物理光学与应用光学第二版课件第二章.ppt

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1、第 2 章 光 的 干 涉,2.1双光束干涉 2.2平行平板的多光束干涉 2.3 光学薄膜 2.4 典型干涉仪 2.5 光的相干性例题,2.1 双 光 束 干 涉,2.1.1 产生干涉的基本条件 1.两束光的干涉现象 光的干涉是指两束或多束光在空间相遇时，在重叠区内形成稳定的强弱强度分布的现象。例如，图2-1所示的两列单色线偏振光,(2.1-1),(2.1-2),图 2-1两列光波在空间重叠,在空间P点相遇，E1与E2振动方向间的夹角为，则在P点处的总光强为,式中，I1、I2是二光束的光强；是二光束的相位差，且有,(2.1-3),(2.1-4),由此可见，二光束叠加后的总强度并不等于这两列波的

2、强度和，而是多了一项交叉项I12，它反映了这两束光的干涉效应，通常称为干涉项。干涉现象就是指这两束光在重叠区内形成的稳定的光强分布。所谓稳定是指，用肉眼或记录仪器能观察到或记录到条纹分布，即在一定时间内存在着相对稳定的条纹分布。显然，如果干涉项I12远小于两光束光强中较小的一个，就不易观察到干涉现象；如果两束光的相位差随时间变化，使光强度条纹图样产生移动，且当条纹移动的速度快到肉眼或记录仪器分辨不出条纹图样时，就观察不到干涉现象了。,在能观察到稳定的光强分布的情况下，满足,m=0,1,2，,的空间位置为光强极大值处，且光强极大值IM为,(2.1-6),满足j=(2m+1)m=0,1,2，的空间

3、位置为光强极小值处，且光强极小值Im为,当两束光强相等，即I1=I2=I0时，相应的极大值和极小值分别为IM=2I0(1+cos)(2.1-9)Im=2I0(1-cos)(2.1-10),(2.1-8),(2.1-5),(2.1-7),2.产生干涉的条件 首先引入一个表征干涉效应程度的参量干涉条纹可见度，由此深入分析产生干涉的条件。1)干涉条纹可见度(对比度)干涉条纹可见度定义为,(2.1-11),当干涉光强的极小值Im=0时，V=1，二光束完全相干，条纹最清晰；当IM=Im时，V=0，二光束完全不相干，无干涉条纹；当IMIm0时，0V1，二光束部分相干，条纹清晰度介于上面两种情况之间。,de

4、f,2)产生干涉的条件 由上述二光束叠加的光强分布关系(2.1-3)式可见，影响光强条纹稳定分布的主要因素是：二光束频率；二光束振动方向夹角和二光束的相位差。(1)对干涉光束的频率要求 由二干涉光束相位差的关系式可以看出，当二光束频率相等，=0时，干涉光强不随时间变化，可以得到稳定的干涉条纹分布。当二光束的频率不相等，0时，干涉条纹将随着时间产生移动，且愈大，条纹移动速度愈快，当大到一定程度时，肉眼或探测仪器就将观察不到稳定的条纹分布。因此，为了产生干涉现象，要求二干涉光束的频率尽量相等。,(2)对二干涉光束振动方向的要求 由(2.1-9)、(2.1-10)式可见，当二光束光强相等时V=cos

5、(2.1-12)因此，当=0、二光束的振动方向相同时，V=1，干涉条纹最清晰；当=/2、二光束正交振动时，V=0，不发生干涉；当0/2时，0V1，干涉条纹清晰度介于上面两种情况之间。所以，为了产生明显的干涉现象，要求二光束的振动方向相同。,(3)对二干涉光束相位差的要求 由(2.1-3)式可见，为了获得稳定的干涉图形，二干涉光束的相位差必须固定不变，即要求二等频单色光波的初相位差恒定。实际上，考虑到光源的发光特点，这是最关键的要求。可见，要获得稳定的干涉条纹，则：两束光波的频率应当相同；两束光波在相遇处的振动方向应当相同；两束光波在相遇处应有固定不变的相位差。这三个条件就是两束光波发生干涉的必

6、要条件，通常称为相干条件。,3.实现光束干涉的基本方法 通常称满足相干条件的光波为相干光波，相应的光源叫相干光源。为了更深刻地理解干涉的特性，首先简单地介绍光源的发光性质。1)原子发光的特点 众所周知，一个光源包含有许许多多个发光的原子、分子或电子，每个原子、分子都是一个发光中心，我们看到的每一束光都是由这些原子和分子(发光中心)发射和汇集出来的。但是每个单个原子和分子的发光都不是无休止的，每次发光动作只能持续一定的时间，这个时间很短(实验证明，原子发光时间一般都小于10-8秒)，因而每次原子发光只能产生有限的一段波列。,进一步，由光的辐射理论知道，普通光源的发光方式主要是自发辐射，即各原子都

