[原创]用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO／Al背反射电极.doc

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37、通 过采 用绒 面透 明导 电膜 以增 大光 在 电池 的光 程 ； 层 通 过 复 合背 反射 电极 以增强 背 电极对 长波 段光 的反 射作用 。其 中 合背反 射 电极 不但 复 可 以使 的 光吸 收增 强 ， 而增 大短路 电流 ， 高 电池 的转化 效率 ， 层 从 提 而且 可 以进一 步 减 薄 ， 善 电池 的 层 改 稳 定性 ； 此外 ， 可 以阻挡 金属 背 电极 元 素如 或 向 的扩散 ， 层 改善 界 面及 电池性 能 。 目前 ， 国用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnOAl背反射电极用直流磁控溅射法研制

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