第三代半导体材料产业园环境影响报告书.docx
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1、第三代半导体材料产业园环境影响报告书建设单位:深圳市重投天科半导体有限公司编制单位:深圳市汉宇环境科技有限公司二C)二二年四月目录概述1第1章总则121.1 编制依据121.2 区域环境功能属性151.3 评价标准161.4 环境影响因素识别及评价因子筛选271.5 评价时段与评价重点291.6 评价工作等级及评价范围291.7 环境保护目标34第2章项目概况362.1 项目基本情况362.2 项目用地、四至及周边环境情况362.3 项目建设内容362.4 项目主要生产设备362.5 公用工程362.6 施工进度安排362.7 劳动定员及生产制度36第3章工程分析373.1 工艺流程及产污环节
2、分析373.2 运营期污染源强及排放情况分析373.3 施工期环境影响因子及污染负荷分析37第4章环境现状调查与评价374.1 自然环境现状调查与评价374.2 地表水环境质量调查与评价384.3 环境空气质量调查与评价414.4 声环境质量调查与评价474.5 土壤环境质量现状474.6 生态环境质量现状错误!未定义书签。第5章环境影响预测与评价错误!未定义书签。5.1 施工期环境影响预测与评价错误!未定义书签。5.2 运营期环境影响预测与评价错误!未定义书签。第6章环境保护措施及可行性论证错误!未定义书签。6.1 施工期环境保护措施错误!未定义书签。6.2 运营期环境保护措施及可行性分析错
3、误!未定义书签。第7章环境管理与环境监测错误!未定义书签。7.1 环境管理错误!未定义书签。7.2 环境监测错误!未定义书签。7.3 环境保护验收错误!未定义书签。7.4 污染物排放清单错误!未定义书签。7.5 总量控制错误!未定义书签。第8章环境影响经济损益分析错误!未定义书签。8.1 环保投资估算错误!未定义书签。8.2 环境效益分析错误!未定义书签。8.3 社会效益分析错误!未定义书签。8.4 小结错误!未定义书签。第9章结论错误!未定义书签。9.1 建设项目概况错误!未定义书签。9.2 环境质量现状错误!未定义书签。9.3 环境影响评价结论错误!未定义书签。9.4 项目建设环境合理性错
4、误!未定义书签。9.5 总量控制错误!未定义书签。9.6 公众参与错误!未定义书签。9.7 综合结论错误!未定义书签。一、项目由来近年来,我国芯片行业发展迅猛,芯片制造的完整过程包括芯片设计、芯片制造、封装制造、测试等。其中半导体材料是芯片制造的基础材料,在发展上经历了以错、硅等单晶半导体材料为代表的第一代半导体材料;第二代以神化钱、睇化钢等化合物半导体材料为代表的第二代半导体材料;目前正经历以碳化硅(SiC)氮化钱(GaN)等为代表的第三代半导体材料的发展。第三代功率半导体器件已经在智能电网、电动汽车、轨道交通、新能源并网、开关电源、工业电机以及家用电器等领域得到应用,并展现出良好的发展前景
5、。碳化硅(SiC)是第三代化合物半导体材料,因其优越的物理性能:高禁带宽度(对应高击穿电场和高功率密度)、高电导率、高热导率,特别适合大功率、高电压电力电子器件,被业界认为是未来最广泛使用的制作半导体芯片的基础材料。深圳市重投天科半导体有限公司,是深圳市重大产业投资集团有限公司、深圳市和合创芯微半导体合伙企业(有限合伙)、北京天科合达半导体股份有限公司共同合伙投资组建的公司。该公司拟在深圳市宝安区石岩街道石龙社区龙大高速与石环路交界处西北侧建设第三代半导体材料产业园项目,生产6英寸碳化硅单晶衬底片及碳化硅外延片。本项目获得2021年深圳市重大项目证书。公司投资建设的第三代半导体产业链项目是战略
