《光伏探测器》PPT课件.ppt

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1、光电信号检测,第五章 光伏探测器,光伏探测器是利用半导体的光生伏特效应制成的探测器。分为有结型（常用）和无结型（不常用）。有结型光伏探测器。按照“结”的种类不同，又可分为pn结型、pin结型、金属半导体结型（肖特基势垒型）和异质结型等。最常用的光伏探测器有光电池、光电二极管、光电三极管、pin管、雪崩二极管等。,概述,光伏探测器与光电导探测器相比较，主要特点在于：(1)产生光电变换的部位不同，光电导探测器是均值型；而有结型光伏探测器，只有到达结区附近的光才产生光伏效应。(2)光电导探测器没有极性，工作时必须外加偏压；而光伏探测器有确定的正负极，可以不加偏压工作。(3)光电导探测器的光电效应主要

2、依赖于非平衡载流子中的多子产生与复合运动，驰豫时间较大，响应速度慢，频率响应性能较差；而有结型光伏探测器的光伏效应主要依赖于结区非平衡载流子中的少子漂移运动，弛豫时间较小，响应速度快，频率响应特性好。(4)雪崩二极管和光电三极管还有很大的内增益作用，不仅灵敏度高，还可以通过较大的电流。,光生伏特效应是光照使不均匀半导体或均匀半导体中光生电子和空穴在空间分开而产生电位差的现象。对于不均匀半导体，由于同质的半导体不同的掺杂形成的pn结、不同质的半导体组成的异质结或金属与半导体接触形成的肖特基势垒都存在内建电场。当光照这种半导体时，由于半导体对光的吸收而产生了光生电子和空穴，它们在内建电场的作用下就

3、会向相反的方向移动和积聚而产生电位差，这种现象是最重要的一类光生伏特效应。,5-1 光生伏特效应,对于均匀半导体，由于体内没有内建电场，当光照这种半导体一部分时，由于光生载流子浓度梯度的不同而引起载流子的扩散运动。但电子和空穴的迁移率不等，由于两种载流子扩散速度的不同而导致两种电荷的分开，从而出现光生电势。,如果存在外加磁场，也可使得扩散中的两种载流子向相反方向偏转，从而产生光生电势，称为光磁电效应。通常把丹倍效应和光磁电效应称为体积光生伏特效应。,B,B,一、由势垒效应产生的光生伏特效应电位差的产生机理是利用势垒形成的内建电场将光生电子和光生空穴分开。当光未照射时，p区和n区的多数载流子就会

4、向对方扩散，这样在两种材料的接界处形成由n区指向p区的内建电场。该电场阻止两边载流子的扩散，在界面处形成一个稳定的内建电场E内。从能量角度看，在热平衡时，内建电场E内引起的电子和空穴的漂移电流和扩散电流相平衡，在pn结区形成了一个势垒。,无光照，多数载流子扩散内建电场,热平衡时，扩散电流和漂移电流平衡,在恒定光照下，只要入射光子的能量比半导体禁带宽度大(hvEg)，在结区、p区和n区都会引起本征激发而产生电子空穴对。光生载流子会扩散，在每个区域，非平衡的光生少数载流子起主要作用，p区的少数载流子是电子，只要在此区域所产生的光生电子离结区的距离x小于电子的扩散长度Ln(光生电子从产生到与空穴复合

5、的时间内移动的平均距离)，便可靠扩散从p区进入结区而被内建电场E内加速趋向n区；,同理，在n区，空穴是少数载流子，只要光生空穴离结区距离x小于空穴的扩散长度Lp，便可靠扩散进入结区，被内建电场加速趋向p区；在结区产生的电子空穴对，被内建电场加速分离到两边。,在三个区域的光生载流子，靠扩散和内建电场实现了正负电荷的分离，使电荷累积到结两边 p 侧带正电 n 侧带负电，从而削弱了内建电场，降低了势垒高度。这犹如在pn结上施加正向电压一样，这就是光生电动势。如果将这样的pn结与外电路相连，就有电流流过外电路，所以pn结起了电池的作用。,如果在外部把p区和n区短接，则由结区势垒分开的光生载流子就会全部

