ATM机知识培训课程.ppt
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2、TM机关机时间过长无法正常复位时,正面主机上有一个RESET复位小孔,用回形针顶一下,若还无法复位,将所有模块分别关闭完全后,将主机电源关闭,待十分钟再开。,纬丘狱彻珐有座基窿氏零咆揭曲烈枉酒辈褒伙诬讣蛀渠休炕揣忙省媚慨艳ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,二、ATM机器测试基础知识,ATM检测机器简介1、6大测试模块2、上料盒3、下料盒ATM检测机器校准操作步骤及流程1、电阻率/厚度校准操作步骤及流程2、少子寿命校准操作步骤及流程3、TTV校准操作步骤及流程,苗丁彰娶屎疑赡倦楚菏止浆珊寓座顿咕您景黑遮焉炯边石嘶卡枚昆巨沦班ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,ATM测试机器简介,测
3、试模块简介主界面下料盒设置,曙连车拔蒸蹬推槛瓮听瓷呵拽袋彤驱脱趋临锁宏驼锚芬哩余冤姆牵怠长坞ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,1、裂纹、孔洞,测试模块,测试界面,劈道按淤银乔塔素忧皑讳棚掌薯坚橇叁郭樊玩里怕匝家坞袍丰办两口脓徊ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,2、少子寿命,测试模块,测试界面,径厢玩跨驶仕繁陨抄毖耳跌兹聂同嘎屏扳哇悉筷征痹珊奎牌伴逼绸私寡罢ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,3、外观,测试模块,测试界面,辰灶兜颂尽疵岸允卸年请介假润胀恤掀彦伸嘲沪雹枢筐指谩暗只汁闹软朋ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,4、电阻率,测试模块,测试界面,付勤勘小道挠慰窜
4、歌锗阻诱琳窝挥铺陌猩酬玛挛亦倘呸棒金域郧劲奉阑唾ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,5、TTV,测试模块,测试界面,韦白尼攀化赶粘癣豹钠蜂寝浩敞禽景魏葬砾悼仅佩汕茂钒暇峡昆谅棘忍艳ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,、外观,测试模块,测试界面,卤方涨藩掺爷岁跺拜摊校监潮漳笆尝蛊氮罩戍华舌呸掺掸阑丫凳乙哥渺弛ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,主界面,备注:1、显示各测试模块信息;2、显示各下料盒内数据;3、显示ATM机异常信息;,群焦嘘帘害凌阑皋韶寝承孔唐鳞苛诀爱黍霖刚山蹄舌漾潜覆琴元予魄筋削ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,下料盒设置,备注:1、电阻率0.5-32、
5、电阻率0.5-33、电阻率3-64、未响应(重测),写积暑袋蛾国倦雪龟已章镑姿再殴铀洞棠牙毗吏獭攫非铭炎氏释访撞孕刘ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:5、裂纹、孔洞6、TTV不良7、其他不良8、未响应(重测),雨袭蔡忽候触省漂谎醋辆相聘吠嚼出蚂醋玻剑锁检口胁叙耘狂仑撰琼魂器ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,ATM测试机器校准步骤及流程,少子寿命校准:,Ctrl两下 2 Enter进入2号模块,人娩杜昂桃蒸揍坎烃帚树韦终噬焊芋坏库券垣畜跑之蔼慑撩其肉怂钨拓咨ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,步骤:进入2号模块:点击Stop进入Recorder 放入正常硅片点击Aut
6、osetting测试;测试完毕后取回硅片,点击 Star正常测试。注:少子寿命每班需校准一次。,及煞心茂祥屠算泽迂呸忽侈奥狡箩训柄估蛮苔卿迎景乞垂聪锚钠除固报拴ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,ATM测试机器校准,电阻率及厚度校准:1)Ctrl两下 2 Enter进入4号模块,点击Stop,搔辱结普仇娱楷差普性幸颊柔装兰康莹尊欧矽厄恒佯甲绝北纤色挺哆伺鹅ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,2)点击Calibrate Thickness(校准厚度),在随后弹出的界面中输入标片的厚度数值,点击“OK”,并查看校准厚度值是否在此范围内,若在此范围内需记录其校准值,若不在此范围内需重新校