6、支撑深圳打造全国第三代半导体技术创新高地、加快突破国外芯片“卡脖子技术封锁的市级重大项目。为响应国家产业发展政策,支撑我国半导体产业发展基础,结合深圳市半导体产业发展战略需要,项目重点布局6英寸碳化硅单晶衬底及碳化硅外延片材料,解决下游客户在轨道交通、新能源汽车、分布式新能源、智能电网、高端电源、5G通讯、人工智能等重点领域的碳化硅器件产业链发展的原材料基础保障和供应瓶颈。受深圳市重投天科半导体有限公司委托,深圳市汉宇环境科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作。接受委托后,评价单位组织相关技术人员到现场进行了实地踏勘,收集了有关资料,在此基础上编制了本项目环境影响报告书。二、环境影响评价工作
7、过程本次环评工作主要内容包括:(1)研究相关技术文件,掌握项目的建设内容和污染防治措施。(2)工程分析,识别工艺过程各环节产生的污染因素和不利影响,确定主要污染物的源强。(3)环境质量现状调查与评价,对工程选址区域的环境功能区划、环境质量现状进行调查、监测和评价,确定主要环境保护目标。(3)环境影响预测和评价,对项目在营运期对环境的影响进行预测和评价。(4)提出针对性的污染控制与治理措施,并从技术经济角度论证污染防治设施可行性。(5)论述项目与相关环保法规、政策的相符性。(6)综合结论,对项目建设在环境保护方面的可行性给出明确结论。第二阶段环境现状调查监测与评价建设项目工程分析1各环境要素环境
8、影响预测与评价2各专题环境影响分析与评价1提出环境保护措施,进行技术经济论证第三阶段2给出污染物排放清单3给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书(表)图项目评价的技术路线图三、关注的主要环境问题及环境影响本项目生产6英寸碳化硅单晶衬底片及碳化硅外延片,主要包括晶体生长、晶体(片)加工、晶片外延3个主体工艺。本项目主要污染物为废气、废水、噪声、固体废物,同时项目涉及危险化学品泄漏及火灾、爆炸等造成的次生环境风险。本项目主要关注的环境问题为:(1)废气主要关注项目有机废气、酸碱废气等废气收集处理、达标排放及对区域环境空气质量的影响。(2)废水主要关注项目生产废水及生活污水收集处理、达标排放
9、、去向及对项目所在区域地表水环境的影响。(3)噪声主要关注项目噪声对所在区域声环境质量的影响。(4)固体废物主要关注各类固体废物的暂存情况及最终处置去向,及对环境的影响。(5)土壤和地下水主要关注项目采取的防渗措施和管控要求,减少项目的建设对土壤、地下水环境的影响。(6)环境风险主要关注本项目危险化学品泄漏,或遇明火产生燃烧、爆炸后扩散引起大气环境污染事故等可能造成的环境风险。四、相关情况分析判定(1)国民经济类别及环评名录本项目行业分类属于国民经济行业分类(GB“4754-2017)及其修改单中C3985中“电子专用材料制造”;环评类别属于深圳市建设项目环境影响评价审批和备案管理名录(202
10、1年版)中“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39”中“81、电子元件及电子专用材料制造398”中“半导体材料制造”,须编制环境影响报告书并报生态环境主管部门审批。(2)产业政策符合性判定本项目属于深圳市产业结构调整优化和产业导向目录(2016年修订)中的鼓励发展类“A0401半导体材料,包括硅材料(抛光片、外延片、绝缘硅、倍硅)及化合物半导体材料,蓝宝石和碳化硅等衬底材料,金属有机源和超高纯度气体等外延用原料,高端LED封装材料,高性能陶瓷基板等研发及产业化”。本项目属于产业结构调整指导目录(2021年修改)中的鼓励类“二十八、信息产业”中“22、半导体、光电子器件、新型电子元器件(片