6、流经外电路，于是在电路中就产生了光电流，称为短路电流。短路电流和光生电动势可由pn结的基本特性求得。,R0V0处的动态电阻,光生电流：,光生电动势：,电压响应率：,二、由载流子浓度梯度引起的光生伏特效应当用h足够大的光照射一均匀半导体的表面时，由于半导体对光的吸收，在半导体的近表面层中产生高浓度的光生非平衡电子空穴对。这样就造成从半导体近表面指向体内的载流子浓度梯度。在浓度梯度推动下，两种载流于都沿光照的方向向半导体内部扩散。按扩散定律，电子和空穴形成的扩散电流密度分别为,总的扩散电流密度为,Dn、Dp分别表示电子和空穴扩散系数。由于电子和空穴带电的符号相反，如果DnDp则二者的扩散电流完全抵

7、消。事实上一般DnDp，即电子扩散得比空穴快，并且扩散到较深的半导体内部。总的扩散电流将沿光照的负方向，引起电荷局部累积而打破电中性状态，从而使半导体光照表面带正电而内部带负电，形成了沿x方向的光生电动势。,如果将均匀半导体放在与光辐照方向相垂直的磁场中，将有洛仑兹力作用于扩散的电子和空穴，使它们向垂直于扩散方向的不同方向偏转，从而在半导体的两侧端面间产生电位差，这种效应称为光磁电效应。产生该机理：光在样品中产生了非平衡载流子浓度，浓度梯度使载流子出现了沿x方向的定向扩散速度，磁场作用在载流子上的洛仑兹力，使正负载流子分离，在两个端面的电荷积累形成电位差。,光磁电效应与霍尔效应类似，但它与具有

8、两种载流子的半导体中的霍尔效应有所不同。在霍尔效应中，载流子的定向运动是外加电场引起的。两种载流子的运动方向相反，二者形成的电流方向相同。垂直的磁场使两种载流子向同一方向偏转。而在光磁电效应中，定向运动是扩散引起的。两种载流子扩散方向相同，二者形成的电流方向相反。在垂直磁场作用下，向相反方向偏转。,三、pn结伏安特性及曲线没有光照时，pn结上的电压V和通过的电流的关系为：,pn结反向饱和电流,当有光照时，pn结上的光生电流为：,上述两部分电流反向，则流经pn结外回路的总电流为：,光照越强，光电流越大，曲线愈往下移。第一象限为pn结加正偏压状态，此时pn结暗电流ID远大于光生电流，作为光电探测器

9、工作在这个区域是没有意义的。第三象限里，pn结处于反偏压状态，这时暗电流IDISO(反向饱和电流)，数值很小，远小于光生电流，故光伏探测器输出回路中的总电流IISISOIS，称工作于这个区域的光伏探测器为光导工作模式。,在第四象限中，流过探测器的电流仍为反向光电流，但随着光功率不同，探测器的输出电流与电压出现明显的非线性，这时光伏探测器的输出电压就是外电路负载电阻RL上的电压。这种工作模式为光伏工作模式。,光伏器件的输出电压：,开路电压：(即负载电阻RL，I0，与外光强成正指数关系，趋于PN结势垒高度),短路电流：(RL0，V0，ID0，与外光强成正比例关系),四、光伏探测器的等效电路光伏探测

10、器可以视为一个普通二极管(包括暗电流ID、结电阻Rd，结电容Cd)及一个恒流源(光电流)Ip的并联。其中暗电流ID通常作为噪声源来处理。,不同器件的Rd值相差很大，例如硅光电二极管的Rd可达106，而光伏碲镉汞探测器的Rd仅几十至几十千的数量级。根据不同光伏探测器Rd的取值，需要设计相应的低噪声前置放大器。,等效电路：光伏工作模式，相当于一个恒压源（RdRL）,一、响应率光伏探测器开路时响应率表达式为：在弱光照射情况下，上式可近似为：将光电流公式代入得：其中，反向饱和电流为：由此可知，光伏探测器的响应率与器件的工作温度T及少数载流子浓度和扩散有关，而与器件的外偏压无关，这与光电导探测器是不相同