7、是一个独立的发光中心，其发光动作杂乱无章，彼此无关。因而，不同原子产生的各个波列之间、同一个原子先后产生的各个波列之间，都没有固定的相位关系，这样的光波叠加，当然不会产生干涉现象。或者说，在一极短的时间内，其叠加的结果可能是加强，而在另一极短的时间内，其叠加的结果可能是减弱，于是在一有限的观察时间内，二光束叠加的强度是时间内的平均，即为,如果在内各时刻到达的波列相位差j无规则地变化，j将在内多次(可能在108次以上)经历0与2之间的一切数值，这样，上式的积分为,因此,即二光束叠加的平均光强，恒等于二光波的光强之和，不发生干涉。由此看来，不仅从两个普通光源发出的光不会产生干涉，就是从同一个光源的

8、两个不同部分发出的光也是不相干的。因此，普通光源是一种非相干光源。,2)获得相干光的方法 由上面关于相干条件的讨论可知，利用两个独立的普通光源是不可能产生干涉的，即使使用两个相干性很好的独立激光器发出的激光束来进行干涉实验，也是相当困难的事，其原因是它们的相位关系不固定。在光学中，获得相干光、产生明显可见干涉条纹的唯一方法就是把一个波列的光分成两束或几束光波，然后再令其重合而产生稳定的干涉效应。这种“一分为二”的方法，可以使二干涉光束的初相位差保持恒定。,一般获得相干光的方法有两类：分波面法和分振幅法。分波面法是将一个波列的波面分成两部分或几部分，由这每一部分发出的波再相遇时，必然是相干的，下

9、面讨论的杨氏干涉就属于这种干涉方法。分振幅法通常是利用透明薄板的第一、二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，当这些不同部分的光波相遇时将产生干涉，这是一种很常见的获得相干光、产生干涉的方法，下面讨论的平行平板产生的干涉就属于这种干涉方法。,2.1.2 双光束干涉 1.分波面法双光束干涉 在实验室中为了演示分波面法的双光束干涉，最常采用的是图2-2所示的双缝干涉实验。用一束He-Ne激光照射两个狭缝S1、S2，就会在缝后的白色屏幕上出现明暗交替的双缝干涉条纹。为了研究分波面法双光束干涉现象的特性，下面进一步讨论杨氏双缝干涉实验。,图 2-2 双缝干涉实验,在图2-3所示的实验原

10、理图中，间距为d的S1和S2双缝从来自狭缝S的光波波面上分割出很小的两部分作为相干光源，它们发出的两列光波在观察屏上叠加，形成干涉条纹。,图 2-3杨氏双缝干涉实验原理图,由于狭缝S和双缝S1、S2都很窄，均可视为次级线光源。从线光源S发出的光波经SS1P和SS2P两条不同路径，在观察屏P点上相交，其光程差为,=(R2-R1)+(r2-r1)=R+r,在dD，且在y很小的范围内考察时，相应二光的相位差为,(2.1-13),如果S1、S2到S的距离相等，R=0，则对应j=2m(m=0,1,2,)的空间点，即,(2.1-14),处为光强极大，呈现干涉亮条纹；对应=(2m+1)的空间点，即,(2.1

11、-15),处为光强极小，呈现干涉暗条纹。,因此，干涉图样如图2-2所示，是与y轴垂直、明暗相间的直条纹。相邻两亮(暗)条纹间的距离是条纹间距，且有,(2.1-16),其中w=d/D叫光束会聚角。可见，条纹间距与会聚角成反比；与波长成正比，波长长的条纹较短波长疏。在实验中，可以通过测量D、d和，计算求得光波长。,如果S1、S2到S的距离不同，R0，则对应,(2.1-17),的空间点是亮条纹；对应,(2.1-18),的空间点是暗条纹。即干涉图样相对于R=0的情况，沿着y方向发生了平移。,除了上述杨氏干涉实验外，菲涅耳双棱镜(图2-4)、菲涅耳双面镜(图2-5)和洛埃镜(图2-6)都属于分波面法双光

12、束干涉的实验装置。,图 2-4菲涅耳双棱镜干涉装置,图 2-5菲涅耳双面镜干涉装置,图 2-6洛埃镜干涉装置,这些实验的共同点是：在两束光的叠加区内，到处都可以观察到干涉条纹，只是不同地方条纹的间距、形状不同而已。这种在整个光波叠加区内，随处可见干涉条纹的干涉，称为非定域干涉。与非定域干涉相对应的是定域干涉，有关干涉的定域问题，将在2.5节中讨论。在这些干涉装置中，都有限制光束的狭缝或小孔，因而干涉条纹的强度很弱，以致于在实际中难以应用。当用白光进行干涉实验时，由于干涉条纹的光强极值条件与波长有关，除了m=0的条纹仍是白光以外，其它级次的干涉条纹均为不同颜色(对应着不同波长)分离的彩色条纹。,

