《刻蚀工艺介绍》PPT课件.ppt

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刻蚀工艺介绍,辛小刚,刻蚀原理介绍,刻蚀主要工艺参数,刻蚀液更换频率的管控,刻蚀不良原因分析,刻蚀原理介绍,刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的 Metal/ITO膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需要的图形。,刻蚀种类,目前我司的刻蚀种类主要分两种：1、Metal刻蚀 刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。Metal：合金金属 2、ITO刻蚀 刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。ITO：氧化铟锡（混合物）,Metal刻蚀前后：,ITO刻蚀前后：,刻蚀前后对比照片,主要工艺参数,刻蚀液更换频率的管控,作业数量管控：每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。作业时间管控：由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。首片和抽检管控：作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约25min）。,刻蚀不良的产生原因,1、大面积刻蚀不干净：-刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。2、刻蚀不均匀：-喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。3、过刻蚀：-刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。,追求卓越、持续创新,