11、的。,52 光伏探测器的性能参数,二、噪声特性光伏探测器的噪声主要包括器件中光生电流的散粒噪声和器件的热噪声，其均方噪声电流为Rd为器件电阻，因反偏工作时Rd相当大，热噪声可忽略不计，故光电流和暗电流引起的散粒噪声是主要的，则有,当器件在零偏置（VA0）时，流过p-n结的电流除光电流Is外，还包含正向和反向的暗电流ID-与ID+，它们对总电流的贡献为零，而对噪声的贡献是叠加的，则均方噪声电流应为当器件工作在负偏压时，ID+0，则均方噪声电流为,考虑到实际探测器系统中负载电阻RL对噪声的贡献，所以噪声等效电路通常应包含散粒噪声和RL的热噪声，即相应的噪声电压均方值,三、比探测率光伏探测器D*可表

12、示为光伏探测器以散粒噪声为主零偏压工作时反偏压工作时D*与R0关系,零偏电阻是光伏探测器的一个重要参数，它直接反映了器件性能的优劣。当光伏探测器受热噪声限制时，提高探测率D*的关键在于提高结电阻和结面积的乘积和降低探测器的工作温度。,四、光谱特性通常用Si可做成性能很好的光伏探测器（例如PIN光电二极管和雪崩光电二极管）。但其最佳响应波长在0.81.0m，对于1.3 m 或1.55 m 红外辐射不能响应。,锗制成的光伏探测器虽能响应到1.7 m，但它的暗电流偏高，噪声较大，也不是理想的材料。对于接收波长大于1m 的辐射，需要采用IIIV和IIVI族化合物半导体。,五、频率响应特性光伏探测器的频

13、率响应主要由三个因素决定：(1)光生载流子扩散至结区（势垒区）的时间n；(2)光生载流子在电场作用下通过结区的漂移时间d；(3)由结电容Cd与负载电阻RL所决定的电路时间常数c。于是光伏探测器总的响应时间为,(1)扩散时间n：光生载流子扩散至结区所需的时间与扩散长度和扩散系数有关。以n型硅为例，当空穴扩散距离为几微米时，则需扩散时间约10-9s，对于高速响应器件，这是不能满足要求的。因此，在制造工艺上将器件光敏面作得很薄，以便得到更小的扩散时间。(2)漂移时间d：耗尽层中载流子的漂移速度与耗尽层宽度及其间电场有关。例如，对硅光电二极管，当耗尽层宽度为几微米，电场为几kVm，载流子漂移时间约为1

14、0-11s，比扩散时间短近两个数量级。因此，在一般的光伏探测器中d不是限制器件频率响应特性的主要因素。,(3)电路时间常数c：由于反偏光电二极管Rd很大，在并联回路中可略去。则光伏探测器的电路时间常数c=RLCd。若设Cd=30pF，RL=50，则电路时间常数c=1.510-9s，由此可知，由结电容引起的电路时间常数与光电二极管扩散时间同数量级，是决定光电二极管频率响应特性的重要参数。减小结电容Cd是改善光伏探测器频响特性的重要措施。减小RL也可减小c，但输出电压会降低，不实用。普通的硅光电二极管可以工作于几百兆赫，若要得到响应更快的器件，必须进一步减小c和n，才能达到上千兆赫的响应频率。,六

15、、温度特性光伏探测器和其他半导体器件一样，其光电流及噪声与器件工作温度有密切关系。,为了提高光伏探测器的工作性能，人们做了大量的研究工作，出现了许多性能优良的新品种。常用的光伏探测器有：光电池光电二极管（Si、Ge结型光电二极管、PIN光电二极管、雪崩光电二极管、异质结光电二极管、肖特基势垒光电二极管等）HgCdTe光伏探测器光子牵引探测器光电三极管等等,53 实用光伏探测器（光电池与光电二极管）,一、光电池光电池工作在零偏压状态。由于光电池常常用于把太阳光能直接变成电能，因此又称为太阳能电池。光电池的种类很多，如硒光电池、氧化亚铜光电池、硫化锡光电池、锗光电池、砷化镓光电池、硅光电池等等。目

