《光敏传感器》PPT课件.ppt
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1、1,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器 一、光电效应光谱光 波:波长为10106nm的电磁波紫外线:波长10380nm,波长10200nm称为极远紫外线,波长200300nm称为远紫外线 波长300380nm称为近紫外线可见光:波长380780nm红外线:波长780106nm 波长3m(即3000nm)以下的称近红外线 波长超过3m 的红外线称为远红外线。,2,8-2光敏传感器一、光电效应,第8章 固态传感器,3,第8章 固态传感器,1905年,爱因斯坦提出了光子假设:光在空间传播时,不仅是连续的(波动性),也具有粒子性,即一束光是一束以光速运动的粒子流,爱因斯坦把这些不连续的量子称为“光量
2、子”。1926年,美国物理学家刘易斯把这一名词改称为“光子”,并沿用至今。,8-2光敏传感器一、光电效应,4,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应光电器件的物理基础是光电效应。光电效应:光照到某些物质上,引起物质的电性质变化。这类光致电变的现象统称为光电效应。光电效应分为:外光电效应和内光电效应,5,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(一)外光电效应 光线作用下,物体内的电子逸出物体表面,向外发射的现象称为外光电效应。基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管等。,光电效应的实验装置示意图,光电效应的伏安曲线,6,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(一
3、)外光电效应,光子的能量:(8-36)式中:h=6.62610-34(Js)为普朗克常数;v=光的频率(s-1)。,7,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(一)外光电效应,(8-37),式中 m 电子质量;v0 电子逸出速度;A0逸出功。,爱因斯坦光电效应方程,若物体中电子吸收的入射光子能量足以克服逸出功A0 时,电子就逸出物体表面,产生光电子发射。故要使一个电子逸出,则光子能量hv 必须超过逸出功A0,超过部分的能量,表现为逸出电子的动能,即,8,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应光电导效应:在光照作用下,半导体材料中电子吸收光子能量从键合状态过渡
4、到自由状态,而引起材料电阻率的变化,这种现象称为光电导效应。基于这种效应的光电器件有光敏电阻。,P型半导体的共价键结构,9,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应 光电导效应,自由电子所占能带,不存在电子所占能带,价电子所占能带,光电导效应的能级跃迁过程:当光照射到半导体材料上时,价带中的电子吸收光子能量hv,当其大于或等于禁带宽度Eg 时,使其由价带越过禁带跃入导带,使材料中导带内的电子和价带内的空穴浓度增加,从而使电导率变大。,导带,价带,禁带,Eg,10,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应 光电导效应,导带,价带,禁带,Eg,临界波
5、长,11,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应 光电导效应 hvEg v=c,式中c:光速:波长,故临界波长,式中h=6.62610-34 JSc=3108 m/sEg:以eV为单位,1eV=1.610-19J,12,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应 光电导效应临界波长 0 0=c/0 当0,即 0 时,才能发生光电导效应,13,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器一、光电效应(二)内光电效应光生伏特效应,在光照作用下能够使物体产生一定方向电动势的现象叫光生伏特效应。基于该效应的光电器件有光电池和光敏晶体管。,14,第8章 固态传感器
6、,8-2光敏传感器二、光敏电阻,光敏电阻又称光导管,是一种均质半导体光电器件。它具有灵敏度高、光谱响应范围宽;体积小、质量轻、机械强度高,耐冲击、耐振动、抗过载能力强和寿命长等特点。,15,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻,光敏电阻又称光导管,是一种均质半导体光电器件。它具有灵敏度高、光谱响应范围宽;体积小、质量轻、机械强度高,耐冲击、耐振动、抗过载能力强和寿命长等特点。,16,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(一)光敏电阻的原理和结构,当光照射到光电导体上时,若光电导体为本征半导体材料,而且光辐射能量又足够强,光导材料价带上的电子将激发到导带上去,从而使导带的
7、电子和价带的空穴增加,致使光导体的电导率变大。为实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光导材料的禁带宽度Eg,即式中 和入射光的频率和波长。,17,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(一)光敏电阻的原理和结构,也就是说,一种光电导体,存在一个照射光的临界波长0,只有波长小于0的光照射在光电导体上,才能产生电子在能级间的跃迁,从而使光电导体电导率增加。,18,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(一)光敏电阻的原理和结构,CdS硫化镉光敏电阻的结构和符号,1光导层 2玻璃窗口 3金属外壳 4电极5陶瓷基座 6黑色绝缘玻璃 7电极引线,19,第8章 固态传感器,8-2光敏传