13、2.分振幅法双光束干涉 1)平行平板产生的干涉等倾干涉 平行平板产生干涉的装置如图2-7所示，由扩展光源发出的每一簇平行光线经平行平板反射后，都会聚在无穷远处，或者通过图示的透镜会聚在焦平面上，产生等倾干涉。,图 2-7 平行平板干涉的光程图示,(1)等倾干涉的强度分布 根据光波通过透镜成像的理论分析，光经平行平板后，通过透镜在焦平面F上所产生的干涉强度分布(图样)，与无透镜时在无穷远处形成的干涉强度分布(图样)相同。其规律主要取决于光经平板反射后，所产生的两束光，到达焦平面F上P点的光程差。由图示光路可见，该这两束光因几何程差引起的光程差为,式中，n和n0分别为平板折射率和周围介质的折射率，

14、N是由C点向AD所引垂线的垂足，自N点和C点到透镜焦平面P点的光程相等。假设平板的厚度为h，入射角和折射角分别为1和2，则由几何关系有,再利用折射定律,可得到光程差为,(2.1-19),进一步，考虑到由于平板两侧的折射率与平板折射率不同，无论是n0n，还是n0n，从平板两表面反射的两支光中总有一支发生“半波损失”。所以，两束反射光的光程差还应加上由界面反射引起的附加光程差/2，故,如果平板两侧的介质折射率不同，并且平板折射率的大小介于两种介质折射率之间，则两支反射光间无“半波损失”贡献，此时的光程差仍采用(2.1-19)式。,(2.1-20),由此可以得到焦平面上的光强分布为,式中，I1和I2

15、分别为两支反射光的强度。显然，形成亮暗干涉条纹的位置，由下述条件决定：相应于光程差=m(m=0,1,2,)的位置为亮条纹；相应于光程差=(m+1/2)的位置为暗条纹。,(2.1-21),如果设想平板是绝对均匀的，折射率n和厚度h均为常数，则光程差只决定于入射光在平板上的入射角1(或折射角2)。因此，具有相同入射角的光经平板两表面反射所形成的反射光，在其相遇点上有相同的光程差，也就是说，凡入射角相同的光，形成同一干涉条纹。正因如此，通常把这种干涉条纹称为等倾干涉。,(2)等倾干涉条纹的特性 等倾干涉条纹的形状与观察透镜放置的方位有关，当如图2-8所示，透镜光轴与平行平板G垂直时，等倾干涉条纹是一

16、组同心圆环，其中心对应1=2=0 的干涉光线。,图 2-8产生等倾圆条纹的装置,等倾圆环的条纹级数。由(2.1-20)式可见，愈接近等倾圆环中心，其相应的入射光线的角度2愈小，光程差愈大，干涉条纹级数愈高。偏离圆环中心愈远，干涉条纹级数愈小是等倾圆环的重要特征。设中心点的干涉级数为m0，由(2.1-20)式有,(2.1-22),因而,通常，m0不一定是整数，即中心未必是最亮点，故经常把m0写成,其中，m1是靠中心最近的亮条纹的级数(整数)，01。,(2.1-23),(2.1-24),等倾亮圆环的半径。由中心向外计算，第N个亮环的干涉级数为m1(N1)，该亮环的张角为1N，它可由,(2.1-25

17、),与折射定律n0sin1N=n sin2N确定。将(2.1-22)式与(2.1-25)式相减，得到,一般情况下，1N和2N都很小，近似有nn01N/2N，因而由上式可得,(2.1-26),相应第N条亮纹的半径rN为,(2.1-27),式中，f 为透镜焦距，所以,(2.1-28),由此可见，较厚的平行平板产生的等倾干涉圆环，其半径要比较薄的平板产生的圆环半径小。,等倾圆环相邻条纹的间距为,(2.1-29),该式说明，愈向边缘(N愈大)，条纹愈密。,(3)透射光的等倾干涉条纹 如图2-9所示，由光源S发出、透过平板和透镜到达焦平面上P点的两束光，没有附加半波光程差的贡献，光程差为,它们在透镜焦平

18、面上同样可以产生等倾干涉条纹。由于对应于光源S发出的同一入射角的光束，经平板产生的两束透射光和两束反射光的光程差恰好相差/2，相位差相差，因此，透射光与反射光的等倾干涉条纹是互补的，即对应反射光干涉条纹的亮条纹，在透射光干涉条纹中恰是暗条纹，反之亦然。,(2.1-30),图2-9 透射光等倾条纹的形成,应当指出，当平板表面的反射率很低时，两支透射光的强度相差很大，因此条纹的可见度很低，而与其相比，反射光的等倾干涉条纹可见度要大得多。图2-10绘出了对于空气-玻璃界面，接近正入射时所产生的反射光等倾条纹强度分布(图2-10(b)和透射光等倾条纹的强度分布(图2-10(d)。所以，在平行板表面反射

19、率较低的情况下，通常应用的是反射光的等倾干涉。,图 2-10 平板干涉的反射光条纹和透射光条纹比较,2)楔形平板产生的干涉等厚干涉楔形平板是指平板的两表面不平行，但其夹角很小。楔形平板产生干涉的原理如图2-11所示。扩展光源中的某点S0发出一束光，经楔形板两表面反射的两束光相交于P点，产生干涉，其光程差为=n(AB+BC)n0(APCP)光程差的精确值一般很难计算。但由于在实用的干涉系统中，板的厚度通常都很小，楔角都不大，因此可以近似地利用平行平板的计算公式代替，即=2nh cos2(2.1-31),图 2-11 楔形平板的干涉,式中，h是楔形板在B点的厚度；2是入射光在A点的折射角。考虑到光