16、前，应用最广，最受重视的是硅光电池。硅光电池的价格便宜、光电转换效率高、光谱响应宽(很适合近红外探测)、寿命长、稳定性好、频率特性好、且能耐高能辐射。硅光电池的用途大致可分为两类：1）当作光电探测器件使用（要线性度好）；2）用作太阳能电源（要输出功率大）。,1光电池的结构 硒光电池制造工艺：先在铝片上覆盖一层p型硒，然后蒸发一层镉，加热后生长n型硒化镉，与原来p型硒形成一个大面积p-n结，最后涂上半透明保护层，焊上电极。铝片为正极，硒化镉为负极。,Si光电池的结构,由单晶硅组成，在一块n型硅片上扩散p型杂质(如硼)，形成扩散p+n结。p+n型多在地面上作光电探测器应用；在p型硅片扩散n型杂质(

17、如磷)，形成n+p结，再焊上两个电极。p端为光电池正圾，n端为负极。n+p型硅光电池具有较强的抗辐射能力，适合空间应用，作为航天器的太阳能电池。,2.光电池的特性参数（1）光照特性 光电池的光照特性主要有伏安特性、入射光强电流电压特性以及入射光功率负载特性。,pn结光电池伏安特性曲线在无光照时与普通半导体二极管相同，有光照时沿电流轴向方向平移。平移幅度与光照度成正比。曲线与电压轴的交点称为开路电压，与电流轴的交点称为短路电流。,Isc与光照强度成正比，Voc与入射光强度的对数成正比。,在同一片光电池上，当光照强度一定时，Isc与受光面积成正比，Voc与受光面积的对数成正比。,把光电池用作探测器

18、时，需选取合适的负载，以保证用作探测器时，光电流和光强保持线性关系。负载电阻越小，线性度越好，且线性范围越广。随着RL变化，输出功率PL也变化，当RLRM时，PL为最大值PM，即在负载电阻上获得最大功率输出，RM称为最佳负载。,（2）光谱特性 硅光电池的光谱响应范围为0.41.1m，峰值波长为0.80.9m。硒光电池的光谱响应范围为0.340.75m，峰值波长为0.54m左右。光电池光谱范围的长波阈取决于材料的禁带宽度，短波阈受材料表面反射损失的限制。其峰值波长不仅和材料有关，而且随制造工艺及使用环境温度不同而有所移动。,入射光波长/m,2CR1133-01,普通2CR,相对响应度,（3）温度

19、特性 光电池的温度特性曲线是描述Voc及Isc随温度变化情况。随着温度的升高，硅光电池的光谱响应向长波方向移动，开路电压Voc将下降，短路电流Isc略有上升。国产硅光电池的温度特性为温度每升高1oC，Voc下降约23mV，Isc上升约78A。,当光电池作为探侧器件时，测量仪器应考虑温度的漂移或进行补偿，以保证测量精度。温度升高，转换效率略有下降。,（4）频率特性 光电池作为探测器件在交变光照下使用时，由于载流子在pn结区内的扩散、漂移，产生与复合都需一定的时间，所以当光照变化很快时，光电流就滞后于光照变化。在对频率特性要求严格的探测电路中，选用小面积光电池较有利。如果负载选择得当，也可以获得较

20、高的频率特性。,硅光电池,硒光电池,频率/Hz,相对输出,3光电池的应用 光电池的应用主要有两个方面：一是作为光电探测器件，二是将太阳能转变为电能。利用光电池作为探测器件，有光敏面积大，频率响应高，光电流随照度线性变化等特点。因此，它既可作为开关应用，也可用于线性测量。如用在光电读数、光电开关、光栅测量技术、激光准直，电影还音等装置上。利用光电池将太阳能变成电能，目前主要是使用硅光电池，因为它能耐辐射、转换效率较其它光电池高。实际应用中，把硅光电池单体经串联、并联组成电池组，与镍镉蓄电池配合，可作为卫星、微波站、野外灯塔、航标灯、无人气象站等无输电线路地区的电源供给。,二、光电二极管 1pn结