8、感器二、光敏电阻(二)光敏电阻的分类,根据光敏电阻的光谱特性,可分为三类光敏电阻器:紫外光敏电阻器:对紫外线较灵敏,包括硫化镉、硒化镉光敏电阻器等,用于探测紫外线。红外光敏电阻器:主要有硫化铅、碲化铅、硒化铅、锑化铟等光敏电阻器,广泛用于导弹制导、天文探测、非接触测量、人体病变探测、红外光谱,红外通信等国防、科学研究和工农业生产中。,20,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(二)光敏电阻的分类,可见光光敏电阻器:包括硒、硫化镉、硒化镉、碲化镉、砷化镓、硅、锗、硫化锌光敏电阻器等。主要用于各种光电控制系统,如光电自动开关门户,航标灯、路灯和其他照明系统的自动亮灭,自动给水和自动停水
9、装置,机械上的自动保护装置和“位置检测器”,极薄零件的厚度检测器,照相机自动曝光装置,光电计数器,烟雾报警器,光电跟踪系统等方面。,21,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性1.暗电阻、亮电阻 光敏电阻在室温条件下,全暗后经过一定时间测量的电阻值,称为暗电阻。此时流过的电流,称为暗电流。光敏电阻在某一光照下的阻值,称为该光照下的亮电阻。此时流过的电流称为亮电流。亮电流与暗电流之差,称为光电流。,22,第8章 固态传感器,光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小则性能越好。也就是说,暗电流要小,亮电流要大,这样光电流就越大,说明光敏电阻灵敏度就高。实际上,
10、大多数光敏电阻的暗电阻往往超过1 M,甚至高达100 M,而亮电阻即使在正常白昼条件下也可降到1 k以下,可见光敏电阻的灵敏度是相当高的。,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性1.暗电阻、亮电阻,23,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性 2.光照特性,光敏电阻电路连线,光敏电阻的光照特性曲线,G,24,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性 3.光谱特性 光谱特性与光敏电阻的材料有关,20,40,60,80,100,40,80,120,160,200,240,10-2/m,3,
11、1,2,相对灵敏度,1硫化镉2硒化镉3硫化铅,25,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性 4.伏安特性,光敏电阻电路连线,光敏电阻的伏安特性曲线 1-照度=0 2-照度0,G,注:电压不能无限地增大,因为任何光敏电阻都受额定功率、最高工作电压和额定电流的限制。,26,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻的主要参数和基本特性 5.频率特性,光敏电阻的频率特性随所用材料的不同而有所区别,27,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(二)光敏电阻的主要参数和基本特性 6.稳定性,初始稳定性不好 需老化处理,28,第8章
12、 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(二)光敏电阻的主要参数和基本特性7.温度特性,I/A,100,150,200,30,50,-30,T/C,20,40,60,80,100,0,1.0,2.0,3.0,4.0,I/mA,+20 C,-20 C,/m,-50,-10,10,光敏电阻和其它半导体器件一样,性能受温度影响较大,硫化镉,硫化镉,29,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配 每一光敏电阻都有允许的最大耗散功率Pmax。如果超过这一数值,则光敏电阻容易损坏。因此,光敏电阻工作在任何照度下都必须满足 IUPmax 或(8-39)I 和 U分别为通过光敏电阻的电流和它两
13、端的电压。因Pmax数值一定,满足(8-39)式的图形为双曲线。,第8章 固态传感器,30,图8-43 光敏电阻的测量电路及伏安特性,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,Pmax双曲线在左下部分为允许的工作区域。,31,光敏电阻测量电路中的电流I为(8-40)式中 RL负载电阻;RG光敏电阻;E电源电压。,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,32,图中绘出光敏电阻的负载线NBQA及伏安特性OB、OQ、OA,对应的照度为L、LQ、L。设光敏电阻工作在LQ照度下,当照度变化时,工作点Q将变至A或B,它的电流和电压都改变
14、。设照度变化时,光敏电阻值的变化RG,则此时电流为,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,33,式中负号所表示的物理意义是:当照度L光敏电阻RG,即RG 0。光敏电阻的RG和RG可由实验或伏安特性曲线求得。在照度LConst时RGI。,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,34,当电流为I时,由图可求得输出电压U为 U=E-IRL电流为I+I时,其输出电压则为 U+U=E-(I+I)RL,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,在照度LConst时RGU。,35,当光敏电阻的RG和R
15、G及电源电压E为已知,则选择最佳的负载电阻RL有可能获得最大的信号电压U,这不难由(8-43)式求得。令解得 RL=RG,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器二、光敏电阻(三)光敏电阻与负载的匹配,36,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池,复习:光生伏特效应 光电池是利用光生伏特效应把光能直接转变成电能的器件。由于光电池可把太阳能直接变成电能,因此又称为太阳能电池。光电池是发电式有源元件。它有较大面积的PN结,当光照射在PN结上时,在结的两端出现电动势。命名方式:把光电池的半导体材料的名称冠于光电池(或太阳能电池)之前。如,硒光电池、砷化镓光电池、硅光电池等。目前,应用最广、最有发
