《特种印刷》PPT课件.ppt
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1、第十二章 集成电路印刷,集成电路(Integrated Circuit:IC)指以半导体晶体材料为基础,采用专门的工艺技术将组成电路的元器件和互连线集成在基片内部、表面或基片之上的微小电路或系统。集成度:指在一定尺寸的芯片上可以做出多少个晶体管。,一、概述 1集成电路的分类(Integrated Circuit:IC)按其基本构成不同分为两类:半导体IC和混合IC(薄膜IC、厚膜IC、组合IC);半导体IC:也称整体集成电路,是在半导体基板上由晶体三极管、晶体二极管和电阻电容构成的一体化电路。混合IC:将用于电路中的晶体三极管、晶体二极管的硅材料,基板的绝缘材料,配线部分的其他材料混合,制成混
2、合IC。,2厚膜集成电路 适用于耗电小、大功率、高电压电路,成本低,适合大批量生产制作:是将导体、电阻、电容等用特殊油墨印刷在陶瓷上,再通过烧结使其得到所要求的电气性能。构成:基板,导体,电阻元件,电介体元件,电感元件,有源元件,内部接线,外装等8部分构成;应用:电子工业,军事宇航领域,民用工业等。,厚膜IC的构成,基板:矾土陶瓷、镁橄榄石陶瓷、锆质陶瓷、滑石质高绝缘陶瓷、莫来石陶瓷、堇青石陶瓷等导体:Pd-Ag,Pt-Ag,Au,Ag电阻元件:金属釉电阻(RuO2系,Ag-Pd系),树脂系碳素皮膜电介体元件:陶瓷电容器,层合片型陶瓷电容器,圆片型钽固体电解电容器,薄膜及厚膜电容器电感元件:薄
3、膜及厚膜线圈,磁芯线圈有源元件:各种半导体组件,箔片晶体三极管,IC箔片内部接线:超声焊接、软熔钎焊、特殊软钎焊外装:浸渍环氧树脂涂装及模具等,二、厚膜集成电路的制作 1工艺过程:主要由印刷和烧结工艺组成,制作工艺的前后顺序由各工序的烧结温度决定,导体印刷与烧结 电介体印刷与烧结(导体油墨,8501000)(电介油墨,绝缘油墨,850900)电极印刷与烧结 电阻印刷与烧结 电阻、静电容量修正(导体油墨,750800)(电阻油墨,700760)保护涂层印刷与烧结有源元件管芯联接(玻璃油墨,540)(硅晶体三极管、硅二极管,硅半导体IC,400420)有源元件导线连接有源元件保护覆层(金属导线或A
4、l线300350)(硅树脂,200)组装元件外引线的钎焊外涂装(微型晶体三极管)(树脂),基本原则:将烧结温度高的工序放在前面,以避免因烧结温度过高而影响厚膜IC的电气性能。,2印刷印刷方式:基板为硬性陶瓷材料,本身没有吸墨性,而要求墨层较厚,选用丝网印刷;承印物陶瓷材料,印墨特殊油墨制版:阳图原稿,直接感光制版法,不锈钢丝网,金属网框;印刷工艺:平面丝网印刷机,要求印刷位置准确一致,印压合理,墨层厚度均匀。,3基板要求耐高温,耐烧结,不与油墨发生反应,对玻璃粉的附着性良好,表面光滑,机械强度和尺寸稳定性良好。主要材料氧化铝(纯度96%),厚度,标准尺寸5050。种类氧化铝陶瓷基板,镁橄榄石陶
5、瓷基板,高频绝缘石陶瓷基板,锆石陶瓷基板,莫莱石陶瓷基板,堇青石陶瓷基板等,4油墨作为电子元件的构成材料,应满足集成电路电气性能的要求。导体油墨:由金属粉末、玻璃粉、连结料和添加剂构成;,(a)印刷:印刷后形成导电性油墨皮膜,金属粉末和玻璃粉均匀分散在连接料树脂中,(b)烧结:连接料树脂开始燃烧,墨层体积减少,玻璃粉软化熔融后向基板表面扩展,和金属粉末粘结在一起,(c)冷却:玻璃粉紧紧填充排列,和金属粉末有序粘结在一起,形成金属粉末整齐排列的墨层,以实现油墨皮膜的导电性能,导电性油墨的印刷、烧结冷却过程1-玻璃粉 2-树脂 3-金属粉末 4-基板,电阻油墨:主要由金属粉末构成电阻皮膜;金属粉末
6、(Ag、Au)电阻油墨组成 铂(Pd、Pt、Ru)硼硅酸盐系玻璃粉+树脂+溶剂 添加剂:金属氧化物粉末 电阻值大小由油墨成分、烧结条件等决定电介油墨:钛酸钡与玻璃熔化后急速冷却制成玻璃粉末,并与树脂、溶剂混合,可作为电容器使用;绝缘油墨:主要作为电阻厚膜保护或配线的多层交叉绝缘;有源油墨:硒、硫化镉、硒化镉、硫化锌等,主要形成半导体组件和晶体三极管等,烧结工艺要求更严格,5烧结与修正烧结:合理控制烧结温度和烧结时间,保证厚膜IC的电气性能。工艺过程:预加热升温烧结冷却预加热:50400,墨层有机连接料燃烧气化升温:400 800,金属氧化或还原反应,并使金属粒子熔化,使印刷图文得到要求的电气性
7、能烧结:800 恒温,使玻璃粉元素熔化,金属成分固着在基板上冷却:快速冷却,避免继续反应,修正:电阻油墨进行烧结后对电阻的大小要进行修正,只能增大;电路设计时的电阻要稍小一些方法喷射氧化铝粉末,使电阻表面平整化,提高电阻值。三、发展方向 1提高印刷网版的精度;2研究高性能的专用特殊油墨;3提高丝网印刷机的精度和效率;4增进微型电路集成块的实用化。,丝印缺陷对厚膜电路的影响,习题,1.集成电路按其基本构成不同可分为几种类型?2.什么是半导体IC和混合IC?3.说明厚膜IC 的应用与构成4.制作厚膜IC为何一般采用丝网印刷方式?如何合理选择丝网材料和线数?对丝网印刷机有哪些要求?5.说明烧结工艺在
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