激光吸收光谱法检测CO气体的研究课题讲解.doc
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1、 毕业论文(设计 可调谐二极管激光吸收光谱法检测CO气体的研究The Study of Remote Sensing CO Concentration Based on Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy姓名与学号 3021121123指导教师年级与专业10级信息工程所在学院和系信息学院光电系毕业论文(设计任务书一、题目:可调谐二极管激光吸收光谱法检测CO气体的研究二、指导教师对毕业论文(设计的进度安排及任务要求:起讫日期 200 年月日至 200 年月日指导教师(签名职称三、系、研究所审核意见:负责人(签名年月日目录摘要 (2英文摘要 (2
2、第一章绪论 (3第二章可调谐激光器 (4第三章红外吸收原理及优点 (8第四章 CO的吸收谱线 (11第五章可调谐二极管激光红外吸收光谱实验原理 (14第六章可调谐二极管激光吸收光谱实验装置 (19第七章结论 (24参考文献 (25摘要可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS技术是利用二极管激光器的波长调谐特性,获得被选定的待测气体特征吸收线的吸收光谱,从而对污染气体进行定性或者定量分析。在大气痕量气体和气体泄漏的监测中,为了提高探测的灵敏度,一般会根据具体情况对激光器采取不同的调制技术如波长调制、振幅调制、频率或者位相调制等,同时和长光程吸收池相结合使用,并辅之以各种噪声压缩技术。TDLAS不仅精
3、度较高,选择性强而且响应速度快,已经广泛用于大气中多种痕量气体的检测以及地面的痕量气体和气体泄漏的检测。本文介绍了一套可调谐二极管激光吸收光谱检测大气中一氧化碳浓度的实验装置,这套装置具有灵敏度高、检测限低(ppb量级、易于集成为便携式痕量气体检测仪等优点,系统选用近红外光源和探测器,与传统的中红外波长工作器件相比,成本得以降低。近红外波长光信号利用光纤传输,替代了传统的复杂光路系统,使器件结构小型化。若激光器的调谐波长范围能覆盖1.31.8m或者在光路中装配几台窄范围可调偕激光器实现波长扫描范围覆盖1.31.8m,则可同时实现对大气中诸多重要痕量气体如C02、CH4、CO、CH20、H2S、
4、NH3、HCI、C2H2等的同步监测。关键词:光谱学;可调谐二极管激光;怀特池;一氧化碳;大气质量监测AbstractTunable diode laser absorption spectroscopic(TDLAS technology applies the wavelength tunable characteristics of diode lasers to gain the absorption spectroscopy of the selected absorption line of the target gas for the qualitative and/or qua
5、ntitative analysis of the pollution gases in air.In order to get the required sensitivity in trace gas monitoring and gas leak detection, based on the idiographic requirements it generally needs to adopt different laser modulation techniques like wavelength modulation,amplitude modulation,frequency
6、or phase modulation and so on,with combination of long path absorption cell and assistance of various noise suppression techniques.TDLAS has significant advantages not only in sensitivity and high selectivity but also in rapidity of response.It has been extensively utilized in monitoring of various
7、pollution gases in troposphere and atmosphere,and also in location the source of toxic or hazardous gas leak.The article introduce a TDLASbased instrument recently developed by our group for the measurement of CO in atmosphere.This instrument possesses advantages of fastresponse(faster than few mill
8、isecondand low detection limitation(100ppbv,and it could be easily assembled to a portable gas monitor.Furthermore,Nearinfrared light source and detector are chosen in the system.Compared to traditional midinfrared apparatus,the total cost of these devices can be cut down.Optical fiber can be used t
