真空系统元件及连接.ppt

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1、真空系统元件及连接,真空系统元件及连接,真空系统是由真空泵、阀门、捕集器、导管等各种元件通过不同的连接形式组成的，就是真空室也是由多个部件，多种不同材料的组件组建而成的。,一、真空阀门,一、真空阀门1概述在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。真空阀门在真空系统中的作用：（1）开关气路（2）控制气流大小，调节真空度（3）定量充气,1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽真

2、空，此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。2、控制气流大小，调节真空度。调节阀门2的阀盖的开启角度，即可调节流经光路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀6可以给机械阀的入口放气；通过放气阀6可以调节容器内的真空度。3、定量充气如图13-2，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶联通时，小洞中就可充满高压气体；当他转向左边和真空容器联通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。,真空阀的分类和型号,真空阀门的主要性能是他的流导、漏气率、开闭动作的精确性和可靠程度，以及阀门的开闭时间。真空阀门种类很多，在设计

3、真空系统时根据用途、尺寸、性能、结构等进行选择。国产真空阀门的型号是按其性能、结构形式、驱动方式、通道方式、及通道直径大小、材料和用进行分类的,表1 真空阀门分类,真空阀门的型号按如下顺序和内容确定,如DDC-J50Q，表示低真空挡板式电磁阀，直角式，公称直径500mm，带充气功能阀门。这种阀门多用于机械泵的进气口上，停泵时阀门关闭，切断系统的同的哦啊保持系统内的真空，同时给机械泵泵腔内放入大气，以防止机械泵返油,真空阀门的工作形式,1、隔膜阀图13-3为隔膜式真空阀，适用于真空系统的接通或截止，利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上来隔断气路。橡皮弹性薄膜上有一提钮，提起提钮通道接通，反之压紧截止

4、。如转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜，适用于前级和与丑管道上及温度为-2528的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30150,2、真空球阀,13-4为真空球阀的结构，该阀中的密封结构是有两个环状弹性体紧压于金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔，借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向，即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。,3、真空蝶阀,蝶阀结构较简单，阀板的边缘上嵌有O形密封阀，阀板靠螺栓固定在传动阀门杆上，使阀杆带动阀板转动，当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现

5、了阀门的关闭。从关闭位置始，阀板再转动90时，阀门即完全打开，该阀门的主要优点是体积小结构简单。,气动蝶阀主要有阀体、阀板、阀杆、O形密封圈和气缸驱动机构（或手柄）构成，如图13-6.阀体的上下两个断面由O形密封圈分别与容器和泵口连接，阀板的周边嵌有O形密封圈，当阀板与阀体平行时，密封圈与阀体密接通道截止；当阀板与阀体垂直或称某一角度时，通道打开。,4、插板阀,图13-7和13-8是插板阀的两种结构形式。弹性体密封圈是嵌在阀体上。转动手柄打开或关闭阀门。插板阀关闭时是靠限位块的斜面压紧阀盖，进而压紧密封圈,5、挡板阀,右图为一种挡板阀的结构。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管道的接通和截止。压板

6、23使阀板密封圈24固定于阀盖上。压板2将阀杆3与阀盖连为一体。上盖20与阀体22有密封圈21密封。压帽5和7分别压紧密封圈4和8，实现动密封。汽缸盖11压紧密封圈10使气缸16上部密封。气缸与汽缸盖11压紧密封圈10使气缸16上部密封。气缸与气缸座17通过密封圈9密封。注油管18注入扩散泵油，以减小摩擦并帮助密封，进气管接头12从空气压缩机来压缩空气首先通过加油器19，从加油器中出来的气体含有一定的油，再进入换向阀6，最后进入气缸，一方面润滑油换向阀中的活塞，另一方面，防止气缸内表面生锈。换向阀控制起源进入气缸上下部。密封垫片13、华赛胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分，并移动与气缸之中，

7、从而控制阀门的开闭,6、翻板阀,下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的动力源。在阀门发开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中，阀盖的翻转靠四连杆机构实现，阀盖能实现90翻转。13-11的结构中，靠滚轮将阀盖档翻，此结构的发明阀盖不能翻转90。图13-12的阀门结构简单，总高度低，阀板能翻转90在翻板阀中，当阀板翻转90是流导较大,真空挡板阀和翻板阀在操作使用时应应该如下事项：（1）启动时阀盖上方必须是真空状态；（2）发该关闭时，阀盖下面不允许承受大气压；（3）本系列各阀门均应垂直使用；（4）使用的压缩空气应过滤（5）为保

8、证气缸活塞和汽缸壁充分润滑，加油器中应有足够的油。,7、电磁阀,采用磁力驱动方式的真空阀门称为真空电磁阀。气密封结构与挡板阀相同，如图，平时电磁阀的阀盖靠弹簧压紧封住管路通道，需要开启时，将电磁线圈接通电流，产生磁力吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开。,电磁阀也可设计成带有充气作用的压差式结构形式，如图13-14，称为真空压差充气阀或电磁压差阀。他安装在油封式机械泵的进气处。阀门与泵接在同一电源上，泵的启动与停止直接控制了阀的开启和关闭。当阀因工作需要或突然停电而停止运转时，该阀利用大气压力时阀芯自动落下，截止和真空系统相连的通道，同时向阀内放大气，防止机械泵油返流并污染真空系统，起到了保护真空系