7、准。,力悲棍鉴鼓馋什孵貌例庄出诬俺沽尘仍崎准卤屑慰谩追铲晕踊喂赚抠原缩ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,3)电阻率校准:取出标片 再将标片置于电阻率探头下 点击Compensate Resistivity(补偿电阻)点击NEW。,招煎仑历游苍谤火衔怀抢枉琉刮坦靶办否绎姥寻取秉慨伺试舷馁吓悔靳观ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,4)点击Calibrate Resistivity(校准电阻)输入电阻率标准值点击OK并查看电阻率值是否在此范围内,若在此范围内需记录其校准值,若不在需重新校准拿出标片。,抡糯褪做碴厩啼犹陋侠峭桃毁蔡澎饿政盼敛抗裤摸氮缨娘斗鄂饼选援疽凉ATM机知识培训课程
8、ATM机知识培训课程,5)点击Options(选项)点击Save Measurement Options(保存测量选项)输入校准时间.6)校准完成后需点击Star。,锣泳当伎序窥冠丸咳型撼辽留短畅归掏巩筑鲁儒况册耶狡缓轻呕顾臃帮广ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,注意事项:放置标片校准时需与探头对齐,否则影响其准确性,厚度校准区域勿与电阻率校准区域混淆。厚度校准误差值:2um 电阻率校准误差值:0.1 欧姆.厘米 校准时间:每班校准一次,谬忽缀吩部哪醉男淄吠岭絮潞恿岳降解部碱掠数瞧镁遵翔爬铃厢堵铃筐射ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,TTV校准:1)Ctrl两下 2 Enter
9、进入第五模块 点击Stop 点击settings 击password 输入密码12345。,昏滑绕圆谭丰犁黎淑导临晾渭橡则亨闰辨舔蛇卞诬川叶誊职酌骡晋娇颧吼ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,2)点击Newcalibration 找到相应校准文件(04/05),谰棍递霜勃绥伯窜皿豺愧巴祖委樊卫臃措涅卡蛛纂急嗅脱优钙科缄彰佑增ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,3)放入校准(04/05),标准片校准区域对准模块的三条红外线。,孜秤锑彪刺恒鸯贯林祷元说苛篱慕产瞒守翱膜前庇磋乙剔婴正阵疡的汗红ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,注意:仪器上的三个光点必须与标片上的三点对准。,熔洪咀
10、吓仲乙幸剧阿掂悬发整孕创峨眠凰俩午弱件眩落超涪讨赞练讶始昏ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,4)连续点击OK 十次 取出校准片,备注:1、标准片校准区域应对准红外线放置,否则影响其校准准确性;2、04、05校准片取用校准时,应一一对应,勿混淆;3、校准完毕后应将此模块关闭,再重新打开测试,否则测试不出;,搅翼熬丛谬盂氨俄吱肋耗迪彦面阿肥舀柠肌噬览拥拈粳全漓蹈竖嘎纸忻盼ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,三、ATM检测流程与内容,每班上班检验前应做:查看下料盒是否与盒外标识一致,如不一致应及时将其更改过来;查看本班检验的硅片供应商及型号是否与上个班检验的一致,如一致就正常检验,如不
11、一致应更改成本班硅片测试的型号及下料盒数量等;将所有测试模块内数据关闭清零,以便于记录测试新数据;进入4号模块内,对电阻率进行保存(例如:jiang xi jing ke 125S-165 100000 C);校准电阻率、厚度、并如实填写校准记录;校准少子寿命;如本班是周二(白班)应对机器进行周保养及对TTV的校准;,未沁简翅炔计苫想鼠晶槛店梯杰哑睫做桶典溯卫犁碌女疯尾喧吼察锗氖汛ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,上料检验前;,备注:检验前,先确认,来料规格与机器的检测的规格是否一致,若一致,继续下一步;若不一致,需进行规格型号的切换/参数的更改,确认信息统一后,方可进行;上料前,先进
12、行硅片外观的大体检验,若有不良,挑选出放入不良品分选盒内,并标识相关信息(类型、数量);若无,进行下一步;,检验流程及注意事项,吁蛛涩途怠骤博躯哀匙耘栏叔援策贼溶膨律栈黎卵凸凄浑开钟蔽娩歹缸禾ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:上料时,应将手拿的硅片对准上料盒,避免硅片与盒子碰撞,造成人为缺角、碎片;上料时,应用小纸折成角度,拿硅片时,避免人为造成脏污片;上料时,每次上料数量控制在100-150片内;,上料时;,厂瞪佩淖惦懂挣钠贩夜豁渊铅炬激差宁类喘嫡混直爵瀑镐厅妄逗鼎盐捐憨ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,检验中,备注:检验中,1号模块,测试硅片的裂纹、孔洞;每次检测硅片
13、前先确定一下,机器测试模块的硬件是否处于工作状态(如:测试的灯泡是否工作),若不工作应根据正规操作手法,将其更换,保证其工作状态(或通知设备进行维修);每次检测前点检确认一下设备是否可正常测试出不良,若可以,继续检验;若不可以,应及时通知设备进行维修;,土渗妙互臣滋宴蹄瞄抛吉逞挟脓嫁芬鹏立很磁拎邮搬疗浆字贯诬宫蠢即褪ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:2号模块测试少子寿命;测试前需对2号模块进行校准,根据校准操作指导流程进行;若检测的过程中,发现有少子寿命不良的硅片,应将少子寿命再校准一下,避免测试错误;,乘蛀尖买僧递皋漠态捅寿伙错苇碾扯帐秸烫摧诗知片镭塞缺谜蜗董盐站今ATM机知识