20、束在楔形板表面可能产生的“半波损失”，两表面反射光的光程差应为,显然，对于一定的入射角(当光源距平板较远，或观察干涉条纹用的仪器孔径很小时，在整个视场内可视入射角为常数)，光程差只依赖于反射光处的平板厚度h，所以，干涉条纹与楔形板的厚度一一对应。因此，将这种干涉称为等厚干涉，相应的干涉条纹称为等厚干涉条纹。,(2.1-32),(1)等厚干涉条纹图样 对于图2-12所示的垂直照射楔形板产生干涉的系统，位于垂直透镜L1前焦面上的扩展光源发出的光束，经透镜L1后被分束镜M反射，垂直投射到楔形板G上，由楔形板上、下表面反射的两束光通过分束镜M、透镜L2投射到观察平面E上。不同形状的楔形板将得到不同形状

21、的干涉条纹。图2-13给出了(a)楔形平板、(b)柱形表面平板、(c)球形表面平板、(d)任意形状表面平板的等厚干涉条纹。不管哪种形状的等厚干涉条纹，相邻两亮条纹或两暗条纹间对应的光程差均相差一个波长，所以从一个条纹过渡到另一个条纹，平板的厚度均改变/(2n)。,图 2-12 观察等厚干涉的系统,图 2-13 不同形状平板的等厚条纹,(2)劈尖的等厚干涉条纹 如图2-14所示，当光垂直照射劈尖时，会在上表面产生平行于棱线的等间距干涉条纹。相应亮线位置的厚度h满足,m=1,2,(2.1-33),相应暗线位置的厚度h满足,m=0,1,2,(2.1-34),显然，棱线总处于暗条纹的位置。如果考虑到光

22、在上表面(或下表面)上会产生“半波损失”，在棱线处上、下表面的反射光总是抵消，则在棱线位置上总为光强极小值就是很自然的了。,图 2-14劈尖的干涉条纹,若劈尖上表面共有N个条纹，则对应的总厚度差为,(2.1-35),式中，N可以是整数，亦可以是小数。相邻亮条纹(或暗条纹)间的距离，即条纹间距为,(2.1-36),由此可见，劈角小，条纹间距大；反之，劈角大，条纹间距小。因此，当劈尖上表面绕棱线旋转时，随着的增大，条纹间距变小，条纹将向棱线方向移动。,由(2.1-36)式还可看出，条纹间距与入射光波长有关，波长较长的光所形成的条纹间距较大，波长短的光所形成的条纹间距较小。这样，使用白光照射时，除光

23、程差等于零的条纹仍为白光外，其附近的条纹均带有颜色，颜色的变化均为内侧波长短，外侧波长长。当劈尖厚度较大时，由于白光相干性差的影响，又呈现为均匀白光。由此可知，利用白光照射的这种特点，可以确定零光程差的位置，并按颜色来估计光程差的大小。,(3)牛顿环 如图2-15所示，在一块平面玻璃上放置一曲率半径R很大的平凸透镜，在透镜凸表面和玻璃板的平面之间便形成一厚度由零逐渐增大的空气薄层。当以单色光垂直照射时，在空气层上会形成一组以接触点O为中心的中央疏、边缘密的圆环条纹，称为牛顿环。它的形状与等倾圆条纹相同，但牛顿环内圈的干涉级次小，外圈的干涉级次大，恰与等倾圆条纹相反。若由中心向外数第N个暗环的半

24、径为r，则由图2-15可知,由于透镜凸表面的曲率半径R远大于暗环对应的空气层厚度，所以上式可改写为,(2.1-37),图 2-15牛顿环的形成,因第N个暗环的干涉级次为(N+1/2)，故可由暗环满足的光程差条件写出,由此可得,(2.1-38),(2.1-39),由该式可见，若通过实验测出第N个暗环的半径为r，在已知所用单色光波长的情况下，即可算出透镜的曲率半径。,在牛顿环中心(h=0)处，由于两反射光的光程差(计及“半波损失”)为=/2，所以是一个暗点，而在透射光方向上可以看到一个强度互补的干涉图样，这时的牛顿环中心是一个亮点。牛顿环除了用于测量透镜曲率半径R外，还常用来检验光学零件的表面质量

25、。常用的玻璃样板检验法就是利用与牛顿环类似的干涉条纹。这种条纹形成在样板和待测零件表面之间的空气层上，俗称为“光圈”。根据光圈的形状、数目以及用手加压后条纹的移动，就可以检验出零件的偏差。例如，当条纹是图2-16所示的同心圆环时，表示没有局部误差。假设零件表面的曲率半径为R1，样板的曲率半径为R2，则二表面曲率差C=1/R11/R。由图2-16的几何关系有,图 2-16用样板检验光学零件表面质量,如果零件直径D内含有N个光圈，则利用(2.1-38)式可得,在光学设计中，可以按上式换算光圈数与曲率差之间的关系。,(2.1-40),2.2 平行平板的多光束干涉,上一节讨论了平行平板的双光束干涉现象