21、光电二极管 光电二极管与普通二极管相比，有共同之处：它们都有一个pn结，因此，它们均属单向导电性的非线性元件。但光电二极管是一种光电器件，在结构上有它特殊的地方。例如：光电二极管pn结势垒很薄；光生载流子的产生主要在pn结两边的扩散区，光电流主要来自扩散电流，而不是漂移电流，故又称为扩散型pn结光电二极管；为了获得尽可能大的光电流，pn结面积比普通二极管要大得多，且通常都以扩散层作为它的受光面。为此，受光面上的电极做得较小。为了提高光电转换能力，pn结的深度较普通二极管浅。光电二极管采用硅或锗制成，但锗器件暗电流温度系数远大于硅器件。工艺也不如硅器件成熟，虽然它的响应波长大于硅器件，但实际应用

22、尚不及硅广泛。,(1)硅光电二极管的结构及工作原理结构：(a)是采用n型单晶硅及硅扩散工艺，称pn结构；(b)是采用单晶硅及磷扩散工艺，称np结构。,硅光电二极管的封装可采用平面镜和聚焦透镜作入射窗口。采用凸透镜有聚光作用，有利于提高灵敏度。,光敏面,光窗,(2)伏安特性 硅光电二极管在反向偏压下工作，这样可以减小载流子渡越时间及二极管的极间电容，以提高探测器的响应灵敏度和频率。光电二极管在无光照时的暗电流ID就是二极管的反向饱和电流Iso；有光照时产生的光电流Ip与Iso同一方向。在低压下电流随光电压变化非常敏感。当反向偏压进一步增加时，光生载流子的收集已达极限，光电流就趋于饱和。这时，光电

23、流与外加反向偏压几乎无关，而仅取决于入射光功率。光电二极管在较小负载电阻下入射光功率与电流之间呈现较好的线性关系。,（3）响应率硅光电二极管的电流响应率通常在0.40.5AW量级。常用的2DU和2DUL系列光电二极管的光谱响应从可见光一直到近红外区，在0.80.9m波段响应率最高。,(4)噪声硅光电二极管的噪声主要来自散粒噪声与热噪声。在弱光照射时，散粒噪声小于热噪声。在强光照射时，散粒噪声大于热噪声。,pn结光电二极管，由于它的响应时间主要取决于pn结两侧的光生少数载流子扩散到结区所需的时间。因此，受到扩散时间与扩散过程中的复合所造成的噪声的影响。这些影响限制了这种光电二极管的应用能力，特别

24、是在长波波段的响应速度。要适应光探测系统中宽带、高速的应用，必须进一步提高f3dB，除了可增加反向偏压减小结电容外，主要还必须改进二级管的结构。,2PIN光电二极管扩散型PIN硅光电二极管频率响应可达上千兆赫兹。在pn结之间加一本征层（I层），这种器件称为PIN光电二极管，又称耗尽型光电二级管。只要适当控制本征层厚度，使它近似等于反偏压下耗尽层宽度，就可使响应波长范围和频率响应得到改善。PIN硅光电二极管是常用的耗尽层光伏探测器。,它是采用高阻纯硅材料及离子漂移技术形成一个没有杂质的本征层，厚度为500m左右。PIN管中的本征层对提高器件灵敏度和频率的响应起着十分重要的作用。因为本征层相对于p

25、区和n区是高阻区，反向偏压主要集中在这一区域，形成高电场区。高电阻使暗电流明显减小。本征层的引入加大了耗尽层区，展宽了光电转换的有效工作区域，从而使灵敏度得以提高。,由于I层的存在，而p区又非常薄，入射光子只能在I层内被吸收，产生电子一空穴对。I区产生的光生载流子在强电场作用下速运动，所以载流子渡越时间非常短。同时，耗尽层的加宽也明显地减小了结电容Cd，使电容时间常数cCdRL减小，从而改善了光电二极管的频率响应。性能良好的PIN光电二极管，扩散与漂移时间一般在1010量级，相当于千兆(GHz)的频率响应。,3雪崩光电二极管（APD)普通的光电二极管和PIN光电二极管没有内增益。对微弱光信号进

