《硅片过程检验培训》PPT课件.ppt

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1、硅片过程检验培训,目录：1.引言 2.电池片过程检验标准 3.过程检验作业指导书,硅片检验主要分为三类：1.硅片来料检验 2.电池片生产过程检验 3.电池片出货检验,引言,硅片来料检验设备：,引言,硅片来料检验设备：,引言,硅片来料检验目的：保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门),引言,硅片来料检验主要项目：1.电学部分：厚度/电阻率测试 少子寿命测试,引言,2.光学部分：几何尺寸 垂直性 硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口）表面脏污 空洞和隐裂,引言,相关硅片实例：,引言,电池片生产过程检验目的：防止过程中出现批次性问题，避

2、免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性，保证产品效率及成品率。,引言,电池片生产主要过程介绍：,引言,电池片生产过程检验主要相关设备：,引言,主要分为以下几个控制点：1.前期准备工作检查2.制绒清洗后；3.扩散后；4.等离子刻蚀后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.丝网烧结后；8.电池片性能测试分档后。,电池片过程检验标准,前期准备工作检查：设备开机检查，填写巡检记录单；工艺参数监控：设备各参数达到工艺要求后进行生产。,电池片过程检验标准,各工序关键工艺参数：制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度，溶液温度等。扩

3、散：扩散温度，气体流量等。等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。,电池片过程检验标准,去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工艺温度等。丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距，印刷方式，烧结各加热区温度等。,电池片过程检验标准,制绒清洗后：制绒后硅片外观：硅片表面制绒均匀，无点状亮点硅片称重：清洗前后重量差在0.60.7g,电池片过程检验标准,扩散后：方块电阻：测量范围在405/方阻均匀性：均匀性误差不大于5%,电池片过程检验标准,等离子刻蚀后：边缘电阻测量：测量范围在3010k刻蚀痕迹（目测）,电池片过程检验标准,去磷硅玻璃清洗后：电池片外观：扩散面无明显发

4、暗扩散面疏水性（目测）,电池片过程检验标准,PECVD后：工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色（目测）氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于5%,电池片过程检验标准,丝网烧结后：印刷重量：正银为0.10 g 0.02 g；背银为0.12 g 0.02 g；背铝为0.8 g 0.2 g；电池片外观：满足成品电池片外观分选标准要求。,电池片过程检验标准,电池片性能测试分档后：标准片校准碎片记录,电池片过程检验标准,一、目的：防止制程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。,过程检验作业指导书,三、职责：品控员负责对生产过

5、程的监控，对生产工序的巡查，将遇到的问题反馈给PQC工程师。PQC工程师负责品控员监督、巡检统计表的汇总报告，以及协调生产部，工艺部和设备部解决相关问题。,过程检验作业指导书,四、工作内容:品控员在每班开始生产前完成对各种测试设备的校准工作，并填写测试设备校准记录单。品控员每隔一小时检查各工序使用作业指导书是否正确，操作员是否按照要求进行操作，并填写巡检记录单。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。,过程检验作业指导书,品控员每隔一小时检查产品流转情况，并填写巡检记录单。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。品控员每隔一小时检查各工序使用的设备和工装

6、是否符合作业指导书和设备操作规程，并填写巡检记录单。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。,过程检验作业指导书,生产过程中有状态变更（包括工艺、设备和操作人员等）后，品控员需对调整后的前3批产品质量进行跟踪，并填写巡检记录单。对于生产过程中不合格的原材料的处理，要填写原材料异常反馈单，对不合格原材料的使用情况进行处理并向技术质量部主管反馈。,过程检验作业指导书,品控员若发现制造产品过程略有偏离正常状态，尚未造成质量问题时，应立即口头通知生产部带班班长和PQC工程师，必要时通知生产部门经理进行改善，并跟踪改善结果，若三次改善无效，则填写质量信息反馈单经技术质量部及相关部门确

7、认后，按确认结果进行处理。,过程检验作业指导书,对于现场中出现的质量问题，品控员立即告知PQC工程师及带班班长，带班班长要立即停产。QC与生产、工艺人员（必要时请研发人员协助）共同对事故原因进行分析，要立即发放纠正与预防措施单，找出发生质量问题的真正原因，制定纠正预防措施。并同时用电话或邮件通知技术质量部主管和生产部主管。发现重大异常立即向技术质量部经理和制造部经理报告。确认是否造成质量事故，如造成质量事故，根据质量事故的管理规定执行。,过程检验作业指导书,品控员每隔一小时需对各生产工序的成品监控点进行抽检，并填写相关巡检记录单。,过程检验作业指导书,生产各工序员工负责对制绒、扩散、刻蚀、去PSG、PECVD、丝网印刷、烧结、电性能测试等工艺后的碎片进行分拣、收集、记录。成品终检员负责对外观分拣后的碎片进行分拣、收集、记录。,过程检验作业指导书,谢谢大家！,