9、统的作用，有利于机械泵的再次启动。,8、针阀,超高真空针阀结构如图。针阀是一种微调阀，其阀塞维针形，主要用做调节气流量，微调阀要求阀口开启逐渐变大，从关闭到开启最大能连续细微地调节。针形阀塞既能实现这种功能。针形阀塞一般用经过淬火的钢制长针，而阀座是用锡、通等软质材料制成。阀针与阀座见的密封是依靠其锥面紧密配合大道的。阀针的锥度有1：50和6两种，阀椎体表面要经过精细研磨。途中的阀杆与阀座间的密封是靠波纹管实现的。,9、超高真空阀,通常的高、低真空阀门，密封垫圈的材料为橡胶，不能承受高温烘烤。因而不能使用在高真空设备上。能使用在超高真空设备上的超高真空阀门必须满足：（1）能承受高温多次烘烤；（

10、2）放气量小，气密性好；（3）重复性好；（4）流导大。,图为超高真空阀门的一种，其主要部件是无氧铜阀盖，不锈钢阀体和传动导向机构。阀座道口形式为直角，挡板起保证阀门重复性的作用，即道口在阀盖上压出的刀痕每次都能重合。玻璃真空活塞由开有孔的锥形芯子及带有连接管的外套组成，芯子和外套之间的接触面是磨光面，期间涂以真空密封脂以取得密封。气体的通路有芯子上的孔和随对准的连接管决定，转动芯子便可控制气体通路。因用真空封脂密封，芯子与外套之间就不会漏气。,上图是典型的玻璃真空活塞。活塞按期连接管道的数目分为二通、三通或多同活塞。图B中（2）（3）两种较（1）的形式密封更好，印在使用中有大气压力将锥心往外压

11、。,10、无油玻璃真空阀,为避免真空油脂对真空环境的影响，可以采用也跳金属密封和磨砂口密封。图13-8为液态金属密封的玻璃真空阀之一。当关闭阀门时，用次铁匠装有液态金属的玻璃杯提起，使上部玻璃管插入液态金属内边科阻断气路；打开时，用磁铁将玻璃杯方向，液态金属一般使用镓铟锡合金,当镓铟锡比例为62.5%、21.5%、16%时，其熔点只有10.7，在室温下为液体，他的饱和蒸汽压很低，甚至在500时仍低于10-6Pa,图13-19为玻璃磨口密封的无油真空阀，其密封是由一半球状玻璃阀体与一半球状阀座之间的精密磨光面接触来实现的，阀门的开启和关闭仍由磁铁从外部操纵，因是半球状接触，接触面积足够大，所以能

12、够保证良好密封。,阀门密封结构,1、胶垫密封结构橡胶垫圈密封是利用阀板与阀座间压紧橡胶垫圈，依靠橡胶弹性变形填塞表面不平来实现的密封。目前真空阀门的胶垫密封归纳为6种。如图，图ad的结构用于较大口径的阀门，图e、f的结构用于较小口径的阀门。图a是早起采用的结构，为了便于加工阀座上的密封槽，必须把阀座与阀壳设计成可拆卸的，这就在结构上增加了一道真空密封。现在绝大多数阀门都采用阀板上带密封圈的结构如图中b、c、d所示。,选择真空阀门密封结构的注意事项：（1）尽可能减少阀门下高真空侧的放起因素，例如选用放气率小的密封垫材料等；（2）关阀后密封圈截面上有最大的压缩变形；（3）结构力求简单；（4）制造方

13、便；（5）密封元件便于拆卸和修理。,影响密封垫填塞阀座表面不平程度的因素：（1）密封垫材料的硬度和压缩程度；（2）阀座表面的粗糙度。通常阀座表面的粗糙度都发偶遇Ra3.2，密封垫的硬度都在邵氏硬度5575之间。密封垫的压紧程度，根据试验结果，当橡胶的硬度在邵氏硬度50以上，而表面没有任何擦伤时，橡胶垫的高度压缩比在15%以上就能达到漏气率小于1.3310-8Pa*L/（s*m）的密封性能。如果考虑到制造精度上允许的偏差，吧压缩比适当提高一些是必要的。因此建议真空阀门密封垫的相对压缩比通常取为15%25%。,2、金属垫密封结构图13-21给出了金属垫密封的几种结构。a为针阀的结构。b、c、d和e

14、都是用于超高真空系统中的金属垫密封阀门。f、g、h是用低熔点的软金属及其合金作为密封材料，而阀座也是用硬金属不锈钢等制成。他们都是因考软金属受压产生塑性变形与阀座密和达到密封的。为保证密封，每次阀板关闭时刀口的压痕必须重合。刺猬除了阀板的传动上应有精确的导向机构外，刀口尖还应倒圆如图13-22,3、阀板密封压紧装置A 阀板压紧装置应达到的要求：（1）在压紧密封垫时，阀板不产生横向运动。因为横向运动会挫伤密封垫；（2）压紧位置要有重合性，即每次关闭都压在同一位置上。只有这样才能保证阀门关闭性能稳定。金属垫阀门对此要求严格，胶垫要求差些；（3）要均衡压紧密封垫。因为不均衡压紧密封垫可能造成封闭不严