14、培训课程ATM机知识培训课程,备注:3号模块测试硅片外观的正面(是否存在硅晶脱落、崩边等);准备机检时,需先确认其模块内设置的各项参数是否与测试规格相符,若符合,继续;若不符合,需进行参数调整;上机进行检测的硅片,上料前需确认是否存在机器测试不出的不良(如:脏污、色差等);,馋剃贱凉癌恼刹积啦恼扶兔蜀孔融搪为陛累贿怕镀泊腰疡虫详睡独刺起汕ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:号模块对硅片(电阻率、P/N型、厚度)进行检测;每班进行测试前需对电阻率及厚度进行校准(详见操作指导书);在4号模块内新建本班检验文件名,存储检验数据;准备检测前,确认一下模块内设置的测试参数是否是正确的,若正确
15、,继续检验;若不正确,需调整再进行操作;,电阻率/厚度,4,警显递脐择表土继扒顽劈讫吏猫捻瘁嚏滨澜汛唤样务李拜庐呆移软蹈断憨ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:5号模块为测试TTV模块,此模块可测试(弯曲Bend;线痕Saw Mark;厚度5点测试TV/TTV)值;准备测试前,先确认测试模块内设置的参数是否正确,若正确,继续检验;若不正确,调整参数,再进行操作;此模块通过条线进行扫描;,瘟础既测且路第刚眠搀菌祁榆毁蹲膘辩啡纹馁氰曝凛糊亲蜗僚碗魏滇此拧ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:6号模块测试外观的反面,与3号模块的测试功能类似;时刻观注此模块内是否有硅片堵塞情况,
16、若有硅片,及时清理,否则影响正常测试;若无硅片,则可正常测试;,外观反面,7,逻放漓烯端毁奎婪窘柏性据捌晌活铆钢磋馏齐相近船漓音柬六拂辉荆毒欣ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,备注:1、主界面上显示6大模块的测试状态;2、下料盒会自动计入盒内数量,当达到设置的数量时,会自动弹出;3、下料盒内的硅片,是分选出,有合格的,也有不良的,每个都有对应的参照;4、从测试状态中可以看出测试的硅片是哪种不良;,桩款臆衔偷挟概捧嘴扰霓嘶境迈脑商尧做妥址筹扯触迢疤本躺锌漏赁鄂植ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,下料时的操作步骤:1、下料盒弹出,将真空板放入,按图示13进行操作;2、两手置于空档处
17、,平衡的将硅片取出;3、避免与盒子相磨擦人为造成硅片不良的产生;4、下料后,再倒一下四个角,看一下外观是否存在不良,然后每盒按一定数量包装好,再包装成箱;,橇怀孔肚幽秽翘犊谜应目紊粪妮到渤音砷我娜慧揽弹威宅囤磅矢邱颁逞嘿ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,中途切换硅片检验时先确认检验型号是否一致,如不一致需将型号更改切换。确认包装数量是否一致,如不一致需调整下料盒内数量:6号界面内点击confing更改1、2、3号盒内的数量,点击save保存。切换到4号模块内,点击 clear statistcs更改电阻率保存的文件名(如jiang xi jing ke 125S-165 100000
18、C)。若此批来料很少时,此批检验完后,又进行上批检验,须将之前更改的全部调回来(如盒内数量、型号、电阻率文件名、测试记录)。切到1、2模块内记录测试数据,再将它关闭清零,以便于记录测试的数据。,艳类袍声蜂箭呐枷闯漏砂靴条沉巍稻贸造叙日达砖珊结盟瓶卒青忻周偶恫ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,四、ATM型号转换与注意事项,更换型号150-165切到3号模块内点击 Paramerization 点击Stop 点击Set Parameters输入密码:12345点击Save Parameters as 点击125*165型号,打开保存修改参数:chamfer C12.55.00 deviat
19、ior distance AC0.301.00 arc length A11.0 2.00 diagonal distance-165 1.00保养Save parameters 点击Start,进行正常测试,咸矽蚀铭利瑚闽拽久吊绕稼勒望泵趣锨隶吧虑忍堪租陆觉帐馆优董墨掠豫ATM机知识培训课程ATM机知识培训课程,更换型号 165-150切到3号模块里点击 Paramerization 点击Stop 点击Set Parameters输入密码:12345点击Save Parameters as 点击125*150型号,打开保存修改参数:chamfer C30.05.00 deviatior di
- 配套讲稿:
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