11、式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”。本项目不属于市场准入负面清单(2022年版)中禁止准入类的行业。(3)项目选址合理性分析项目与基本生态控制线的位置关系核查深圳市基本生态控制线范围图,本项目不在深圳市基本生态控制线范围内,不违反深圳市基本生态控制线管理规定的要求。项目与水源保护区的位置关系根据深圳市人民政府关于调整深圳市饮用水源保护区的通知(深府(2015)74号)、深圳市人民政府关于深圳市饮用水水源保护区优化调整事宜的通知(深府函(2019)258号)、广东省人民政府关于调
12、整深圳市部分饮用水水源保护区的批复(粤府函2018424号)及深圳市生态环境局关于深圳市饮用水水源保护区优化调整公告(2019年8月5日),本项目约有50929平方米位于铁岗水库-石岩水库饮用水水源保护区的准保护区,原为工业厂房。(4)与环保政策相符性分析根据中华人民共和国水污染防治法(2017年6月27日修正):第六十五条禁止在饮用水水源一级保护区内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的建设项目;已建成的与供水设施和保护水源无关的建设项目,由县级以上人民政府责令拆除或者关闭。禁止在饮用水水源一级保护区内从事网箱养殖、旅游、游泳、垂钓或者其他可能污染饮用水水体的活动。第六十六条禁止在饮用水
13、水源二级保护区内新建、改建、扩建排放污染物的建设项目;已建成的排放污染物的建设项目,由县级以上人民政府责令拆除或者关闭。在饮用水水源二级保护区内从事网箱养殖、旅游等活动的,应当按照规定采取措施,防止污染饮用水水体。第六十七条禁止在饮用水水源准保护区内新建、扩建对水体污染严重的建设项目;改建建设项目,不得增加排污量。根据广东省水污染防治条例(2021年1月1日起施行):第四十三条在饮用水水源保护区内禁止下列行为:(一)设置排污口;(二)设置油类及其他有毒有害物品的储存罐、仓库、堆栈和废弃物回收场、加工场;(三)排放、倾倒、堆放、处置剧毒物品、放射性物质以及油类、酸碱类物质、工业废渣、生活垃圾、医
14、疗废物及其他废弃物;(四)从事船舶制造、修理、拆解作业;(五)利用码头等设施或者船舶装卸油类、垃圾、粪便、煤、有毒有害物品;(六)利用船舶运输剧毒物品、危险废物以及国家规定禁止运输的其他危险化学品;(七)运输剧毒物品的车辆通行;(八)其他污染饮用水水源的行为。除前款规定外,饮用水水源一级保护区内还不得停泊与保护水源无关的船舶、木排、竹排,不得从事网箱养殖、旅游、游泳、垂钓、放养畜禽活动或者其他可能污染饮用水水体的活动。在饮用水水源二级保护区内从事网箱养殖、旅游等活动的,应当按照规定采取措施,防止污染饮用水水体。第四十四条禁止在饮用水水源一级保护区内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的建设
15、项目;已建成的与供水设施和保护水源无关的建设项目由县级以上人民政府责令拆除或者关闭。禁止在饮用水水源二级保护区内新建、改建、扩建排放污染物的建设项目;已建成的排放污染物的建设项目由县级以上人民政府责令拆除或者关闭;不排放污染物的建设项目,除与供水设施和保护水源有关的外,应当尽量避让饮用水水源二级保护区;经组织论证确实无法避让的,应当依法严格审批。经依法批准的建设项目,应当严格落实工程设计方案,并根据项目类型和环境风险防控需要,提高施工和运营期间的环境风险防控、突发环境事件应急处置等各项措施的等级。有关主管部门应当加强对建设项目施工、运营期间环境风险预警和防控工作的监督和指导。根据深圳经济特区饮
16、用水源保护条例(2018年12月27日修正):第十三条饮用水源保护区和准保护区内禁止下列行为:(一)新建、扩建对水体污染严重的建设项目;改建增加排污量的建设项目;(二)向饮用水源水体新设污水排放口;(三)向水库排放、倾倒污水;(四)设立剧毒物品的仓库或者堆栈;(五)设立污染饮用水源的工业废物和其他废物回收、加工场;(六)堆放、填埋、倾倒危险废物;(七)向饮用水源水体排放、倾倒污水、垃圾、粪便、残渣余土及其他废物;(八)饲养猪、牛、羊、兔、鸡、鸭、鹅、食用鸽等家畜家禽;(九)毁林开荒、毁林种果;(十)法律、法规规定的其他禁止在饮用水源保护区和准保护区内实施的行为。在饮用水源保护区和准保护区内运输