9、o transmit nearinfrared optical signal instead of traditional complex system,then the structure would become miniaturization.if the laser wavelength could be tuned in covering the range of 1.3-1.8m or installing few narrow DFB tunable lasers to cover the range of 1.3-1.8m,simultaneous monitoring of
10、the major atmospheric pollution gases including C02、CH4、CO、CH20、H2S、NH3、HCI、C2H2 and so on could be realized.Key words:spectroscopy;tunable diode laser;White cell;CO;air quality monitoring第一章绪论1.1 引言随着工农业的迅速发展,矿井、油田、电力系统安全保护以及环境保护成为越来越值得重视的问题。世界各国都组织和成立了相应的环境保护组织,试图对污染以及安全生产进行监测与控制。近几年,各工业发达国家投入大量人力
11、物力,研究和开发新型传感器,用于识别未知污染源或连续监测已知污染源的状态与变化。在我国,随着经济的迅速发展,数以千万计的大型动力工厂和矿业部门排放出大量的易燃、易爆、有毒、有害气体,使人类的生存环境和生活空间受到大面积严重的污染,对水域环境危害亦很大,严重破坏了生态平衡。据调查,在世界污染最严重的十个城市中,我国就占有七个。为了尽可能减轻这一危害,就必须对这些气体进行现场快速实时监测、遥测,及时掌握事故及污染发生和发展实况,对其进行现场快速监测进行有效控制,这对工业矿业安全生产以及环境保护有特别重要的意义。因此,研究各种气体的检测方法与气体传感器就成为传感技术发展领域的一个重要课题。目前,在存
12、在可燃气体源的很多场所,经常因可燃气体大量泄漏引起不幸事故,例如社会生活与生产中存在的煤气(CO泄露事故,给国民经济、人民生命安全造成巨大损害。因此对这些气体的浓度检测至关重要,一旦气体泄漏超过允许标准时,要及时报警,以便采取措施,防患于未然。这样,开发出灵敏度高、选择性和稳定性好、小型化、便携式的CO 气体传感器就成为了一项迫切的任务。1.2 可调谐二极管激光吸收光谱技术现状可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS大气污染光学遥测技术具有高灵敏度、高选择性、实时、动态快速(毫秒量级、多组分同时测量的优点,可为研究灾害性环境污染形成的机理和条件、灾害性污染对生态环境的危害和对全球环境变化的影响提供
13、独特的技术手段和新的测量平台,为我国环境物理和环境化学的研究提供基础实验数据。另外,开展这方面的研究可发展一批可适应于高、中、低层次需求的遥测技术,开发满足不同档次需求的环境监测仪器,把具有自主知识产权的先进环境监测技术推向企业,促进我国民族环保产业的发展。本文研究的基于可调谐二极管激光吸收光谱CO气体传感器以其测量范围宽、灵敏度高、响应时间快、选择性好、抗干扰能力强等特点而成为气体传感器新的发展方向。第二章可调谐激光器2.1 引言自1960年发明红宝石激光器以来,人们就开始探索可调谐激光介质。20世纪60年代中期,染料激光器问世,此后的20年,液态染料激光器在可调谐激光器领域占据着垄断地位。
14、到80年代初,固态掺钦蓝宝石激光器的发明,标志着可调谐激光技术进入到一个新的发展阶段,向着固化和全固化发展。目前,固态可调谐激光介质,主要是各种掺过渡金属离子激光晶体,除掺钦(Ti晶体外,还有掺铬(Cr、掺钻(Co等过金属离子晶体,以及饰(Ce等少数稀土离子激光晶体,同时也推动了染料激光固态化的研究。20世纪末,激光二极管泵浦技术引入可调谐激光器,从此可调谐激光器技术进入了全固化发展大趋势中。可调谐激光技术,在科学技术和国防建设上具有十分重要的意义。可调谐激光器是各种激光光谱技术研究的主要技术设备,也是光学、光电子学、医学、生物学等研究的重要光源。在军事上,可调谐激光器将是未来光电子对抗的重要
15、激光光源之一,如激光雷达、激光水下探测和通信、激光遥感、激光致盲等等。通常所见的激光器,多属于固定波长激光器,即一台激光器发射的激光中,仅含有一个或者几个固定波长输出的激光,如He-Ne气体激光器发射632.8nm,1150nm,3390nm波长激光。如果激光器输出的激光波长,可在一定波长范围内(即宽光谱间隔内连续的改变,称这类激光器为可调谐激光器;如果在激光输出中有多个波长可连续调谐,则为多波长可调谐激光器。从应用技术上说,可调谐激光器可分为两大类:一类是基于介质的宽带发射光谱加上波长选择技术(选频技术,来实现波长连续可变的可调谐激光器,如染料激光器、可调谐准分子激光器、高压气体激光器、固体
16、过渡金属离子激光器、色心激光器、可调谐半导体激光器和自由电子激光器等;另一类是对某一固定波长激光,通过非线性光学的光参量过程,而得到波长连续可调的光参量激光技术,如光参量振荡技术、光参量放大技术、以及其他变频技术(可调谐的倍频、和频、差频和喇曼频移技术等。从工作方式上说,可调谐激光器主要分为脉冲可调谐激光器和连续可调谐激光器。各种可调谐激光技术,可以覆盖由紫外到红外的广阔光谱区,但每一种晶体、染料或相关技术,只能覆盖有限的可调谐光谱区。从类型上说,可调谐激光器分为可调谐半导体激光器和可调谐光纤激光器两大类。2.2 可调谐半导体激光器半导体激光器是目前光通信系统中最为重要的光源,具有体积小、重量
