无尘室相关标准.ppt

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1、无尘室相关标准,无尘室原理无尘室衡量标准无尘室验收标准,Contents,无尘室原理,无尘室概念:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100100K级,适用局部净化级别要求高的区域。对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。,无尘室原理,依据送风方式的不同：可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。Class 1100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%4

2、%。Class 1000 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%30%。测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。,无尘室衡量标准,洁净度参照 STD-209E,无尘室衡量标准,Air Change&HEPA 遮蔽率,Air change:FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积,HEPA遮蔽率：FFU的表面积*FFU数量/Clean Room面积,无尘室衡量标准,风速、温湿度 气流速度为：0.30.5m/s

3、(60100ft/min)。一般之温度控制范围：T=(212)一般之湿度控制范围：(455)RH,无尘室衡量标准,压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。,无尘室验收标准,用Particle Counter(Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。依据ISO14644-1可分为三种操作状态：完工状态-无制程设备、原料或工作人员。完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。运转状态-三者皆在工作状态。,无尘室验收标准,取样次数要求单一

4、方向气流的测试数量,方法一、气流的流入体积/25方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根,选数字小者,非单一方向气流的测试数量,方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根,例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次,例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次,无尘室验收标准,洁净度取样要求取样需两点以上测试点要平均分布各测试点须一个以上的取样数全体需5个以上的取样数各测试点的取样数不一样也可以,无尘室验收标准

5、,洁净度判断标准 两个条件需同时满足：在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下,无尘室验收标准,实例说明 在Ring Room空态下，共取3个点，每个点测量0.5um的粒子，测量记录如下：第一点 8、0 第二点 20、8 第三点 11、23、14 判断依据一、在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 第一点的平均值（8+0)/2=4 第二点的平均值（20+8)/2=14 第三点的平均值（11+23+14)/3=16小结：满足,无尘室验收标准,判断依据二、这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上

6、限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系数 M：平均值的平均 M=(4+14+16)/3=11.3 SE：标准误差 SE=SD/SD：标准偏差 L：测试点数量 SD=6.429 SE=6.429/=3.71,无尘室验收标准,UCL系数：95%信赖界限的UCL系数 上限值UCL=M+SE*UCL系数=11.3+3.71*2.9=22.1 总结：满足,无尘室验收标准,其余要求,注：1.PVC窗帘与地面高度为1520cm，且应该在立柱内侧。2.配电箱是三相电，电压380V。,图片欣赏,FFU,风淋室,1.2米方通,立柱,托框,初效,高效,自己找找看？1、盲板？2、PVC帘？3、垂帘？,抢答环节,1、PVC帘为什么要围在内侧？2、初效过滤器是保护初效的，换成中效的可以不？3、初效和高效应该多久更换一次呢？4、影响无尘室产品良率的因素有哪些？,Over!Thanks！,