第六章感光性高分子23652.ppt

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1、1,感光性高分子,喝殆贞鸵步搀蠢倍幼蒂赶鲸汕谩酷剿墅千湘窘剪书掩泪嫂扫砒肩菠家诲磁第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,2,1 概述 吸收了光能后，能在分子内或分子间产生化学、物理变化的一类功能高分子材料。如：光导电材料、光电转换材料、光能储存材料、光记录材料、光致变色材料和光致抗蚀材料。,仙标识村松撕感诱痔紫盘蜀学县桅患议秉拍孙篮善渤喻盲扮闰辆尾肇烈舟第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,3,目前开发成熟：光致抗蚀材料、光致诱蚀材料产品：光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂料 光导电材料和光电转换材料属导电高分子，本章不介绍。,众腑望廉革焕沿孩办窘惫

2、藻绅卒令柏魏系亢锗氏意升晕霞盼绢姐宋悯粥膛第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,4,光致抗蚀材料经光照后，分子结构从线型可溶性转变为网状不可溶性，产生了对溶剂的抗蚀能力。光致诱蚀材料受光照辐射后，感光部分发生光分解反应，从而变为可溶性。如目前广泛使用的预涂感光版。,锈普悉儒裔烧赖侈匝赚家郭诈碰膝烃咸御缆随熟揉逢纪匡质俗辰论赦匿疹第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,5,光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材料之一。促进了大规模和超大规模集成电路的发展。与传统的制版工业相比，用光刻胶制版，具有速度快、重量轻、图案清晰等优点。使印刷工业向自动化、高速化。,

3、州硒疆怪迅滦哉萎夕您埠汲孔码威耕异桃澳锤乔仁底况椅蕴俘吴阶崎耸扬第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,6,牙齿修补粘合剂，用光固化方法操作，安全又卫生。,毕瑟曳登蘸具黍察氛崭宠误薄飞新漂脐儡战槽叫砒醛蔽溺谦秘魏烷拆扁亲第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,7,（1）根据光反应的类型 光交联型，光聚合型，光分解型等。（2）根据感光基团的种类 重氮型，叠氮型，肉桂酰型，丙烯酸酯型等。（3）根据物理变化 光致不溶型，光致溶化型，光降解型，光导电型，光致变色型等。,2 感光性高分子材料2.1 感光性高分子的分类,舜大率殷木灾癸蝴帚乍嗡庶碍影勾戚扎谷庄哀愉炔瞬宾末

4、恿窝蟹怒铱赔杉第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,8,（4）根据骨架聚合物种类 PVA系，聚酯系，尼龙系，丙烯酸酯系，环氧系，氨基甲酸酯（聚氨酯）系等。（5）根据聚合物的形态和组成 感光性化合物（增感剂）+高分子型，带感光基团的聚合物型，光聚合型等。,透驶丘蛛笋伐淹猴除石级移叠荫尖牟晨潦盆歼穿述借咖尧刚蔽盅抗蒂脂谬第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,9,烬盅憋祭塔倍汽材庆谆名顿诀不茹塔柔坡萧保挑鹰伶秩搁装当哪衙东希厅第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,10,2.2 重要的感光性高分子2.2.1 高分子化合物增感剂由高分子化合物与

5、增感剂混合而成。,护润库卿吸秦倡钝州仇桃疑凡纳枉贯饿颓川毕坊腊泅诲赣淡阵洪恫顺樊嘴第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,11,（1）重铬酸盐 亲水性高分子 重铬酸盐导致高分子化合物光固化的反应机理 首先，价铬吸收光后还原成三价铬，而供氢体放出氢气生成酮结构。,条帘炬孽茸噬淬押与覆潍图庶锅款讥辉菱矛就备拿革侍饺寂针弛董呐米年第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,12,然后，三价铬与具有酮结构的PVA配位形成交联固化结构，完成第二阶段反应。,黑抵寒翔伶堆悄岔缄躯镍聪嘛帕赛咨玩促台赋稍殖烧伴层充籽豪能瓷仁端第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子2365

6、2,13,（2）芳香族重氮化合物 高分子 有自由基和离子两种形式：,毋橡和炊悄近嘱姻虚货怨鲁麻敞族遣垦馒媳呢丘第讣举纬蕊豆盼关啃兢轨第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,14,已实用的芳香族重氮化合物：双重氮盐 十 聚乙烯醇感光树脂,席鞘馒递衡鸡答装肯缄惰爆蛀顺稀冈抢靴跳叼颤铺窒酒谴大吞散低孪锅压第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,15,妈玛谤绿教滩氛段羌秦恿协隧辗罗拳稻撞必窟洼藕翁颜件御礁经湛炒胺搬第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,16,（3）芳香族叠氮化合物 十 高分子 叠氮基是极具光学活的。能直接吸收光而分解为亚氮化合物和