15、密；（4）压紧后必须能自锁，否则要有动力来维持压紧状态；（5）压紧程度必须能可调，因为密封垫都有一定制造公差，必须通过调整才能压紧。,B 常用压紧方式（1）螺旋压紧。螺旋压紧方式在真空阀门中应用最广，它的结构简单，制造容易，压紧时增力倍数较大，适于手动、电动两种阀门。其缺点是开关阀门时间较长，传动效率较低。图13-23为螺旋压紧结构的超高真空阀门。图中1是带刀口的阀座，2是可更换的阀板，他可带导向槽的螺杆3带动。螺母4拧在螺杆3上，其轴向由正推轴承限定，只能转动。当螺母转动时，螺杆3因导向键5的限制，只能作上下移动，或打开阀门或关闭阀门。这种阀门的关键是阀板的关闭要有重合性。经验证明，利用发表

16、那凸出的圆周面和阀腔的内圆柱面精加工配合，可达到阀板粗定位。非结构还利用制动圈6来解决螺母飞退扣问题，效果很好。,（2）斜面压紧。如图13-24所示，阀板上的斜面沿着垫块上的斜面向左滑动，阀板与垫块被撑开而将胶圈压紧密封。和螺旋压紧机构类似，弱斜面升角小于两者材料的摩擦角为543，若要保证自锁，续写面升角543。假设胶圈压下量为1.5mm，则在极限情况下，上述阀板需要对于斜块向左移动15mm才行。即阀板接触到胶圈后，还能相对于胶圈横向移动15mm，但这是不能允许的。所以这种结构要利用传动连板转至死点来保证自锁。,（3）链板压紧。,（4）弹簧压紧。如图13-13所示的电磁阀结构，其阀板8由弹簧7

17、压紧密封。当电磁线圈4通电时，衔铁6被吸上，阀板被提起打开阀门。,（5）弹性垫圈自身压紧。如图13-27，阀塞被碗型密封圈箍紧密封，就像往复运动的动密封一样，不过由于阀塞进出密封圈，需要阀塞的两头有光滑的倒角，以免擦伤密封圈。,（6）动力压紧动力压紧方式有气压、液压和电磁力驱动压紧。如图13-28所示的阀门是靠薄壁钢筒在有压作用下产生弹性变形，与阀体内筒的光滑表面紧密贴合来密封的。当撤去油压时，薄壁钢筒恢复原形，阀塞就可以拉上去打开阀门。为了解决金属垫密封阀门所需的大压紧力，国外采用了高压气动压紧。如图13-29所示，当阀板推至阀口后，往波纹管中通以高压空气（2.03.5MPa）对阀板进行压紧

18、密封。,C 压紧装置中的均压、续压和调压措施 为了保证阀门的密封性能，要求阀板压紧密封圈时能自动均压；当大气压压倒阀板上时能允许进一步压紧；又因为密封圈和其他传动件的加工制造误差不可避免，所以阀板压紧程度必须可调。这就是压紧装置的均压、续压和调压问题。在图13-12中的真空阀门中，通过锥面阀座和与之配合的锥面阀板及铰销压紧来自动调匀胶垫的压力；利用压杆头（兼做导向杆8）与阀板螺纹连接来达到压紧程度可调；利用初压后活塞达不到气缸底来实现当大气压压到阀板时，阀板继续压紧密封圈。,真空阀门的密封动力：真空阀门的传动动力主要有手动、磁动、电动和液动。选择阀门动力主要考虑操作方便和工作可靠两个方面。（1

19、）电磁动力。磁动是以电磁线圈通电，是其铁芯此话，来吸引附近的铁磁物质，衔铁运动而带动阀板运动；（2）气动。气动真空阀门的一般特点是：结构简单，开关迅速，不需要特殊材料制造，气路系统比较简单，废弃可以在空气中放掉，尤其在大型真空设备需要远距离控制或真空系统较复杂、使用真空阀门多的情况下，更适宜采用气动阀门。其缺点是需要有压缩空气的起源，小型真空设备和简单的真空系统不便于使用。,二、捕集器（阱）与除尘器,1、捕集器（阱）捕集器（阱），在真空系统的运行中用来捕集系统中的可凝性蒸汽。在有油封机械泵和蒸汽流泵组成的真空系统中，存在着工作液的蒸汽，如油蒸汽、汞蒸气、水蒸气等。这些蒸汽进入被抽容器之后，使真

20、空度降低，污染真空环境。为了减少乃至消除这些有害蒸汽，在有油蒸汽污染可能的真空系统中广泛使用捕集器。捕集器的种类很多，分局捕集器捕集蒸汽的原理和方法不同，捕集器可分为挡油帽，机械捕集器（挡板、障板、机械阱），冷凝捕集器（冷阱），吸附捕集器（吸附阱）和其他类型的捕集器（如电捕集器、热捕集器、离子捕集器等）。,1、机械捕集器（阱）,机械捕集器（挡板、障板、机械阱）主要用来防止蒸汽流泵工作液的蒸汽分子返流进入被抽容器。在高真空条件下，分子自由程大于管路的线性尺寸，蒸汽分子在真空空间做直线运动。返流的蒸汽分子可以通过管道进入真空室；真空分子先碰撞管壁被吸留；由于热运动，关闭吸留的分子又蒸发，再在更靠近