17、剧毒物品的,应当报公安部门批准,并采取有效的防溢、防漏、防扩散措施。分析:本项目位于准水源保护区,运营期生活污水等均经预处理达标后排入市政污水管网,生产废水经处理达标后排入市政污水管网,进入公明水质净化厂,不直接排至地表水体,故不属于对水体污染严重的建设项目。根据剧毒品化学品名录,本项目无剧毒物品,项目产生的污染物不向饮用水源水体排放、倾倒。综上所述,本项目建设符合国家饮用水源保护条例、深圳经济特区饮用水源保护条例(2018年12月27日修正)的规定。项目与深圳市“五大流域”建设项目环评审批管理相符性分析根据深圳市人居环境委员会关于加强深圳市“五大流域”建设项目环评审批管理的通知(深人环(20
18、18)461号)中第三条:“(二)对于污水已纳入市政污水管网的区域,深圳河、茅洲河流域内新建、改建、扩建项目生产废水排放执行地表水环境质量标准(GB3838-2002)中IV类标准(总氮除外),龙岗河、坪山河、观澜河流域内新建、改建、扩建项目生产废水处理达到地表水环境质量标准(GB3838-2002)中In类标准(总氮除外)并按照环评批复要求回用,生活污水执行纳管标准后通过市政污水管网进入市政污水处理厂。”根据市生态环境局给宝安管理局的市生态环境局关于重大项目环评问题的复函,“原则同意茅洲河流域内新建、改扩建项目市区重大项目、高新技术项目在项目厂区内建设生产废水预处理设施,生产废水在生产区域内
19、经预处理后,通过排污专管就近接入生产区域外的市政管网,经水质净化厂深度处理达到地表水环境质量标准(GB3838-2002)中IV类标准(总氮除外)后排放。”“茅洲河流域内新、改扩建的市区重大项目、高新技术项目应严格执行国家行业水污染物排放标准”。分析:本项目位于茅洲河流域,项目属于深圳市重大项目(见附件)。项目生产废水经处理达到电子工业水污染物排放标准(GB397312020)后经专管(与)排入市政污水管网(与生活污水分开),进入公明水质净化厂进一步处理。本项目的建设满足深圳市人居环境委员会关于加强深圳市“五大流域”建设项目环评审批管理的通知(深人环(2018)461号)及市生态环境局关于重大
20、项目环评问题的复函的要求。(4)相关政策相符性对照广东省大气污染防治条例(2019年3月1日)、市生态环境局转发广东省生态环境厅关于做好重点行业建设项目挥发性有机物总量指标管理工作的通知(深环(2019)163号)、市大气污染防治指挥部关于印发2021年“深圳蓝”可持续行动计划的通知(深大气指202114号)等相关政策要求,本项目的政策相符性分析汇总见下表。表1项目与相关政策相符性分析一览表序号政策名称规定相符性分析1广东省大气污染防治条例(2019年3月1日)第十二条“重点大气污染物排放实行总量控制制度。重点大气污染物包括国家确定的二氧化硫、氮氧化物等污染物和本省确定的挥发性有机物等污染物。
21、第十三条”新建、改建、扩建新增排放重点大气污染物的建设项目,建设单位应当在报批环境影响评价文件前按照规定向生态环境主管部门申请取得重点大气污染物排放总量控制指标第二十六条:产生含挥发性有机物废气的生产和服务活动,应当优先使用低挥发性有机物含量的原材料和低排放环保工艺,在确保安全条件下,按照规定在密闭空间或者设备中进行,安装、使用满足防爆、防静电要求的治理效率高的本项目申请总量控制指标为挥发性有机物。项目生产过程中产生挥发性有机废气,产生的废气经收集后经废气治理设施治理达标后高空排放,与广东省大气污染防治条例(2019年3月1日)相符。污染防治设施;无法密闭或者不适宜密闭的,应当采取有效措施减少
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