26、，实际上它只是在表面反射率较小情况下的一种近似处理。由于光束在平板内会如图2-17所示不断地反射和折射，而这种多次反射、折射对于反射光和透射光在无穷远或透镜焦平面上的干涉都有贡献，所以在讨论干涉现象时，必须考虑平板内多次反射和折射的效应，即应讨论多光束干涉。,图 2-17 光束在平行平板内的多次反射和折射,1.平行平板多光束干涉的强度分布爱里(Airy)公式 现在讨论如图2-18所示的、在透镜焦平面上产生的平行平板多光束干涉的强度分布。假设E0i为入射光电矢量的复振幅，与P点(和P点)对应的多光束的出射角为0，它们在平板内的入射角为，则相邻两反射光或透射光之间的光程差为=2nh cos(2.2

27、-1)相应的相位差为,(2.2-2),图 2-18在透镜焦平面上产生的多光束干涉,若光从周围介质射入平板时的反射系数为r，透射系数为t，光从平板射出时的反射系数为r，透射系数为t，则从平板反射出的各个光束的复振幅为,所有反射光在P点叠加，其合成场复振幅为,根据菲涅耳公式可以证明,由平板表面反射系数、透射系数与反射率、透射率的关系：r2=r2=R tt=1-R=T并利用,可得,(2.2-3),再由I=EE*，得到反射光强与入射光强的关系为,(2.2-4),式中,(2.2-5),类似地，也可得到透射光强与入射光强的关系式：,(2.2-6),(2.2-4)式和(2.2-6)式即是反射光干涉场和透射光

28、干涉场的强度分布公式，通常称为爱里公式。,2.多光束干涉图样的特点 根据爱里公式，可以看出多光束干涉的干涉图样有如下特点：(1)互补性 由(2.2-4)式和(2.2-6)式可以得到Ir+It=Ii(2.2-7)该式反映了能量守恒的普遍规律，即在不考虑吸收和其它损耗的情况下，反射光强与透射光强之和等于入射光强。若反射光因干涉加强，则透射光必因干涉而减弱，反之亦然。即是说，反射光强分布与透射光强分布互补。,(2)等倾性 由爱里公式可以看出，干涉光强随R和j变化，在特定的R条件下，仅随j变化。根据(2.2-2)关系式，也可以说干涉光强只与光束倾角有关，这正是等倾干涉条纹的特性。因此，平行平板在透镜焦

29、平面上产生的多光束干涉条纹是等倾条纹。当实验装置中的透镜光轴垂直于平板(图2-19)时，所观察到的等倾条纹是一组同心圆环。,图 2-19 多光束干涉的实验装置,(3)光强分布的极值条件 由爱里公式可以看出，在反射光方向上，当,(2.2-8),时，形成亮条纹，其反射光强为,(2.2-9),当 j=2m m=0,1,2,(2.2-10)时，形成暗条纹，其反射光强为Irm=0(2.2-11),对于透射光，形成亮条纹和暗条纹的条件分别是,(2.2-12),和,(2.2-13),其相应的光强分别为,(2.2-14),和,(2.2-15),应当说明的是，在前面讨论平行平板双光束干涉时，二反射光的光程差计入

30、了第一束反射光“半波损失”的贡献，表示式为=2nh cos2+/2;而在讨论平行平板多光束干涉时，除了第一个反射光外，其它相邻二反射光间的光程差均为=2nh cos，实际上对于第一束反射光的特殊性(“半波损失”问题)已由菲涅耳系数r=r表征了。因此，这里得到的光强分布极值条件，与只计头两束反射光时的双光束干涉条件，实际上是相同的，然干涉条纹的分布也完全相同。,3.透射光的特点这里，只详细讨论透射光的干涉条纹特点。在不同表面反射率R的情况下，透射光强的分布如图2-20所示，图中横坐标是相邻两透射光束间的相位差j，纵坐标为相对光强。由图可以得出如下规律：(1)光强分布与反射率R有关 R很小时，干涉

31、光强的变化不大，即干涉条纹的可见度很低。当R增大时，透射光暗条纹的强度降低，条纹可见度提高。控制R的大小，可以改变光强的分布。,图 2-20多光束干涉的透射光强分布曲线,(2)条纹锐义与反射率R有关 随着R增大，极小值下降，亮条纹宽度变窄。但因，透射光强的极大值与R无关，所以，在R很大时，透射光的干涉条纹是在暗背景上的细亮条纹。与此相反，反射光的干涉条纹则是在亮背景上的细暗条纹，由于它不易辨别，故极少应用。能够产生极明锐的透射光干涉条纹，是多光束干涉的最显著和最重要的特点。在It/Iij曲线上，若用条纹的半峰值全宽度=j表征干涉条纹的锐度，则如图2-21所示，在时，,图 2-21 条纹的半宽度