21、真空室的管壁上被吸留，然后在蒸发，这样逐步进入真空室中。因此在蒸汽进入被抽容器的通路上安装不同结构的具有光学密封性的板状组件，阻挡住针线运动的蒸汽分子穿越，使其在壁板上凝结或反射回去，用这种机械阻挡的方法消除或减少蒸汽分子 进入被抽容器。,机械阱主要靠机械阻挡的方法来降低油蒸汽的返油率，而高速热运动的蒸汽分子经过三次碰壁后，其能量大大损耗。因此要求半壁材料有较好的导热性，尽可能保持较低的温度。通常通冷却水，以减少蒸汽凝结够的再蒸发，常用的材料有铜、铝、不锈钢等导热系数较大的金属板。设计障板时应注意的原则：（1）光学密闭性，至少要挡住一次束流；（2）有尽可能大的流导；（3）障板材料应放气率低，饱

22、和蒸汽压，热传导性能好，易于加工；（4）超高真空系统使用的障板应能承受高温烘烤,典型的机械阱的结构,2、冷凝捕集器,又称冷阱，是利用低温冷壁来不及可凝性蒸汽的一种低温冷凝捕集器。冷凝被广泛应用于高真空和超高真空系统中，安装在主泵入口和真空室之间的管道上。冷阱不仅能有效地捕集来自蒸汽流泵的返流蒸汽和部分裂解物，而且还可抽除来自真空室内的可凝性蒸汽。冷阱的效果取决于其结构，使用的冷壁温度，低温冷壁的温度越低效果越好。冷阱的设计原则：（1）冷凝部位应具有较大的冷凝面积；（2）结构为光学密闭的防止蒸汽分子直线通过；（3）有进可能大的流导；（4）冷剂消耗尽量少；（5）清洗拆装方便,冷阱的结构形式,（1）

23、玻璃冷阱。多采用杜瓦瓶的形式，分为两层或多层，两层之间抽成高真空，以降低热传导损失。瓶内壁靠近真空的一面，若有条件时可镀一层银，以加强热反射。（2）金属冷阱。比玻璃冷阱坚固，金属冷阱盛装冷凝剂的容器一般用不锈钢制成，在其壁上焊上若干捕集片，增大低温壁板的表面积和阻挡蒸汽分子进入真空室的作用，金属冷阱的结构形式有多种，如图13-36是一种长效冷凝捕集器，它采用双层结构，在中间装有冷凝捕集片其特点是不及效果好，不需要经常加液氮。,图13-37为另一种长效的冷凝捕集器，其结构具有较大流导，可放置蒸汽分子向上蠕动。他有两层结构，内装一盛冷剂的冷剂筒，期间具有双百叶窗式捕集片组，具有较好的阻挡蒸汽分子的

24、作用,图13-38为搞笑冷凝捕集器，此结构的特点是在其法兰口处，有一个防止油分子爬移的障桶，它可使返油率大为降低，其结构紧凑，捕集效率高、图13-39是中鼎带有液氮罐的冷阱。,冷阱抽速计算,3、吸附阱,吸附阱是利用吸附剂进行物理吸附或化学剂附油蒸汽、水蒸气和气体的装置。根据吸附剂不同，可分为多种吸附阱。如有铜箔阱、活性氧化铝吸附阱、活性炭吸附阱、五氧化二磷吸附阱等等。常用吸附剂的特性如表：,图13-40是一种活性氧化铝吸附阱，其中放置310mm的球状吸附剂，当有效率可达99%，主要用于前级真空管路的返流油蒸汽的媳妇捕集。,右图为一种金属结构的分子筛吸附阱。其特点是分子筛的烘烤激活是使用管状加热

25、器在经中心加热，油蒸汽从接管中排除，分子筛不用拿出来，结构简单操作方便。阱的最好效果可捕集99.7%的返油蒸汽。,分子筛吸附阱的使用时注意项,（1）分子筛在大气中能强烈吸附水分，所以使用前对分子筛进行烘烤除去水分很重要。暴露过大气的分子筛要在真空中进行高温除气，必要时还要用于干燥氮气冲洗。处理不好，会英系那个极限真空，且拖长抽气时间。要求在短时间达到超高真空的系统，必须装置超高真空阀门，一面分子筛经常暴露于大气中。（2）分子筛反复经受烘烤去气，会逐渐变成粉末，当放入大气或抽出大气时，会使粉末飞扬而污染系统，为此可旁路安装。,4、其他吸附阱,（1）钛升华阱。其原理是：利用钛被加热升华，并沉积在低

