《电子封装》习题选解.ppt
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1、电子封装习题选解,中英文概念对应(1),ALIVH Any Layer Inner Via Hole Structure 任意层内互联孔结构BBit Buried Bump Interconnection Technology 埋置凸点互联技术BGA Ball Grid Array 球栅阵列封装CSP Chip Scale Package 芯片级封装FCA Flip Chip Attach 倒装芯片封装FCB Flip Chip Bonding 倒装焊微互联HTCC High Temperature Cofired Ceramics 高温共烧陶瓷ILB Inner Lead Bonding 内
2、侧引线键合LSI Large Scale Integration 大规模集成电路OLB Outer Lead Bonding 外侧引线键合PCB Printed circuit board 印制电路板PCVD Plasma Chemical Vapour Deposition 等离子体化学气相沉积PDP Plasma Display Panel 等离子体显示板,中英文概念对应(2),QFD Quad Flat Package 四侧引脚扁平风阻昂RCC Resin Coated Copper 涂树脂铜箔SiP System in a Package 封装内系统(系统封装)SoC System o
3、n a Chip 芯片上系统(系统集成)SMD Surface Mount Devices 表面贴装元件SMT Surface Mount Technology 表面贴装技术TAB Tape Automatic Bonding 带载自动键合TFT Thin Film Transistor 薄膜三极管UBM Under Bump Metal 凸点下金属ULSI Ultra Large Scale Integration 超大规模集成电路WB Wire Bonding 引线连接,7.请比较干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点。,干法刻蚀优点:各向异性好,选择比高,可控性、灵活性、重复性好,细线条操作安全,易
4、实现自动化,无化学废液,处理过程未引入污染,洁净度高。干法刻蚀缺点:成本高,设备复杂。湿法刻蚀优点:选择性好、重复性好、生产效率高、设备简单、成本低。湿法刻蚀缺点:钻刻严重、对图形的控制 性较差,不能用于小的特征尺寸,会产生大量的化学废液。,11.比较真空蒸镀、磁控溅射、等离子化学气相沉积(PCVD)的工艺特征,从气氛压力、材料供给(方法)、材料温度、基板温度和材料、膜面积、膜厚、膜厚控制、析出速度、附着性、外延特性、可应用的对象、激发介质等方面进行比较。参考田民波电子封装工程清华大学出版社2003年9月版,145页,21.对比SoC与SiP,SoC(系统集成)是CPU及其周边电路搭载在同一芯
5、片上,SiP(系统封装)将不同种类的元件,通过不同种技术,混载于同一封装之内,由此构成系统封装形式。异种器件的集成化,通过芯片层叠化来实现,SiP比SoC易于小型化。生产数量多,如100万个以上,SoC价格比SiP低;生产数量少,如100万个以下,SiP价格比SoC低。SiP可以使用既存的芯片,SiP开发供货期比SoC短。SiP可以实现现有设计资产芯片化,SiP对设计资产的再利用性比SoC好。SoC母线宽度容易扩大,SoC比SiP有利于实现高速化。SoC负荷较小,故SoC比SiP易于实现低功耗。说明:参考田民波集成电路(IC)制程简论清华大学出版社2009年12月版,154页,23.简述Ag-
6、Pb导体浆料与Al2O3基板烧结结合的机理。,Ag中添加Pd,当Pd含量超过0.1时即产生效果,但当Pd加入太多时,其中的Pd在厚膜电路外敷层温度300-760范围内,发生氧化生成PdO,不仅使焊接性能变差,而且造成导体电阻增加。因此Ag:Pd应控制在2.5:1 4.0:1。通过粒度控制,采用球形Ag颗粒,防止凝聚,使膜的导电密度提高。为提高Ag-Pd导体焊接浸润性,以及导体与基板的结合强度,需要添加Bi2O3。在烧成过程中,部分Bi2O3溶入玻璃中,使玻璃相对成分增加的同时,与Al2O3基板发生反应:Al2O3+Bi2O3 2(BiAl)2O3随着Bi含量增加,膜的结合强度增大。但焊接时对膜
7、加热,金属粒界与玻璃之间的Bi2O3会发生还原反应:2Bi2O3+3Sn 4Bi+3SnO2。由于Bi的生成而使结合强度下降。由于基板与导体界面之间发生还原反应,在极端情况下,附着力会变得很差。另外焊接后样品在老化也会使导线的结合强度下降。这是因为老化时,焊料主要成分Sn向导体内部扩散,除引起Bi的还原反应外,还会产生PdSn3、Ag5Sn、Ag3Sn等化合物,导致膜的比容增加而使内部玻璃网络被破坏。,36.常用积层(build-up)式基板共有哪几种类型,分别给出其制作工艺流程。,铜箔掩膜-激光制孔-全面电镀方式(涂树脂铜箔方式(RCC):芯板(多层板)铜箔粘压光刻法刻蚀铜箔成孔做掩膜(或直
8、接)激光制孔去除孔壁树脂残留化学镀铜全面镀铜表面电路图形蚀刻成形制成两层导体层激光蚀孔-图形电镀法(热固性树脂方式):芯板(多层板)热固性树脂涂布或粘压激光蚀孔表面粗化化学镀铜由电镀阻挡层形成待镀图形、图形电镀铜电镀阻挡层蚀刻完成两层导体层积层光刻蚀孔-板面电镀法(感光性树脂方式):芯板(多层板)感光性树脂涂布或粘压曝光显像粗化处理镀铜全面镀铜光刻制作表面电路图形完成两层导体板积层转印法:金属板平面镀铜待镀电路图形制作图形电镀粗话处理激光蚀孔制作通孔化学镀铜电镀铜添加第二层涂层制作第二层的层间互连孔ALIVH法:芳酰胺不织布半固化片激光蚀孔空中填充导电浆料与铜箔叠层加压积层光刻制作表面图形按次
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