26、行探测，采用具有内增益的光探测器将有助于对微弱光信号的探测。雪崩光电二极管是具有内增益的光伏探测器。它是利用光生载流子在高电场区内的雪崩效应而获得光电流增益的，它具有灵敏度高、响应快等优点。雪崩光电二极管与光电倍增管相比，具有体积小，结构紧凑，工作电压低，使用方便等优点。但其暗电流比光电倍增管的暗电流大，相应的噪声也较大，故光电倍增管更适宜于弱光探测。,(1)工作原理雪崩效应 在光电二极管的pn结上加相当高的反向偏压，使结区产生很强的电场，当光照pn结所激发的光生载流子进入结区时，在强电场中将受到加速而获得足够的能量。在定向运动中与晶格原子发生碰撞，使晶格原子发生电离，产生新的电子空穴对。新产

27、生的电子空穴对在强电场作用下分别沿相反方向运动，又获得足够能量，再次与晶格原子碰撞，又产生出新的电子空穴对。这种过程不断重复，使pn结内电流急剧倍增放大，这种现象称为雪崩效应。,雪崩光电二极管就是利用这种效应产生光电流的放大作用的。雪崩光电二极管的反向工作偏压通常略低于pn结的击穿电压。无光照时，pn结不会发生雪崩效应；只有当外界有光照时，激发出的光生载流子才能引起雪崩效应。若反向偏压超过器件的击穿电压，则器件将无法工作，甚至击穿烧毁。,(2)雪崩光电二极管的结构 图(a)中以p型硅作基片，扩散杂质浓度大的n层。图(b)为PIN型雪崩二极管结构示意图，其结构基本上类似于普通光电二极管，但工作原

28、理是不同的。为了实现雪崩过程，基片杂质浓度高（电阻率低），容易产生碰撞电离。另外基片厚度比较薄，保证有高的电场强度，以便于电子获得足够能量产生雪崩效应。,(3)雪崩光电二极管的特性参数 倍增系数(雪崩增益)M IR为无雪崩倍增时pn结的反向电流，IM为有雪崩增益时的反向电流。倍增系数M的近似经验公式VVBR时，M此时pn结被击穿,雪崩光电二极管的噪声 除了散粒噪声外，还有因雪崩过程引入的附加散粒噪声。由于雪崩效应是大量载流子电离过程的累加，这本身就是一个随机过程，必然带来附加的噪声，由雪崩过程引起的散粒噪声为,考虑到负载电阻的热噪声，雪崩光电二极管的总噪声电流均方值为,响应时间 由于雪崩光电二

29、极管工作时所加的反向偏压高，光生载流子在结区的渡越时间短，结电容只有几个皮法，甚至更小，所以雪崩光电二极管的响应时间一般只有0.51ns，相应的响应频率可达几十GHz。,54 光电三极管及其它光伏探测器,一、光电三极管利用雪崩倍增效应可获得具有内增益的半导体光电二极管(APD)，而采用一般晶体管放大原理，可得到另一种具有电流内增益的光伏探测器，即光电三极管。它与普通双极晶体管十分相似，都是由两个十分靠近的pn结（发射结和集电结）构成，并均具有电流放大作用。,1.结构与原理：光电三极管的工作有两个过程，一是光电转换；二是光电流放大。等效于一个光电二极管与一般晶体管基极集电极结的并联。集电结起双重

30、作用，一是把光信号变成电信号起光电二极管的作用；二是将光电流放大，起一般晶体三极管的集电极的作用。,2.光电三极管的特性参数(1)伏安特性：类似于光电二极管。但是，当有光照时，光电三极管输出电流比同样光照下光电二极管的输出电流大倍；在光功率等间距增大的情况下，输出电流并不等间距增大，这是由于电流放大倍数多随信号光电流的增大而增大所引起的非线性。,(2)频率响应少数载流子对发射结和收集结势垒电容(Cbe和Cb)的充放电时间；少数载流子渡越基区所需时间；少数载流子扫过收集结势垒区的渡越时间；通过收集结到达收集区的电流流经收集区及外负载电阻产生的结压降，使收集结电荷量改变的时间常数。于是光电三极管总