26、温金属表面上，形成钛膜能有效地捕集H2、O2、CO2、Ch4、C2H6等气体和蒸汽。由于钛升华阱对这些活性气体和蒸汽有很大的抽速，尤其是对扩散泵油的裂解物有巨大的抽泣能力。因此钛升华阱对这些活性气体和蒸汽有很大的抽速，油气是对扩散泵油的 裂解物有巨大的抽气能力。因此他常是扩散泵抽泣系统获得清洁真空的重要装置。装有液氮低温冷板钛升华阱的超高真空系统，能获得10-1110-12Pa的极限真空。,典型金属钛升华阱的结构如图所示，器不及气体的原理是利用低温壁面冷凝性能和从台钼热丝中蒸发出来的新鲜钛钼膜的吸附性能捕集气体。由于升华蒸发出来并沉积在液氮冷却的壁板表面上的钛钼膜能使气体分子的二次反弹最小，所

27、以钛升华阱具有特别有效的捕集效果。,（2）离子阱。原理如图，阱由阳极杆、磁钢、水冷挡板和阴极壳体组成。样机接3kV正高压，阴极壳体接地，磁钢对应阳极杆装在穷奥体外面，体内对着机械泵的抽气口装个水冷挡板。油封真空泵工作时，其返流油蒸汽碰到水冷挡板上，被反射到壳体壁上。由于阴极与样机见的高压引起气体放电，产生电子在外加磁场和电场的作用下，达到阴极壳体上，把沉积的油分子轰击成碎花，并产生聚合物附在阱的内壁上。,（3）热吸附阱工作原理：是碳氢化合物在被加热的表面上分解成易于被抽除的气体，如氢、氧、一氧化碳和固体炭等。炭沉积在捕集器的器壁上，并作为吸附气体的吸附剂，而气体则被整齐流泵排出，这种捕集器可用

28、在油蒸汽流泵的入口,（4）电离吸附阱工作原理：利用冷阴极或热阴极放电，将蒸汽分子电离，在电厂的作用下形成离子流。电场的方向与真空系统的气流方向相反，这些离子i大多都移向机械泵，而蒸汽分子在放电中被激发时，则有被吸附而凝结的趋向，当油蒸汽分子在电子的碰撞下分解时，则和热分解一样变成了可被排除的气体和非挥发性的炭,除尘器,在真空系统中，除尘器指在真空管道中的配置的过滤器及在真空管路中能够使固体颗粒物及粉尘沉降下来的装置。作用：清除真空系统中气流内的面体颗粒，如粉尘，用来保护真空泵不被粉尘研磨和损坏，保证真空系统不因粉尘而工作失常。根据粉尘从气体中分离的方法，除尘器可归为四类：机械力分离的除尘器；过

29、滤分离的除尘器；粘吸分离的除尘器和静电分离的除尘器,除尘器的类型,A、惯性除尘器工作原理：利用粉尘与气体在运动中的惯性力不同，在汉尘气流及转向时将粉尘分离出来。惯性越大，转向越急，除尘效果越好。常见结构有三种：（1）在真空室出口处装一直径大于真空管道内径的钢板，且与出口形成环形间隙，其间隙总面积大于管道截面积。（2）在真空出口管道中安装一个直径大于管道的粗管，轴线相互垂直，粗管中间设置障板，使含尘气流急转而下绕行，粉尘碰壁沉下，粗管下端流出积尘空间，形状呈倒锥或圆柱形，最好有卸灰法兰。（3）在真空室出口管道中央安装百叶式或其他挡板，是含尘气流不能直接通过。为了包成管道流到足够大，在挡板处截面积

30、要大于管道的截面积，挡板下端留有积尘的空间，其形状最好是呈漏斗状，且下端有卸尘法兰。,B、旋风除尘器如图所示，含尘气体从旋风除尘器的入口沿切向以高速流入除尘器外壳与排气管之间，形成旋转向下的外旋流。悬浮与外旋流的粉尘在离心力的作用下移向壳壁，并随外旋流转到除尘器下部，沉积于集尘器内。而净化后的气体形成内旋流向上，阱排气管流出。普通型旋风除尘器有筒体、椎体、进气管、顶盖、排气管和集尘器组成。最简单的结构是平顶和矩形截面直切式入口的旋风除尘器。为提高效率，一般用较长的椎体或较大的长径比。,C、过滤除尘器工作原理：利用多空的过滤物体使含尘气流在惯性碰撞、拦截、扩散、静电力、和重力等作用下，其中粉尘沉

31、积在多孔表面或容纳与其中,图示为含尘气流流过单个捕集体（圆柱或圆球）时，可能发生的捕集机理。当气流流线绕过捕集体时，其中较大的颗粒由于惯性作用仍然向前做直线运动，而碰撞到捕集体上，称为“惯性碰撞”效应；同时，有些很小的颗粒仍然跟随流线运动，若此时颗粒半径小于流线到捕集体表面的距离，此种颗粒也会被捕集下来，称为“拦截”效应；更细微的颗粒虽然远离捕集体，但在布朗扩散作用下也可能碰到捕集体上，称为“扩散”效应；此外因静电力是颗粒被吸到捕集体上，称为“静电吸引”效应；因重力使颗粒沉降到捕集体上，称为“重力沉降”效应。可见，过滤除尘的捕集机理是多种效应的综合。,过滤除尘器的结构,过滤除尘器的结构形式有金

