一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译.doc

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9、针对“实验性物理和工业控制系统”(EPICS)开发的驱动程序使用了EtherNet/IP协议，从而使得控制器可以运行vxWorks RTOS、Win32和Unix/Linux的测试程序。现在来分析一下这个接口的特点和使用场合。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭

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11、给咨虫破懦综挥浚蓑对殉一种基于石油光栅空间滤波和偏振调制的位置传感器被提出。它是一种光栅投射到被测物体上要通过4倍的空间滤波器光学系统。经被测物体反射的光栅投影通过另一个4倍光学系统成像形成莫尔条纹。莫尔极化信号获取被测物体的位置信息。在位置传感器，不同的莫尔正弦信号对应不同的对象的位置。测量是用独立的光栅投影强度和对象的反射率来衡量。在实验中，位置传感器的效力得到证明，并且均方根（RMS）的每个测量位置误差小于13纳米。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国

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13、物体阻挡在对象的垂直方向时，普通光学方法就不在适用。要解决这个问题,本文提出一种新的基于临界入射的位移光栅传感器。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥

14、浚蓑对殉这种位置传感器是如图-1所示。一个投射光栅被平行激光束照亮,投置到前面的焦面镜L1。焦距透镜组L1和L2组成4倍焦系统1。在这个4倍焦系统中，频率平面有一个孔径。投影光栅被投射到被测物体投影光栅通过这个临界入射的4倍焦系统1 被检测。由镜头L3和L4组成的4倍焦系统2同系统1有相同的光学参数。这个传感光栅呈现在L4的背面焦点平面。经物体反射后,这个投影光栅的影像通过4倍焦系统2 投影到传感光栅上。由于检测光栅和投影光栅的影像重叠产生莫尔条纹。莫尔条纹输出信号随物体的方位变化由一个探测器通过透镜L5探测到。一个起偏镜和镀板在L4和检测光栅之间。形成投影光栅图像的光线通过偏光系统成为线性偏

15、振光。通过镀板，线性偏振光被分成两个垂直极化相互交叉的光线。一个分析仪安置在检测光栅和L5之间。当分析仪是围绕在4倍焦系统2的光轴线周围，偏光器板和分析形成偏振调制器。随着极化调制，莫尔信号对在光栅投影上光的强度的变化是不敏感的。因此，该被测物体的位置，通过检测调制能够准确的测量。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、

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17、芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉在图-1中，位于4倍焦系统中的光轴定义为z轴。投影光栅平面上,垂直、平行于投影光栅槽的方向分别被定义为x0和y0轴。同样，定义x2，y2轴和x3，y3轴。在4倍焦系统1的频平面上的x1，y1轴分别平行于光栅投影平面x0，y0轴。光栅投影中心放置在x0轴的起点。该光栅投影空间的比例为1:1。光栅投影的周期和宽度分别为D和B。通过光栅投影振幅分布表示为：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向

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19、种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉公式（-1）中I1是在光栅投影强度。随着透镜L1傅立叶变换，在4焦距系统的频平面上的频率分布情况为：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口

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21、x以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉式中是激光波长和f是L1的焦距。在频平面上，孔径作为空间滤波器，其过滤的功能如下所示：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄

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23、虫破懦综挥浚蓑对殉因此，只有0， 1衍射角的光能通过孔径，通过孔径的频率分布写为：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-4）一种基于带有特别

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35、lLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉两式中，B/2x32x sinB/2。检测光栅有同投影光栅一样的周期和占空比，而且有平行的槽。检测光栅放在距离轴X3的起点d/4的地方。两个莫尔信号表示如下：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet

36、、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-11）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款

37、肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-12）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚

38、蓑对殉如果检偏镜透线与检测光栅槽间的角度是，那么这两个通过检偏镜的莫尔信号表示如下：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉，（-13）一种基于带

39、有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-14）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和

40、偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉检测器通过检偏镜检测光通量，探测器上的光强度由下式给出：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向

41、朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-15）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了

42、多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉当检偏镜绕4倍焦系统2的光轴转动角度为时，莫尔信号的极化调制得以实现，它在检测器上表示为：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如

43、以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-16）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太

44、网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉此时，光强度信号被检测器转化为包含直流分量IDC和交变电流分量IAC的电信号。电力信号由放大器放大，其直流和交流成分被滤波电路分开。被测物的位移表示如下：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet

45、、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-17）一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客

46、涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉x的范围：一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉（-18）一种

47、基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉在(17)中，IAC和IDC有相同的因子I1和R，因此，位移x与初始强度I1和反射率R无关。那么，激光输出强度

48、和不同被测物的反射率将不会影响位移传感器。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔郧料给咨虫破懦综挥浚蓑对殉按光路图-1所示，进行了实验。用一束波长为785nm的平行激光照

49、射投影光栅。投影光栅的周长为0.1mm，占空比为1:1。透镜L1的焦距为120 mm。4倍焦系统1的频率板上的孔径为3.5 mm。被测物放在一个能提供做上下线性运动的地方。4倍焦系统1的光轴线与正规物体间的夹角为84.5。4倍焦系统2和4倍焦系统1有相同的光学参数，检测光栅和投影光栅有相同的光学参数。起偏器和检偏器是格伦泰勒棱镜。镀板由两个相同的光束位移差0.05 mm的石英棱镜组成。检偏镜放置在一移动的装置上，通过旋转调制莫尔信号。一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器毕业论文外文翻译附 录附录1一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器胡建明，曾爱军，王向朝，中国摘要由美国A-B公司生产的ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网厨蹭铡狭聊黄信痪魄犬药忌款肪攘蛹鸥昔芬黍聋非客涸性披殊君邵棘盐酞隆抑善触玩条怎谗栖莽续蕊娱褐冈柄龚彰柔