16、展前途的是硅光电池。,37,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池,硅光电池:价格便宜,转换效率高,寿命长,适于接受红外光。硒光电池:光电转换效率低(0.02)、寿命短,适于接收可见光(响应峰值波长0.56m),最适宜制造照度计。砷化镓光电池:理论转换效率比硅光电池稍高,光谱响应特性则与太阳光谱最吻合。且工作温度最高,更耐受宇宙射线的辐射。因此,它在宇宙飞船、卫星、太空探测器等电源方面的应用是有发展前途的。,38,(一)光电池的结构原理制造工艺常用的硅光电池的结构如图所示。工艺:在电阻率约为0.1 cm1 cm的N型硅片上,扩散硼形成P型层;然后,分别用电极引线把P型和N型层引出,形成
17、正、负电极。如果在两电极间接上负载电阻R L,则受光照后就会有电流流过。为了提高效率,防止表面反射光,在器件的受光面上要进行氧化,以形成SiO2保护膜。,图8-44 硅光电池的构造图,8-2光敏传感器三、光电池,第8章 固态传感器,39,(一)光电池的结构原理硅光电池器件的价格与原材料消耗量密切相关。把光电池做成圆形(或六角形),利用率最高,为了满足电源电压、容量的要求,必须把单个光电池串、并联起来组成电池组使用。,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池,40,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(一)光电池的结构原理,(a)光电池的结构图,(多数载流子)热运动结果,光,P,
18、N,当N型半导体和P型半导体结合在一起构成一块晶体时,由于热运动:N区中的多子电子向P区扩散,P区中的多子空穴N区扩散,结果在N区靠近交界处聚集起较多的空穴,而在P区靠近交界处聚集起较多的电子,于是在过渡区形成了一个电场,方向:NP。这个电场阻止多子进一步扩散。但它却能推动N区中的空穴(少数载流子)和P区中的电子(也是少数载流子)分别向对方运动。,41,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(一)光电池的结构原理,(b)光电池的工作原理示意图,I,光,P,N,当光照到PN结区时,如果光子能量足够大,就将在结区附近激发出电子空穴对。在PN结内电场的作用下,N区的光生空穴被拉向P区,P区的
19、光生电子被拉向N区,结果,在N区就聚积了负电荷,P区聚积了正电荷,这样,N区和P区之间就出现了电位差。若将PN结两端用导线连起来,电路中就有电流流过,电流的方向由P区流经外电路至N区。若将外电路断开,就可以测出光生电动势。,光生空穴,光生电子,P,N,PN结电场,42,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(一)光电池的结构原理,(a)光电池的结构图,(b)光电池的工作原理示意图,I,光,P,N,当光子能量 时,即(8-38)产生光电流,外电路断路时产生光生电动势。,光子能量足够大,即,43,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(一)光电池的结构原理,光电池的表示符号、基本电
20、路及等效电路如图所示。,光电池符号和基本工作电路,44,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本特性1.光照特性,开路电压曲线:光生电动势与照度之间的特性曲线,当照度为2000lx时趋向饱和。短路电流曲线:光电流与照度之间的特性曲线.,45,第8章 固态传感器,说明:外接负载相对于光电池内阻而言是很小的。光电池在不同照度下,其内阻也不同,因而应选取适当的外接负载近似地满足“短路”条件。光电池的短路电流Isc与照度L成线性关系,而且受光面积越大,短路电流也越大。当光电池作为测量元件时应取短路电流的形式。应用:照度计,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本特性1.光照特性,46,第8
21、章 固态传感器,下图表示硒光电池在不同负载电阻时的光照特性。从图中可以看出,负载电阻RL越小,光电流与光照强度的线性关系越好,且线性范围越宽。,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本特性1.光照特性,47,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本特性2.光谱特性,光电池的光谱特性决定于材料。从曲线可看出:硒光电池:在可见光谱范围内有较高的灵敏度,峰值波长在540nm附近,适宜测可见光。硅光电池:应用的范围400nm1100nm,峰值波长在850nm附近,因此硅光电池可以在很宽的范围内应用。,可见光:波长380780nm,48,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(二)基
22、本特性3.频率响应,光电池作为测量、计数、接收元件时常用调制光输入。光电池的频率响应:指输出电流I 随调制光频率f 变化的关系由于光电池PN结面积较大,极间电容大,故频率特性较差。图示为光电池的频率响应曲线。由图可知,相对而言,硅光电池具有较高的频率响应,如曲线2,而硒光电池则较差,如曲线1。,49,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本特性 4.温度特性,光电池的温度特性:是指开路电压和短路电流随温度变化的关系。温度上升1 时,Uoc开路电压约降低3 mV。温度上升1 时,Isc 短路电流只增加210-6 A。,50,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(二)基本
23、特性 4.温度特性,由图可见,开路电压与短路电流均随温度而变化,它将关系到应用光电池的仪器设备的温度漂移,影响到测量或控制精度等主要指标,因此,当光电池作为测量元件时,最好能保持温度恒定,或采取温度补偿措施。,51,光电池的转换效率:光电池的最大输出电功率和输入光功率的比值,称为光电池的转换效率。光电池输出功率:在一定负载电阻下,光电池的输出电压U与输出电流I的乘积,即为光电池输出功率,记为P,其表达式如下:P=IU硅光电池转换效率的理论值,最大可达24%,而实际上只达到10%15%。,第8章 固态传感器,8-2光敏传感器三、光电池(三)光电池的转换效率及最佳负载匹配,52,最佳负载电阻在一定
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