32、属网过滤器、金属环过滤器、滤布过滤器和袋式过滤器等。1、金属网过滤器：用一层或多层金属网构成过滤层，其层数和网目依粉尘粒径而定。2、金属环过滤器：由几层金属网上放置许多金属环（或陶瓷环）构成的过滤器。3、滤布过滤器：由带有纵向孔的圆柱体和其上紧包裹着的过滤布所组成。汉尘气流在通过纵向孔时，被滤布过滤净化。单层绒布层的滤布过滤器，其流导为40L/s，两层绒布层的过滤器，其流导为37L/s。4、袋式过滤器：是利用有机纤维或无机纤维织物作为过滤布袋，将含尘气流中粉尘过滤出来的高效干式除尘器。,图13-47，在金属网过滤层的底部装入真空油，使含尘气流先与油层碰撞，部分粉尘被油粘附，在经过滤网滤净,图1

33、3-48，途中有三层金属网，每层金属网上随机的堆放着很多金属环，堆高为60mm；每个环直径为15mm，高为15mm，换上涂上蓖麻子油或真空泵油。在压力差为50150Pa时，其流导为35L/s。这种过滤器的缺点是消耗金属量大，装金属网和填充金属环不方便,图13-49为袋式过滤器的机构示意图,D、湿式除尘器工作原理：以真空泵油（或其他低蒸汽压油）为工质，造成油滴或油膜，使含尘气流通过它们时粉尘发生惯性碰撞，拦截、扩散、重力、静电吸引等效应而被捕集下来。这些与过滤粉尘器的工作原理很相识。,右图为油雾除尘器，其结构是在柱形筒体中设置多层带孔金属板，板上堆放陶瓷管（或金属短管），筒体上部有以唤醒喷头由外

34、部油泵供给压力油，有无喷洒后从下部经油过滤器后循环使用。汉尘气体从筒体下部流入与油雾对流通过，这是与油滴和陶瓷环上的油膜，金属板上的油膜发生惯性碰撞、拦截、扩散、重力等效应，粉尘被沉积到油中。,E：电除尘器优点：除尘效率高，电除尘器的效率普遍达到99%以上，对微笑粉尘（0.1m以上）除尘效率也很高；压降低，电除尘器的压降一般不大于200Pa；能耗低，比耗电量约为（18）10-2kW*h/m3;处理气量大；可处理高温含尘气体。一般处理的气体温度为350以上，最高可达500缺点：应用范围受到粉尘的比电阻限制，比电阻太小不适用；钢材耗量大；制造、安装和操作要求较高。,电除尘器的工作原理：在直流电压为

35、25120kV时，极间气体发生电晕放电而产生阴离子和阳离子。在电场作用下，阴离子向阳极（即除尘电极）运动，阳离子（即放电电极）运动。由于电压高，不仅迁移率较大的阴离子能与中性分子发生碰撞电离，而且迁移率较小的阳离子也能与中性分子发生碰撞电离。称为荷电尘粒。在电场作用下，荷正电尘粒想阴极运动并沉积其上；荷负电尘粒向阳极运动并沉积其上。通常负电晕（即电晕放电为电源的阴极）的情况下，有少量带正电尘粒沉积在阴极上，而大量带负电的尘粒沉积在阳极上，于是气体得以净化。,电除尘器的结构：,主要有两种机构：管式电除尘器；板式电除尘器。,它们由外壳、气流分布装置、阳极板、阴极和清灰装置等组成。一般来说，外壳为钢

36、结构，要求密封严实和适当保温。气流分布装置设在入口处，使气流以均匀的速度通过整个电厂，保证除尘效率。阴极线又称为电晕电极或称放电电极，用来电晕放电，应具有良好的放电性能，且容易清灰，在真空下不变性、不断线、不产生过大的热效力等。,三、真空继电器,真空继电器是实现真空系统自动化控制的关键元件之一。其分类如下：按机理分：力学型、热导型和电离型按一次传感元件的不同：无触点型和有触电型按真空度自动控制范围：定点式和具有上下限控制区间,1、无触点式真空继电器,无触点式真空继电器是由规管和测量控制线路组合而成。规管是将真空系统中的残余气体压力转换为电参量的一次元件，线路部分是接收并放大这种信号，进而实现输

37、出信号的自动控制。真空规管具有不同的结构形式将物理量转换成电参量，以规管的结构不同，可配备相应的线路、将气体密度转换成相应的电参量；电压、电流和电感。尽管表征的参量不同线路也不同，但各种规管不用直接接触就可以完成物理量转换电参量的过程，这就是区别触电式真空继电器的特征,（a）（b）（c）分别为电阻计、热偶计，热阴极电离计所用的规管结构。（d）为转换后的电参量为电容量的一次元件；（e）为转换后的参量为电感量的一次元件。,图（d）所示元件是振膜式真空计规管，它通过振动膜片9与加压极7采用静电感应力，在系统的共振频率下驱动振膜9进行振荡，而用感应极8的电容值测量振动膜片9的位移。随着真空体统中的压力

38、变化，震动膜片9的振荡情况亦随着变化，感应极8的电容值也同时跟随着变化。所以图d所示的规管是以电容值表征真空系统压力变化的喜好发生器（或转换器）。,图（e）是膜盒式真空计规管。真空膜盒13是由两片弹性良好的金属薄片在真空下封接而成的密闭盒体。当真空系统中的压力变化时，由于膜盒13的位置发生变化，带动电感器动片12的位置改变，导致电感量发生变化。所以（e）中的规管是以电感值表征真空系统中压力变化的信号发生器。,2、触电式真空继电器,与无触点真空继电器相似，也由一次信号的规头和二次信号装置的电气系统两部分组成。规头的作用是将非电参量转换成电信号，该信号通过电控箱放大，控制并输出给被控对象，已达到对