32、图示,从而有,若F很大(即R较大)，必定很小，有sin/4/4，F(/4)2=1，因而可得,(2.2-16),显然，R愈大，愈小，条纹愈尖锐。条纹锐度除了用表示外，还常用相邻两条纹间的相位差(2)与条纹半宽度()之比N表征，,(2.2-17),此比值称为条纹精细度。R愈大，亮条纹愈细，N值愈大。当R1时，N，这对于利用这种条纹进行测量的应用，十分有利。应当指出，上述是在单色光照射下产生的多光束干涉条纹的半宽度，它不同于准单色光的谱线宽度，故又称为“仪器宽度”。,(3)频率特性 由图2-20所示的It/Iij分布曲线可见，只有相邻透射光相位差处在半宽度j内的光才能透过平行平板。而由(2.2-2)

33、式，在平行板的结构(n、h)确定，入射光方向一定的情况下，相位差j只与光波长有关，只有使j=2m的光波长才能最大地透过该平行平板。所以，平行平板具有滤波特性。若将j改写为,(2.2-18),并以为横坐标，可绘出如图2-22所示的It/Ii曲线，其滤波特性显而易见。,图 2-22平行平板的滤波特性,通常将相应于条纹半宽度j的频率范围1/2称为滤波带宽，且,利用(2.2-16)式，可以改写为,(2.2-20),进一步，由m=c/m，有,(2.2-19),相应于j=2m的光波长为,所以，透射带宽可用波长表示：,通常称(m)1/2为透射带的波长半宽度。显然，R愈大，N愈大，相应的(m)1/2愈小。,(

34、2.2-21),2.3 光学薄膜,光学薄膜的反射特性 1.单层膜 在玻璃基片的光滑表面上镀一层折射率和厚度都均匀的透明介质薄膜，当光束入射到薄膜上时，将在膜内产生多次反射，并且在薄膜的两表面上有一系列互相平行的光束射出，如图2-23所示。计算这些光束的干涉，便可了解单层膜的光学性质。,图 2-23单层介质膜的反射与透射,假设薄膜的厚度为h，折射率为n1，基片折射率为n2，光由折射率为n0的介质入射到薄膜上，采用类似于平行平板多光束干涉的处理方法，可以得到单层膜的反射系数为,(2.3-1),式中r1是薄膜上表面的反射系数，r2是薄膜下表面的反射系数，j是相邻两个出射光束间的相位差，且有,(2.3

35、-2),jr是单层膜反射系数的相位因子，由下式决定：,(2.3-3),由此可得单层膜的反射率R为,(2.3-4),当光束正入射到薄膜上时，薄膜两表面的反射系数分别为,和,将其代入(2.3-4)式，即可得到正入射时单层膜的反射率公式：,(2.3-5),(2.3-6),(2.3-7),对于一定的基片和介质膜，n0、n2为常数，可由上式得到R随j即随n1h的变化规律。图2-24给出了n0=1，n2=1.5，对给定波长0和不同折射率的介质膜，按(2.3-7)式计算出的单层膜反射率R随膜层光学厚度n1h的变化曲线。由此曲线可得如下结论：n1=n0或n1=n2时，R和未镀膜时的反射率R0一样。n1n2时，

36、RR0，该单层膜的反射率较之未镀膜时减小，透过率增大，即该膜具有增透的作用，称为增透膜。,图 2-24介质膜反射率随光学厚度的变化,(2.3-8),由该式可见，当镀膜材料的折射率 时，Rm=0，此时达到完全增透的效果。例如，在n0=1，n2=1.5的情况下，要实现Rmin=0，就应选取n1=1.22的镀膜材料。可是在实际上，折射率如此低的镀膜材料至少目前还未找到。现在多采用氟化镁(n=1.38)材料镀制单层增透膜，其最小反射率Rmin1.3%。,进一步考察图2-24的变化曲线可以看出，当n1n2，n1h=0/4时，反射率最小，且R=Rm，有最好的增透效果。这个最小反射率为,应当指出，(2.3-

37、8)式表示的反射率是在光束正入射时针对给定波长0得到的，亦即对一个给定的单层增透膜，仅对某一波长0才为Rm，对于其它波长，由于该膜层厚度不是它们的1/4或其奇数倍，增透效果要差一些。此时，只能按(2.3-7)式对这些波长的反射率进行计算。图2-25中的E曲线给出了在n2=1.5的玻璃基片上，涂敷光学厚度为0/4(0=0.55m)的氟化镁膜时，单层膜反射率随波长的变化特性。由该曲线可见，这个单层膜对红光和蓝光的反射率较大，所以，观察该膜系时就会看到它的表面呈紫红色。,图 2-25 单层氟化镁膜的反射率随波长和入射角的变化,另外，(2.3-7)式是在光束正入射的情况下推导出来的，如果我们赋予n0、