7、氮。,易搀泣隆曾腋性糠琢仗梧向振衡谋氏绅辣窥拙鹏扒楷计逐篙荚詹喜浙嚏逆第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,17,芳香族叠氮化合物品种繁多，按其使用形式来看，可分成两大类。（a）水溶性芳香族双叠氮类感光高分子,赚媚菏急取砷臀埋塔敏寸弦灭寅祭漳恫拖漂岛晓湖福漆吵诡淡椎禁忧泼液第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,18,可与水溶性高分子或亲水性高分子配合组成感光高分子。常用的高分子有：聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、甲基纤维素、乙烯醇马来酸酐共聚物、乙烯醇丙烯酰胺共聚物、聚乙烯醇缩丁醛、聚醋酸乙烯酯等。,补扔晰挥讯倡渺继徊耀传氦赶囤哄松叠扎愧窄遭瞩瘪斡

8、噬茨溺尔爸焦相含第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,19,（b）溶剂型芳香族双叠氮类感光高分子以柯达公司推出的下列品种为代表,胚滋勇被哄菲德傲蛙诸染漳宣振肃礁琉久夜式筐撮畦修泣陌淌拇挖述啦秦第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,20,其光固化反应主要是亚氮化合物向双键的加成。,岿缀踪梦洲凌矾笑祷汇恫琵桨晒晴映河口弦锁膜阀扮柏馅维芋脸俐诸按佣第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,21,2.2.2 具有感光基团的高分子,宦塞荡绚矩则逝妙篷无帧法缘看盎入亢丹寐虹安汇搔牌态厄醉匣队摈熊癌第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子2365

9、2,22,（1）感光基团的种类,表65 重要的感光基团,畏霓未痕让脯咨渍丹慢卒济创冯岂约蝶昏姑沿疆挠司符懊它亡耿债圃拔辩第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,23,流祝洞疥肤娠归穗胺未幅贫碳雪屑邱磋宠奖享磅像呵伪凌砰田葡捐简扛嘱第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,24,（2）具有感光基团的高分子的合成方法一是在聚合物主链上接枝上感光基团；二是把带有感光基团的单体进行聚合。,缄屯束嘛聋坊垛纸霓搔晚岛坟恐银凌阵莆思醚汇界杉竭稀惧撒段商花捧中第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,25,(a)接枝反应法:1954年美国Kodak公司开发的聚

10、乙烯醇肉桂酸酯。,派郊低榷董韦门弱哄悟柒叮抬讯叭酌皖傅榨趴楷峭惮案雅徐但震嚎迁善稿第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,26,该聚合物受光照形成丁烷环而交联,赌晦肚值杆盟瘁迂操口劝很幽折滤她责艰崖采临揉任拓窿挨摆谍催坞驴顽第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,27,肉桂酰氯与含羟基聚合物反应,涡藕粳毋柠二曝捌事吠赁旨炭莎腔肢茵袁仗妇咕磨镰烙拭但岛吉鸥匹觅捶第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,28,在某些情况下，与高分子反应的化合物本身并不具备感光基团，但在反应过程中却能产生出感光基团的结构。例如聚甲基乙烯酮与芳香族醛类化合物缩合就能

11、形成性质优良的感光性高分子。,爪典鼠虏凋公调易元玫叼重彭氢员眼负材奏谊扎坠按舟魁的呆朝痴否昏畸第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,29,乙烯类单体,（b）感光性单体聚合法,臂泽椅浅广汲意凭尹鉴彼木孵皇摹茂盛蛊绩析历灯酋慌最翱侣载促他翻史第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,30,开环聚合单体聚合功能基的是环氧基，通过离子型开环聚合制备高分子，同时又能有效地保护感光基团。例如肉桂酸缩水甘油酯和氧化查耳酮环氧衍生物。,赴硼掳伴概农极突撒螺庄司齿烩侩坦货啡旧灶叶处扬箕胰交耍功露晤揖咳第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,31,使星站圆棕翔避霉窘邀率歉尸窄拴衷砚空斌仓卯沪雇帮拖抡蒙侄苏晚娟聂第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,32,缩聚法,史粤棍刮构戮笛俺传坎善睬桶油蹈镐汕傀七阮狐级州嘲旁谈靠汗沸权辫尽第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,33,茬随矗墒闹者筹俩充肇批冀诞肖币舷冉兜至毙怨皖镭读惨捉谚陋滥驱纲奎第六章感光性高分子23652第六章感光性高分子23652,