ECVD生产操作规程.ppt

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1、PECVD生产操作规程,1 安全警告,设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机,2 安全与标识,威胁人身伤亡或健康微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2热的表面,触电危险戴防护眼镜戴防护手套,3 开机,开总电源启动计算机检查冷却水检查气源启动“system”程序,3.1 开总电源,检查三 只红色急停按钮是否复位，如

2、末复位拉出复位,向右转动主电源断路器手柄复位，然后向左转动手柄，主电源合闸机器上指示灯、温控仪表点亮 可确认总电源已开启,3.2 启动计算机,轻压一下工控机主机上“POWER”按钮，计算机启动WIN-NT,3.3 检查冷却水,冷却水压力应在4kg/cm2-6kg/cm2范围内先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀,检查、调节水流量计，ww1-4 为 10L/min,ww5-6为 6L/min，ww7-12 为 2.5L/min(设备人员调节),3.4 检查气源,打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2-7 kg/cm2打开氮气阀，氮气压力小于5kg/cm2,3.5 启动“system”程序,用鼠

3、标左键双击Win-nt 桌面“system”图标启动后登入自己使用权限帐号,4 选择工艺单、生产,开真空泵，预加热启动指定工艺检查工艺运行情况放置空石墨框进行传动状态测试工艺调试，生产,4.1 开真空泵，预加热,检查机器无故障显示后，开真空泵加热腔和反应腔预加热当反应腔真空压力小于1.0e-2mbar,温度达到预设定的值，方可启动工艺,4.2 启动指定工艺,打开墙壁气箱中特气阀点击“control”控制按钮，“technology”框中选择规定的工艺单后，加载“load”,启动工艺“start”，在“transp-ortation”框启动传动,4.3 检查工艺运行情况,过程状态画面框显示过程执

4、行“process running”压力控制微波开启特气开启以上条件满足方可启动工艺,4.4 传动状态测试,在机器装载口平稳放置空石墨框进行传动状态测试,4.5 进行工艺调试，生产,放入装有需加工硅片的石墨 框进行工艺调试，生产在机器口放置、检查好石墨框后按压黑色准备好按钮，机 器传动才执行带上高温手套，及时从机器出口平稳拿出石墨框,5 停机,停止工艺运行关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫关掉真空泵,向机器腔体冲入净化N2退出控制程序“system”,关主电源关上压缩空气、氮气、冷却水,5.1 停止工艺运行,鼠标点击“control”按钮，弹出下拉菜单点击工艺“stop”按钮点击传动“stop”

5、按钮,5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫,关上位于墙壁气箱中特气阀通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫,5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2,进入“system”状态画面，点击“pumps”控制按钮，弹出下拉菜单等待真空泵净化N2气阀关闭点击三个真 空泵“pump off”控制按钮关掉真空泵点击反应腔“vent”控制按钮,向机器腔体冲入净化N2，等待冲好指示灯点亮,5.4 退出控制程序，关主电源,进入“service”状态画面，点击系统中“switch off”控制按钮，计算机显示回到win-nt 画面进行正常关计算机操作用手按压一下红色急停按钮，关闭主电源，拉出红色急停按钮复位,5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水,关上压缩空气、氮气阀等十五分钟后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀,Figure 10:Process chamber,Figure 12:Gas system,PECVD生产操作规程,完,