38、n1、n2以稍微不同的意义，(2.3-7)式也适用于光束斜入射的情况。根据菲涅耳公式(1.2-18)式和(1.2-19)式，在折射率不同的两个介质界面上，例如对于薄膜上表面，光束斜入射时的反射系数为,(2.3-9),(2.3-10),n1n2时，RR0，该单层膜的反射率较未镀膜时增大，即该膜具有增反的作用，称为增反膜。进一步考察图2-24的变化曲线可以看出，当n1n2，且n1h=0/4时，R=RM，有最好的增反效果，其最大反射率为,尽管该式在形式上与(2.3-8)式相同，但因n1值不同，对应的反射率R，一个是最大，一个是最小。对于经常采用的增反膜材料硫化锌，其折射率为2.35，相应的单层增反膜

39、的最大反射率为33%。,(2.3-11),对于n1h=0/2的半波长膜，不管膜层折射率比基片折射率大还是小，单层膜对0的反射率都和未镀膜时的基片反射率相同，即为,这说明，对于波长为0的光，膜层厚度增加(或减小)0/2，对反射率没有影响。,(2.3-12),2.多层膜 1)等效界面法 现有如图2-26所示的双层薄膜，为确定其膜系反射率，首先考察与基片相邻的第二层膜(折射率和厚度分别为n2和h2)与基片组成的单层膜系的反射系数。若设该反射系数为，则根据(2.3-1)式，有,(2.3-13),式中，r2和r3分别为n1、n2界面和n2、nG界面的反射系数；j2是由这两个界面反射的相邻两光束相位差，且

40、,(2.3-14),式中，2是光束在第二膜层中的折射角。,图 2-26 双层膜,进一步，我们可将上述单层膜系看成是具有折射率为nI的一个“新基片”，并称nI为等效折射率。这个“新基片”与第一层膜的新界面称为等效界面(图2-27)，其反射系数即为 r，由(2.3-13)式给出。对于第一层膜与“新基片”组成的单层膜系，再一次利用(2.3-1)式，就可得到光束在双层膜系上的反射系数,(2.3-15),图 2-27 等效界面,式中，r1是n0、n1界面的反射系数；,1是光束在第一层膜中的折射角。将(2.3-13)式代入(2.3-15)式，并求r与其共轭复数的乘积，便可得到双层膜系的反射率,(2.3-1

41、7),(2.3-16),式中,如图2-28所示，有一个K层膜系，各膜层的折射率为n1、n2、nK，厚度为h1、h2、hK，界面反射系数为r1、r2、rK+1。采用与处理双层膜相同的办法，从与基片相邻的第K层开始，构成一个等效界面，其反射系数为,(2.3-18),式中,(2.3-19),图 2-28 多层膜,2)矩阵法 矩阵法是研究多层薄膜理论的现代方法，对于基本研究和数值计数，它均具有快捷和普遍的优点。在此，仅介绍有关的基本概念和结论。对于图2-29所示的多层膜系，为了能全面地描述其光学特性，对于沿z方向传输的光波，定义介质光学导纳为磁场强度的切向分量与电场强度的切向分量之比：,(2.3-22

42、),图 2-29多层膜系示意,对于沿z方向传输的光波，介质的光学导纳为,(2.3-23),根据麦克斯韦电磁理论，第j界面的边界条件可写成：,(2.3-24),式中，Ezjt、E-zjt和Ezjt、E-zjt分别为第j界面左侧和右侧、沿z方向和z方向传输的切向分量场。定义导纳矩阵Vj为,(2.3-25),则(2.3-24)式可写成矩阵形式：,(2.3-26),该式描述了光从第j界面的右侧透射到左侧时电矢量矩阵的递，称为第j界面的透射矩阵。,考虑到光在膜层中传输时的相移jj，有,若令,(2.3-27),(2.3-28),为第j个膜层的相位矩阵，则整个膜系的传递公式为,(2.3-29),进一步，如果

43、定义第j层膜的特征矩阵Mj为,(2.3-30),将导纳矩阵、透射矩阵的关系式代入，可得,(2.3-31),此时，可将(2.3-29)式改写为,(2.3-32),式中，为多层膜系的特征矩阵；，为膜系的传递矩阵，它描述了膜系将光波电场的切向分量从一端传到另一端的特性。若用V0乘以(2.3-32)式，则可以得到,(2.3-33),显然，多层膜系的特征矩阵传递了电磁场的切向分量。,如果多层膜基底材料的折射率为nK+1，根据光的电磁理论，由(2.3-33)式可得,(2.3-34),并且，多层膜系的光学导纳为,(2.3-35),根据光学导纳的概念，多层膜系的反射系数r和反射率R为,(2.3-36),(2.