31、响应时间应为上述各个时间之和。因此，光电三极管的响应时间比光电二极管的要长得多。由于光电三极管广泛应用于各种光电控制系统，其输入光信号多为脉冲信号，即工作在大信号或开关状态，因而光电三极管的响应时间或响应频率将是光电三极管的重要参数。,(3)光谱特性：光电三极管的光谱特性与光电二极管一样，取决于所用的半导体材料及制作工艺。例如硅光电三极管，其光谱响应仍为0.80.9m。(4)温度特性：光电三极管的输出电流随温度变化比光电二极管大。因为其发射极集电极的反向电流和电流放大倍数随工作温度变化而最敏感。在实用中，必须十分注意环境温度的变化，必要时需在电路中加以温度补偿措施。光电三极管主要应用于开关控制

32、电路及逻辑电路。,二、碲镉汞(HgCdTe)、碲锡铅(PbSnTe)光伏探测器 利用 族化合物可以得到响应于中红外波段的光伏探测器。如碲镉汞(Hg1-xCdxTe)、碲锡铅(Pb1-xSnxTe)探测器。改变化合物组分x，即可改变带隙，从而得到不同光谱响应的器件。碲镉汞(HgCdTe)光伏探测器工作于室温（300K），响应波长为14m；液氮温度（77K），响应波长为814m。频率响应特性与普通光电二极管相同。,三、异质结光电二极管若将带隙不同的两种半导体材料作成异质pn结，即可构成异质结光电二极管，以带隙Eg大的材料作光接收面。,当有光照时，能量大于nGaAs带隙Eg的光子将被GaAs吸收，若

33、GaAs材料厚度大于光生载流子的扩散长度将不能到达结区。若光子能量满足：Eg（Ge）hEg（GaAs），光子将穿过GaAs材料，而被Ge材料吸收，产生光子效应。因此，异质结光电二极管的宽带材料起着滤波作用，把短波成分滤掉，这种器件又称窄带自滤波探测器。其光谱响应半宽度很窄，能较好地控制背景噪声。这种器件还具有量子效率高，背景噪声低，信号均匀等特点，因此它具有广阔的应用前景。,四、金属一半导体光电二极管又称肖特基势垒光电二极管，其势垒不是pn结，而是金属和半导体接触形成的阻挡层，即肖特基势垒。当金属与半导体(n型或p型)接触时，由于载流子所处能级不同，它们将向低能级方向移动，从而在接触区形成阻挡

34、层(耗尽层)，阻挡层内的正电荷与金属接触面的负电荷形成电偶极层接触势垒，即肖特基势垒。当受光照后，阻挡层吸收光子，产生电子空穴对，在内电场作用下，电子移向半导体，空穴移向金属，形成光生电势。由于肖特基势垒区在半导体附近表面处（金属层厚度为几十nm），光直接在势垒区产生载流子，不像pn结那样载流子必须经过扩散才能到达结区，这样可以减少载流子扩散时间以及在扩散中的复合损失。因此，肖特基光电二极管具有响应时间短，可探测510ns的光脉冲信号。,五、光子牵引探测器强激光脉冲(波长大于带间吸收)辐照到p型Ge上时，具有辐射压力的光子和自由空穴相互作用，使空穴得到能量和动量，从而沿光传播方向运动。好像光子

35、牵着空穴前进，即光子牵引作用。,在激光脉冲前进的同时，入射端空穴数目将减小，输出端空穴数目增加，于是在Ge棒两端产生电位差，这就是光子牵引电压，该电压正比于入射光功率。当入射光方向相反时，光子牵引电压也相反。特点：响应速率很高(约10-10s)室温下工作，使用方便，不需要外电源，噪声小 响应率低，每千瓦级光功率辐照仅有几毫伏输出，适于强激光探测,光子牵引探测器是一种红外光子探测器，目前主要用于CO2激光探测，已用锗、砷化铟和碲等材料制出光子牵引探测器。与前面讨论的光电导或光伏探测器完全不同，光子牵引探测器是一种非势垒光伏探测器。光子牵引效应是光子与半导体中自由载流子之间发生动量传递，载流子从光子获得动量而作相对于晶格的运动。在开路条件下，样品两端产生电荷积累，形成电场，样品两端建立起电位差，积累电荷建立的电位差称为光子牵引电压，它反映了入射光功率的大小，基于这种原理制作的光探测器称为光子牵引探测器。,