17、轻、转换效率高、省电等特点,更重要的是半导体激光器的制造工艺与半导体电子器件和集成电路的制造工艺兼容,因此便于与其他器件实现单片光电子集成。半导体可调谐激光器秉承了半导体激光器的这些优点,焕发出强大的生命力,是国际上可调谐激光器的研究主流。可调谐半导体激光器按结构可分为四类:分布反馈激光器(DistributedFeedback laser, DFB、分布布拉格反射镜激光器(Distributed Bragg Reflector laser,DBR、垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity Surface-emiting laser,VCSEL和外腔型二极管激光器(External
18、Cavity Diode laser, ECDL.无论采用何种特殊结构,可调谐半导体激光器主要由三个基本部分组成:具有有源增益区和谐振腔的二极管光源:改变和选择波长的可调装置;稳定输出波长装置。二极管光源一般采用各种样式的法布里一拍罗谐振腔。调谐可以是温控、电流或机械控制,包括微机电系统.波长的稳定是靠工作在反馈控制环路的某种波长锁定设备或标准具实现的。下面具体介绍一下四种不同结构的可调谐半导体激光器的工作原理。2.2.1 可调谐分布反馈激光器固定波长DFB激光器是边发射激光器,它们的发射光与基质表面平行,由于其优良的动态单模特性和稳定性,己成为目前光通信系统中应用的主要光源。在DFB激光器中
19、,波长选择机构是分布在有源区里的光栅。可调谐DFB激光器一般是通过使用内部布拉格光栅结构改变波长并使用温度进行调谐。当改变有源区电极上的注入电流时,埋入芯片中的热沉的温度会发生改变,进而使有源区材料的折射率发生变化,导致有源区光栅的峰值反馈波长发生变化,从而实现对波长的调谐。但是随着调谐温度的上升,会使激光器的有效输出功率下降,所以单个DFB激光器的调谐范围受到限制,大约5nm左右,这远不能满足光通信中对波长调谐范围的要求。为了扩大DFB激光器的调谐范围,组合多个DFB激光器形成DFB阵列是一种有效的方法。Nortel Networks的Adams等人(101报道了他们将三个DFB串联而成可覆
20、盖34个ITU标准信道(50GHz信道间隔的可调谐激光器模块。美国Santur Corporation公司的B.Pezishki等人也研制出了由12个DFB并联形成的DFB阵列。2.2.2 可调谐分布布拉格反射激光器DBR激光器采用与DFB激光器不同的结构。在DFB激光器中,有源区与波长选择区位于同一区域,而在DBR激光器中,有源区与波长选择区是分置的。最简单的可调谐DBR激光器由三部分组成:有源区、位相区和布拉格反射区,并在各区做有电极。通过改变布拉格反射区上的注入电流来改变反射区材料的折射率,从而使布拉格反射波长发生变化,实现波长调谐。在调节反射区电流的同时,还需调节位相区的电流使腔模与反
21、射峰一致,以实现波长的精细调谐。采用这种方法的波长调谐范围最大能达到约16nm,只能覆盖整个C带的一半。2.2.3 可调谐垂直腔面发射激光器垂直腔面发射激光器(VCSEL是一种新型半导体激光器,它与常规的侧向出光的边发射(edge-emiting激光器在结构上有着很大的不同:边发射激光器的出射光平行于芯片表面, VCSEL的出射光垂直与芯片表面。典型的VCSEL由上、中、下三部分构成,仅约几十nm厚的量子阱发光区夹在上下两布拉格反射镜之间。有源区的发射光在上、下反射镜之间往返多次得到放大,最后相干性极高的激光从顶部或底部激射出。可调谐VCSEL是设法使谐振腔的某个反射镜发生移动,从而改变腔的长
22、度进行波长调谐。VCSEL是光子学器件在集成方面的重大突破,这种独特的器件易于实现二维平面阵列;小发散角和圆对称的远、近场分布使其与光纤的偶合效率大大提高;极短的光腔长度导致纵模间距拉大,可在较宽的温度范围内得到单纵模工作,动态调制频率高;腔体积小使其自发辐射因子较普通边发射激光器高几个数量级,能实现极低闭值激射或无阐值激射,从而大大降低器件功耗和热能耗。此外,其工艺与平面硅工艺完全兼容,便于与电子器件实现光电子集成。这些优点都有利于VCSEL 的低成本、大规模现代化工业生产。2.2.4 可调谐外腔型二极管激光器外腔结构的可调谐激光器通常由外部镜面或光栅与半导体激光二极管构成可调谐半导体激光器
23、与可调谐滤波器的工作原理谐振腔。半导体激光二极管仅起增益介质的作用,波长选取和调谐功能由外部镜面或光栅的光反馈来控制。ECDL通过改变谐振腔的结构尺寸或形状来进行波长调谐,而不是通过改变温度或加在半导体材料上的电流来调谐。可调谐ECDL有单边结构(single-sided ECDL和双边结构(two-sided ECDL 之分。Litman-Metcalf腔型和Littrow腔型是单边结构的例子,这种结构中激光二极管的一个端面镀膜形成高反镜,另一个低反射端面将发射光藕合输出到调谐元件上。双边结构的ECDL有更大的灵活性,在这种结构中,激光二极管的一个端面镀部分反射膜或不镀膜形成部分反射镜,作为
24、整个ECDL的输出镜;激光二极管的另一个端面镀抗反膜,光从这一端面透射后经一透镜祸合进入外腔。外腔祸合器可使用光栅或标准具。通过适当地选择谐振腔的结构和参数,可使激光器发射波长定位于ITU标准信道波长。2.3 可调谐光纤激光器光纤激光器是在EDFA(掺铒光纤放大器技术基础上发展起来的技术。目前研制的光纤激光器是在光纤中掺杂稀土元素作为增益介质。因为光纤激光器中光纤纤心很细,在泵浦光的作用下光纤内很容易形成高功率密度,形成激光能级“粒子数反转”。因此,当适当加入正反馈回路构成谐振腔时,便可形成激光振荡。和半导体激光器相比,光纤激光器具有高增益、高转换效率、低阈值的优点,另外光纤激光器输出光束质量
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