晶体生长仿真软件FEMAG之Float Zone Process .docx

《晶体生长仿真软件FEMAG之Float Zone Process .docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《晶体生长仿真软件FEMAG之Float Zone Process .docx（5页珍藏版）》请在三一办公上搜索。

1、晶体生长仿真软件FEMAGFloat Zone Process (FEMAG-FZ)FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法生长工艺(FZ, PFZ)FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场，并研发新的方法以满足新的商业需求 点，比如：/无缺陷晶锭生长/提高成品率/节省R&D成本FEMAG区熔法软件因为降低了试验成本而显著节省研发费用。17WK 1 /J( K 1C&IFK IRTJdi K 1GMK 15G0K14D0K 13MJK 1300 K12OTK 115&K 1100K ICSftK 10WK A60K 9OOK a&OK 3X3IK 7S0K 700 K bOK SC

2、OK 550 K 5DOK 屿3, 4COK IbtlK ICO :.0 4-0 3-0 2-D,10.10,20.3nZMA.Dfe( E7区熔法工艺的等温线预测无缺陷晶锭生长I无缺陷晶体硅生长是世界上最大的难点之一。FEMAG模拟软件能够帮助工程师运用自己独一无二的技术生长出无缺陷晶体。半导体晶体缺陷决定了晶锭的市场价格。通过FEMAG软件的缺陷工程模块，品 体生长行业工作者能够轻松预测晶体炉中生长的晶体质量。缺陷工程模块能够洞悉硅、锗生长过程中填隙原子，空位和微孔演变过程。FEMAG-FZ能够成为你的测试平台，试验在不同的操作条件下对于晶体生长质 量的影响，如/热场设计/晶体和馈送棒的旋

3、转速率/晶体提拉速度，馈送棒的推送速度一旦研究出上述的依赖关系，就能够控制工艺过程，获得最理想而省时的晶体生 长条件。I GE-a L-fiiZE-ZS i,g IkS ffl ：I at-ll mBE .1! MprpFFppnlpIILIikiilrppi - I- .7 7 T T 7 7 T -G r + 吐一 l-+A.-I# r ucqql履JMe E u b- c w- E n o .u 5 A- n A 7Z1B3S4MXar m a-if 41 a-IC-iS m匚is-IAL-S1I5E曲 l.-SE-iSUmSSinh 0 70OTD.QL* 左Q 。睥5 O.S 0.0

4、7!x| 呵BAG电HE（尸 IFEMAG 预测区熔法生长晶体缺陷提高成品率您曾经考虑过是什么限制了您的晶体生长生产潜力以达到最大产量吗？您知道 这些限制因素对产出的影响吗？FEMAG区熔法模拟软件可以帮助您在晶体生长过程的每一个时刻追踪关键参 数的变化。区熔法模拟软件为工程师们提供了在晶体生长过程中凝固前沿形状，热弹性应 力，溶体流动形态等信息。FEMAG FZ模块的用户可以通过上述的参数信息优 化其工艺条件，从而增加凝固生产效率和产出。节省R&D成本FEMAG区熔法模拟软件能够降低您的研发成本，区熔法生长的领先用户擅于使用FZ模拟软件来减少实验成本并增加投资回报。这些模拟工作旨在复现固液界面的实验结果，并将数值模拟的结果与晶锭的光扫 描观测结果进行对照。模拟晶体转速对熔体流动的影响