44、3-37),3.多层高反射膜 目前，经常采用的多层高反射膜是一种由光学厚度均为0/4的高折射率膜层和低折射率膜层交替镀制的膜系，如图2-30所示。这种膜系称为0/4膜系，通常采用下面的符号表示：GHLHLHLHA=G(HL)pHA p=1,2,3 其中，G和A分别代表玻璃基片和空气；H和L分别代表高折射率膜层和低折射率膜层；p表示一共有p组高低折射率交替层，总膜层数为(2p+1)。半波长的光学厚度应写成HH或LL。,图 2-30 0/4膜系的多层高反射膜示意图,这种膜系之所以能获得高反射率，从多光束干涉原理看是容易理解的：根据平板多光束干涉的讨论，当膜层两侧介质的折射率大于(或小于)膜层的折射

45、率时，若膜层的诸反射光束中相继两光束的相位差等于，则该波长的反射光获得最强烈的反射。而图2-30所示的膜系恰恰能使它包含的每一层膜都满足上述条件，所以入射光在每一膜层上都获得强烈的反射，经过若干层的反射之后，入射光就几乎全部被反射回去。这种膜系的优点是计算和制备工艺简单，镀制时容易采用极值法进行监控；缺点是层数多，R不能连续改变。目前发展了一种非0/4膜系，即每层膜的光学厚度不是0/4，具体厚度要由计算确定。其优点是只要较少的膜层就能达到所需要的反射率，缺点是计算和制备工艺较复杂。,由图2-30，若在基片G上镀一层0/4的高折射率光学膜，其反射率为,式中,是镀第一层膜后的等效折射率。若在高折射

46、率膜层上再镀一层低折射率膜层，其反射率为,式中,是镀双层膜后的等效折射率。依此类推，当膜层为偶数(2p)层时，(HL)p膜系的等效折射率为,相应的反射率为,(2.3-38),(2.3-39),当膜层为奇数(2p+1)层时，(HL)pH膜系的等效折射率为,(2.3-40),相应的反射率为,(2.3-41),表2-1列出了多层膜的等效折射率、反射率和透射率(不计吸收)的计算值。计算数据为：nA=1,nG=1.52,nH=2.3(ZnS),nL=1.38(MgF2)。,表 2-1 多层膜的反射率和透射率,若采用矩阵法进行计算，则在正入射情况下，膜系为奇数(2p+1)层时，膜系导纳由(2.3-34)式

47、和(2.3-35)式得,(2.3-42),膜系反射率为,(2.3-43),与等效界面法所得结果相同。,由上述计算结果可见：要获得高反射率，膜系的两侧最外层均应为高折射率层(H层)，因此，高反射率膜一定是奇数层。0/4膜系为奇数层时，层数愈多，反射率R愈大。上述膜系的全部结果只对一种波长0成立，这个波长称为该膜系的中心波长。当入射光偏离中心波长时，其反射率要相应地下降。因此，每一种0/4膜系只对一定波长范围的光才有高反射率，如图2-31所示。图中给出了几种不同层数的ZnS-MgF20/4(0=0.46 m)膜系的反射特性曲线。可以看出，随着膜系层数的增加，高反射率的波长区趋于一个极限，所对应的波

48、段称为该反射膜系的反射带宽。对于图示情况，带宽约为200 nm。,图 2-31 几种不同层数的0/4膜系的反射率曲线,反射带宽的计算公式为,(2.3-44),式中，g=0/。由此可见，反射带半宽度g只与nH/nL有关，nH/nL愈大，带宽就愈大。例如，对于由ZnS(nH=2.34)和MgF2(nL=1.38)材料镀制的0=0.632 8 m的反射膜，其反射带半宽度为,相应反射带边缘的g值为,因此，其反射带边缘波长为,所以这个膜系对0.550.76 m范围内的光均有高反射率。故在白光入射时，这种膜系的反射光为橙黄色，而透射光为青蓝色。,薄膜波导上面的讨论说明了光学薄膜可用于控制光学元器件的反射率

49、和透射率。现在作为光学薄膜的另外一种重要应用，讨论薄膜波导。对于薄膜波导的研究，是伴随着集成光学的发展进行着的。集成光学类似于半导体技术中的集成电路，把一些光学元件，如发光元件、光放大元件、光传输元件、光耦合元件和接收元件等，以薄膜形式集成在同一衬底上，构成了一个具有独立功能的微型光学系统。这种集成光路具有体积小、性能稳定可靠、效率高、功耗小等许多优点，自20世纪60 年代末期以来，它作为一个崭新的光学领域，迅速地发展起来。在此，只介绍薄膜波导传输光的基本工作原理及光耦合的概念。,1.薄膜波导传输光的基本原理薄膜波导如图2-32所示。它实际上是沉积在衬底(nG)上的一层折射率为n、厚度约为11

50、0 m的薄膜，其上层为覆盖层，可以是空气或其他介质，折射率为n0，且有nn0、nG。若覆盖层和衬底的折射率相同，则称为对称波导；若它们的折射率不同，则称为非对称波导。假设在薄膜波导中传输的是平面光波，则可用光线描述它的传播规律。正如1.2节所指出的那样，光在折射率不同的介质界面上将发生反射和折射，当nn0、nnG时，会发生全反射现象，产生全反射的条件是入射角大于临界角。相应薄膜波导上、下表面的临界角分别为,图 2-32薄膜波导,和,(2.3-45),(2.3-46),光在薄膜波导中传播的基本原理就是这种界面全反射。从几何光学角度来看，光在薄膜内沿着“Z”字形路径，向着z方向传播。,2.薄膜波导