,架台,其它,电控

6、箱,PLC模组,电脑控制板面,管线,冰水机,流量计,管线,气压缸,电磁阀,流量控制器,管路及接头,真空计,温度计,感知器,电源,电极板,镀源蒸镀电子枪,泵,排气管路,阀门,马达,传送机构,升降机构,主腔体,抽气腔体,腔体架台,其它架台,工装夹具,真空镀膜设备,汽车车灯真空镀铝生产流程图,来料检验（抽检）,静电除尘,净化除油,手动除尘,喷涂底漆,常温自流平,IR预烘,UV固化,真空镀铝,离子轰击,镀SIO保护膜,检验及包装,来料检验,净化除油,净化除油：使用特殊的除油剂对塑料制品进行除油。,使用方法：将适量的除油剂注入容器内，先浸泡1-3min，然后使用干净除尘布对塑料制品擦拭，擦拭时间是产品大

7、小而定,手动除尘,手动除尘：对塑料制品使用特殊化学物品对产品进行擦拭，达到去除产品表面灰尘为目的。,静电除尘,静电除尘：使用静电枪对产品进行静电除尘。此道工序直接影响产品镀膜质量。,喷涂底漆,喷涂底漆：对产品镀膜区域进行底漆喷涂，针对不同材料的产品不可使用相同的油漆。,UV固化,真空镀膜,立式真空镀膜机,卧式真空镀膜机,真空术语解释,真空的含义：真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，又可分为高真空、中真空和低真空,真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托1/760大气压1毫米汞柱4、托与帕的转换 1托133.322帕或1帕7.510-3托,1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。,