39、负载的自动控制或保护的目的。尽管规头的结构不同，但都是依靠弹性元件在不同真空度下发生弹性变形或导电液柱的位移，在触电位子一定时，使电路导通而使中间继电器的线圈通电或断电。由于中间继电器的触点相应的“开”或“闭”的动作，实现了对输出的自动控制。,四、可拆卸密封连接,可拆卸密封是指连接处由于安装结构要求或工艺要求的需要经常拆装的密封。其特点是：经过多次拆装仍能保持密封性能，可以更换已经老化或损坏的密封件（或材料）。在真空系统需要经常拆卸的地方，应采用可拆卸密封连接，这种连接在真空系统中应用较多。,密封材料与密封结构,真空密封连接处正常工作多允许的最低和最高温度称为工作温度。如果超出这个温度范围，连

40、接处的密封性能明显下降，甚至完全失去密封作用。,1、密封材料的工作温度,2、橡胶密封材料,在真空的系统中，橡胶作为密封材料应用最为普遍，主要是因为它具有高弹性，较高的耐磨性和适宜的机械强度，并且具有在常温下密封可靠，可反复拆卸安装，易于加工，价格低廉等优点。缺点是不能承受高温和低温的环境，与金属密封材料相比有较大的出气率和净透率，通常只能用于低真空和高真空系统中。用于真空密封的橡胶材料，要求具有光滑表面，无划伤，无裂纹，具有低的出气率，挥发率和透气率，良好的耐热性，耐油性，抗老化能力，耐压缩变形（其值小于35%），和适宜的压力松弛系数（不小于0.65）。,常用橡胶密封材料,注：可以使用；有条件

41、使用；不可使用。,橡胶密封槽的形式,3、氟塑料密封材料与结构,氟塑料是四氟乙烯的聚合物，为白色或灰白色的半透明物质；化学物质；化学稳定性好，不被酸碱腐蚀，不燃烧，不溶于任何一种溶液，不吸水也不被侵润；有优良的电绝缘性能，可以高速切削加工；能耐200工作温度，在100120温度范围内可长时间工作，室温下出气率较普通橡胶下，25时的蒸汽压力10-4Pa，350时为410-3Pa对刚的摩擦系数为0.020.1，可用于真空动密封；氟塑料做轴密封封填料必须加润滑剂，以降低氟塑料对金属的摩擦系数，不加润滑剂时必须保证有良好的导热性，以避免以摩擦过热而损坏。,常用树脂密封材料,氟塑料的弹性较差，但可以用橡胶

42、或弹簧补偿器加以弥补。用氟塑料做胀圈的结构材料时，不仅要靠被密封的介质压力，而且还要靠密封衬套的外部压紧力方能形成可靠的密封。氟塑料用于静密封的形式如图13-58和图13-59所示。13-59（b）中氟塑料厚度为0.3mm；图（c）为图（b）的放大图.,4、金属密封材料和结构,A、金属密封的一般特性：在要求高温烘烤和只准使用低蒸汽压材料的超高真空系统装置中，不能使用橡胶密封，需要用金属密封圈密封。金属密封的优点：（1）放气远比橡胶少；（2）用它密封的系统和装置可以再高温下烘烤去气，因此能满足超高真空的要求金属密封的缺点：（1）金属密封圈弹性差，需要很大的密封力才能保障可靠的真空密封；（2）重复

43、实用性差，有些金属密封圈只能使用一次（3）法兰密封面和刀口的粗糙程度和配合精度要求高，很小的伤痕都能破坏密封，特别是大尺度法兰加工很困难；（4）密封圈和法兰材料的线膨胀系数相差较大，加热不均匀或密封结构设计的不正确，会引起局部变形而造成漏气。,B、常用金属法兰密封形式,（1）平面法兰密封。平面法兰是金属密封法兰形式中最简单的一种，如图13-60，气密封没有配合问题，表面粗糙度（Ra1.60.25）容易达到。主要缺点是密封圈的定位问题不易解决，另外由于接触面较大需要很大的密封里。一般只适用于小直径的法兰连接密封。（2）直角密封。图13-61为L形密封。密封台阶间隙0.025mm，以保证密封圈受压

44、后呈L形，下法兰台阶利于O型圈定位，表面粗糙度优于Ra1.6，O形圈压缩量为50%，常用O型圈金属丝直径为0.5mm、0.6mm、0.8mm、1mm、1.5mm5种；（3）刀口密封。密封圈为0.5mm的环形铜皮或铝片，密封力维280MPa，能耐450烘烤，可承受多次加热-冷却循环而不漏气。但配合精度要求高，只用于小尺寸法兰密封。（4）斜楔密封，如图13-62。斜楔密封的刀口角度为700，高度为11.5mm，深度为+-0.0750.1mm,刀尖圆角半径为0.1mm。，刀口直角误差为0.05mm，垫圈材料为宽6mm厚23mm的无氧高导铜。采用这种密封结构的真空系统，经250，5h高温烘烤后，能使真

45、空系统获得2.610-9Pa的真空度（5）台阶密封，如图13-63.他是利用两直角的剪切力剪切出新鲜金属面形成密封的。两直角的剪切有两种基本形式，即相叠结构（图a）和相隔结构（图b）。垫圈材料是无氧高导铜，厚度13mm。制作时在950的烧氢炉中退火处理，可在450温度下反复烘烤使用。上下两直角的公差较大，没有配合问题，因此加工比较容易。,真空法兰连接,真空法兰连接属于可拆密封连接类，可拆密封是指连接处由于安装结构要求或工艺要求的需要经常拆装的密封。其特点为：经过多次拆装仍能保持密封性能，可以更换已经老化或损坏的密封件（或材料）。真空法兰连接属于可拆密封连接类，真空工程中常用的法兰有：橡胶密封法

46、兰、氟塑料密封法兰、金属密封法兰、快拆法兰。,1、橡胶密封真空法兰。用于低、中及高真空金属系统中。也可以用于超高真空装置的真空室门密封，用于超高真空系统密封时，为了减少密封圈出气量，常采用氟橡胶密封圈，或用低温冷却结构冷冻密封圈。,法兰连接形式,法兰结构形式,2、超高真空氟橡胶密封法兰,3、双重橡胶密封法兰橡胶的出气和渗漏会影响超高真空的获得，为减小橡胶密封圈的初期或漏气量，通常采用双重橡胶密封法兰来消除这些影响。,4、真空快卸法兰（1）夹紧型真空快卸法兰。适用于低、中、高真空管路，法兰用O形橡胶密封圈密封，其结构如图13-79（2)拧紧型真空快卸法兰。适用于低、中、高真空管路，其公称通径为1

47、040mm，用O形橡胶圈密封。其结构形式如图13-80,5、卡钳真空法兰、连接采用橡胶密封圈密封，密封可靠，使用方便，适用于低、中、高真空管路。有三种形式：图13-81为卡钳螺丝钉连接；图13-82为卡钳块连接；图13-83为卡钳螺栓连接,6、金属密封法兰，适用于超高真空系统中不锈钢法兰连接，金属密封法兰的链接形式如图13-84所示。金属密封法兰常用的密封材料用铝、铜和金等。金属密封法兰的最高允许烘烤温度为450下反复烘烤后，法兰密封处的漏气率不大于10-8Pa*L/a。在金属法兰连接中，其螺栓、螺母及垫圈与法兰装配时，一般应在螺栓和螺母之间加二硫化钼润滑剂。,五、运动导入与动密封连接,1、运

48、动导入概述。运动传导结构是用来向真空室中传递各种运动，以实现真空室中机构的运动，满足所进行的工艺过曾的需要。要求这种运动传导结构既能想真空室中传递运动，又要保证真空密封。运动传导结构按照动密封方式分类：（1）真空橡胶密封可动传导；（2）金属波纹管密封可动传导；（3）液态金属密封可动传导；（4）间隙密封传导；（4）间隙密封传导；（5）磁力传动传导；（6）磁流体密封可动传导；（7）橡胶隔膜密封可动传导。,在选择运动传导密封形式时，应注意下列事项：（1）从传动密封处漏入真空室中的气体量对工作压力的影响。此气体量值包括密封处漏气量、元件表面放气、高温下薄壁零件（波纹管）的渗漏（2）在真空室工作温度范围

49、内，传动轴即密封元件能否正常工作；（3）真空中从动部件的最大速度，位移及密封轴的转速；（4）使用方便、易更换易损零件，工艺性好，成本低。,接触式动密封连接,根据采用的密封物质可分为固体密封和液体密封。1、真空橡胶动密封连接常见的橡胶密封结构形式为J形、JO形、和O形真空用橡胶密封圈形式，气原理是把孔径小于轴颈的密封圈紧套在轴上，并依靠过盈和抽气时产生的压差而紧贴于轴上，达到可靠地密封。,（1）J形橡胶圈的密封结构。工作原理是利用安装后中央凸起，并紧箍在旋转轴上呈现锥形的橡胶垫圈，当内部达到真空时，外部大气压力即可把橡胶圈紧紧的压在转轴上而达到真空密封的目的。多用在旋转轴线速度小于2m/s、转速

50、小于2000r/min的真空转轴密封中。（2）O形橡胶圈的密封结构。又称橡胶填料盒式密封装置，该装置不谈能传递圆周速度不大于2m/s的旋转运动，而且还能传递压力值不低于1.310-4Pa、速度小于0.2m/s的直线运动，其转轴直径的范围应在3200mm之间。（3）JO形橡胶圈的密封结构.此带锁紧弹簧的结构是在J形橡胶圈的密封结构的基础上经过费劲而制成的，他的，密封效果更好，使用的转数应小于2000r/min。是油封式机械真空轴的主轴最常采用的一种动密封装置，密封轴径范围通常在6200mm之间。,右图为一实现密封装置本身能自给润滑、可借助于氟塑料进行真空动密封的装置。密封件2是利用能自给润滑的氟